サブナノメートル精度のレーザー干渉式 小型リニア変位センサ。モジュール式で3軸構成可能

極低温環境対応の非磁性ピエゾ駆動ナノポジショナー

ピエゾ駆動ナノポジショナ―。大気圧から超高真空（UHV）、極低温に対応できる多彩なラインナップ。

最高精度を求めるアプリケーションに、サブナノメートル・レーザー干渉式変位センサをベースに、機能性と多様性を備えた最良のカスタマイズ・ソリューションを提供。

高いナノポジショニング・エンジニアリング力で、複雑な位置決めタスクを解決する最適なナノ位置決めソリューションを提案。

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質に対応

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性・極低温対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適。