表面粗さ・形状測定 一覧

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

SENSOFAR Metrology
[オススメ]

S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点(コンフォーカル)の技術による3D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。

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長寿命プローブ

MikroMasch

長寿命プローブ:- AFMプローブ HARDシリーズ,- AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

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3D形状・表面粗測定 ソフトウェアパッケージ

SENSOFAR Metrology

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

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クリーンルーム対応 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

SENSOFAR Metrology

クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ装置組込み用顕微鏡ヘッド。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。

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AFMコントローラー “Galaxy Dual”

CSInstruments
[オススメ]

24 bit AFMコントローラー。サポートの終了した Agilent Technology 製 AFM に対応します。シンプルに既存のコントローラーとの置き換えが可能。既存のAFMヘッドへプラグインの上、専用ソフトウェア使用して同様のAFM動作が行えます。

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基板用 高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ

Lumina Instruments

Lumina Instruments社のATシリーズは、ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。

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白色干渉計 高速・多機能モデル ”S neox”

SENSOFAR Metrology

S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。

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装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。

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大型サンプル対応AFM 最大12インチ NanoViewラージスキャナシリーズ 

FSM Precision
[新商品]

NanoViewラージスキャナシリーズは4~12インチのサンプルを分割することなく直接観察が可能。表面粗さ、粒子サイズ、ステップ高さなどの3次元表面形状の画像が取得可能な最も直感的で高速かつ費用対効果に優れた産業用AFMです。また自動ポジショニングのための座標の設定も可能で、製品開発と品質管理にとって最適なツールをなっています。

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AFM 原子間力顕微鏡 Nano-Observer 2 ナノオブザーバー 2

CSInstruments
[新商品]

最先端のAFM(原子間力顕微鏡)Nano-Observer 2は、柔軟性、卓越した性能、使いやすい操作性を兼ね備えつつ、老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現。ナノスケールのイメージングと特性評価のための幅広い機能を備えています。電気特性測定(KFM、C-AFM)、脆いサンプルも測定可能なソフトICモードも実現。

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導電性プローブ

MikroMasch

導電性プローブ:- Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング, – 高分解能導電性 DPERシリーズ, – 低ノイズ導電性 DPEシリーズ

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非接触型厚さ測定装置 “VarioMetric”

Varioscale

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1~500μm)測定用。小型・高速・高精度

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ハイエンド リーズナブル価格 AFM Nano-Observer ナノオブザーバー1

CSInstruments

高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定(KFM、C-AFM)などに強みがあります。

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AFMプローブ Tipless チップレスカンチレバー

MikroMasch

チップレスシリーズは、チップの片側に異なるばね定数と共振周波数を持つ3つのチップレスカンチレバーを備えています。 本シリーズは以前の12シリーズに代わるものです。
チップレスカンチレバーは材料特性と相互作用の測定に使用できます。 ガラス球やポリスチレン粒子などをチップレスカンチレバーに取り付け、AFMのような実験に適用することができます。

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5軸ステージ付き白色干渉計 S neox Five Axis

SENSOFAR Metrology

S neox Five Axis 5軸ステージ付き白色干渉計は、高精度回転ステージモジュールと白色干渉計 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

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AFM(原子間力顕微鏡)取り扱い製品一覧

[オススメ]

日本レーザーでは用途に応じて様々なAFM(原子間力顕微鏡)を取り揃えております。

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ローコスト高イメージング品質 AFM  Nanoview 1000 AFM

FSM Precision

従来のAFMの半分以下の低価格ながら、高いイメージング品質を発揮します。日本初上陸の高コストパフォーマンスAFMです。

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白色干渉計 エントリーモデル ”S lynx”

SENSOFAR Metrology
[オススメ]

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

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AFMプローブ HQシリーズ

MikroMasch

位相イメージングは、異種材料や特性の不均一性を持つサンプルにおいて、ナノスケールの違いをイメージングするために用いられるAFM技術の一つです。位相コントラストは、チップとサンプル間の相互作用に基づきますが、これらの相互作用は、スキャンパラメーターや、イメージングの測定モード(原子間力の引力領域か斥力領域で捜査しているかなど)に依存します。O’DeaとBurratoは、位相イメージングを使用して、Nafion膜のプロトン伝導ドメインをマッピングしました。彼らは、先端とサンプルの間の特定の相互作用力がプロトン伝導ドメインの分解能に大きく影響することを発見しました。斥力レジームでのイメージングにより、ドメインの面積が大きめに表示され、ドメインの数が少なめに表示されました。引力領域でのイメージングにより、水やフルオロカーボンのドメインが最も正確に測定できました。AFMのフィードバックループが最適化されていない場合、またはカンチレバーが共振周波数を超えて駆動していた時、位相イメージングは組成の違いではなく、形状の変化に対応するイメージになりました。

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検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO

SENSOFAR Metrology
[新商品]

Sensofarの白色干渉計および共焦点顕微鏡で得られる形状データを自動解析するソフトウェアです。主に品質管理、検査用途での使用を目的としており、ユーザーは素早く、簡単に解析結果が取得できます。

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AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ

MikroMasch

シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。

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AFMプローブ 磁気力顕微鏡 Co-Cr コーテイング コバルトクロム

MikroMasch

HQ:NSCプローブモデルには、磁気力顕微鏡(MFM)用のコーティングを施した製品もご用意しております。コーティングはチップサイドに膜厚60 nmのコバルト層があり、さらに酸化防止のクロムフィルム膜厚20 nmがカバーしています。トポグラフィーと磁気特性の安定した測定のためにカンチレバーのパラメーターは最適化されています。

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AFMプローブ 高分解能 Hi’Res-C

MikroMasch

Hi’Res-Cプローブはシリコンプローブよりも汚染が少なく、より多い枚数の高解像度スキャンの実行が可能です。Hi’Res-Cは微小領域 (< 250 nm) の走査や、平坦なサンプル (Ra < 20 nm) の測定で顕著に能力を発揮します。*本プローブは先端の曲率半径が小さいため、先端とサンプルの相互作用力は小さくなります。

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測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体

MikroMasch

測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体:- AFM 校正用構造体 測定用標準基板 HOPG,- AFM 校正用構造体 TGXYZ,- AFM 校正用構造体 TGX,- AFM 校正用構造体 TGF11シリーズ

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