Micro Resist Technology フォトレジスト
独国 Micro Resist Technology (マイクロ・レジスト・テクノロジー) 社は、ベルリンに所在する、電子デバイス、半導体デバイスおよびMEMS製造用の革新的なフォトレジストやポリマー材料を製造販売する、先端材料メーカーです。次世代フォトリソグラフィに向けて、新規なフォトレジスト他各種材料を開発する高い技術力から、産業とアカデミックの両セクターに亘って半導体、MEMS、オプトエレクトロニクス、ナノテクノロジー他新たな微細加工を要する分野から高い信頼と評価を頂いております。
400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます