半導体メーカーは、効率的で高密度なチップを製造しなければなりません。生産から品質保証に至るまでのすべての工程に共通する条件は、最高の精度と信頼性を確保し、品質を最大限に高めることです。attocube社の高精度部品は、これらの要求にお応えし、半導体アプリケーションに最先端の技術を提供します。

Sensofar 組込みセンサによるCMP（Chemical Mechanical Planarization）工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。

Photon Energy社のレーザーマーキングシステム用のソフトウェア

非破壊検査レーダーソリューション。数十cmまでの高い材料浸透、数千トレース/秒の高い検査率、サブmmの解像度の高解像度3Dイメージングが可能です。非接触検査、インライン検査に適しています。

金属等へレーザー加工による視野角に依存しない深黒色マーキングを実現。医療機器への機器固有識別子（UDI：Unique Device Indentifier）マーキング・刻印に最適。

ワークピースのサイズのバリエーションや複雑さが増しており、このような高品質な部品への要求が高まるにつれ、超精密な製造装置や検査装置へのニーズが高まっています。attocube社の超小型レーザー干渉式変位センサIDS3010は、認定された精度と最高の柔軟性を備えており、精密加工アプリケーションに最適です。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによる質量分析の例をご紹介します。

NKT Photonics社のKoherasシリーズ 単一周波数ファイバレーザーは、バーミンガム大学で開発された世界で最もポータブルな量子重力偏差計において重要な要素です。原子操作の要件である、高速周波数変調、狭線幅、低ノイズを高いレベルで提供します。

光学センサーの特性評価、テスト、および校正を行うには、高輝度で広範な連続スペクトルを出力できる光源が必要です。SuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、フィルタ類を組合せて、チューナブルな狭線幅シングルモードレーザーとしても、広範な波長可変レーザーとしても使用でき、幅広い特性評価に容易に対応できます。

LIDAR システムのパフォーマンスは、レーザーの選択で決まります。異なる用途には、異なるレーザーが必要です。NKT Photonics社のレーザーをLIDARシステムに導入することで、ターゲット上の点、精度、角度解像度、空間解像度、点密度、射程の点で優れたパフォーマンスが得られます。

データ伝送の高速化、通信ネットワークの拡大、家電製品の普及により、フォトニクス業界ではさらなる小型化が求められています。そのため、非常に小さくて複雑な部品を作り、組み立てる必要があります。個々の部品はナノメートル単位の微細な構造で構成されており、高度な光学システムによって作成または検査されます。フォトニクスやオプティクスのアプリケーションにおいて、高精度な位置決めを達成することが重要です。attocube社のモジュール式ナノ位置決めステージは、複雑な多軸アプリケーションにも優れた精度と信頼性を提供します。

ダイヤモンドの窒素-空孔（NV）中心は、室温の量子ビットプラットフォームへの応用が可能です。NVセンターを励起するには、波長 450～650 nm の光が必要です。NKT Photonics社のSuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、調整可能で広範なスペクトルと非常に高いビーム品質により、世界の多くの研究者に利用されています。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによるスキャトロメトリ（光波散乱計測）の例をご紹介します。

代謝物NADHを解糖の固有マーカーとして用いることで、個々の細胞の動態をモニターし、その相互作用を研究することが可能です。

フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例：ガラス加工

測定・検査向けハイエンドカメラ“ImageIR”の応用例をご紹介します。

金属誘起エネルギー移動 (MIET) は、蛍光分子から金属薄膜までの距離を測定するナノレベルの顕微鏡技術です。ここでは、LINCamを搭載した広視野およびTIRF蛍光寿命イメージング顕微鏡（FLIM）を用いたMIETの取得について紹介します。

QCL-IRは、約1000cm-1の波数範囲を10Hzで掃引し、スペクトルの取得が可能です。IRケミカルイメージング（2次元マッピング）、リアルタイム赤外イメージング、溶液・ガスのリアルタイム分析の時間短縮を実現し、高速で結果をご提供します。

シンプル、優れた柔軟性、高精度なレーザーマーキングを可能にするカメラシステム

フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例：プラスチック加工（炭化、彫刻、発泡成形、素材除去）

PCB プリント基板が正常に機能するための重要な銅回路、パッド、バンプ、レジスト開口部、レーザーグルービングの測定・特性評価が可能。分析ソフトウェアを最適化しました。

太陽電池のバルクサンプルの特性評価や、マイクロスケール形状の調査には、できるだけ太陽スペクトルに近いスペクトルをもつ広帯域な励起光源が必要です。NKT Photonics社のSuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、特に可視域での高い輝度をもち、太陽電池の特性評価に最適です。

超音波顕微鏡は、物質内部を非破壊で検査／観察するツールです。原理・応用などについて解説します。

Lytid社とボルドー大学 IMS Nanoelectronicグループ（Patrick Mounaix教授）との共同研究による、テラヘルツ技術を駆使したイメージングアプリケーションの研究開発成果をご紹介します。