高精細 大型サンプル向け 白色干渉計 共焦点顕微鏡システム S neox Grand Format
半導体、ディスプレイ、プリント基板における大型の基板の3D表面測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡システムです。測定ソフトウェア、また特定の測定ニーズに合わせたプラグインも幅広くご用意。アプリケーションに適した測定ソリューションをご提供致します。
AFM 原子間力顕微鏡 Nano-Observer 2 ナノオブザーバー 2
最先端のAFM(原子間力顕微鏡)Nano-Observer 2は、柔軟性、卓越した性能、使いやすい操作性を兼ね備えつつ、老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現。ナノスケールのイメージングと特性評価のための幅広い機能を備えています。電気特性測定(KFM、C-AFM)、脆いサンプルも測定可能なソフトICモードも実現。
AFMプローブ 高分解能 Hi’Res-C
Hi’Res-Cプローブはシリコンプローブよりも汚染が少なく、より多い枚数の高解像度スキャンの実行が可能です。Hi’Res-Cは微小領域 (< 250 nm) の走査や、平坦なサンプル (Ra < 20 nm) の測定で顕著に能力を発揮します。*本プローブは先端の曲率半径が小さいため、先端とサンプルの相互作用力は小さくなります。
SiC GaN ウエハ フォトルミネセンス マッピング対応 高速レーザー欠陥スキャナー Celero PL
Celero PLシステムはフォトルミネセンス マッピングに対応した高速レーザー欠陥スキャナーです。炭化ケイ素(SiC)および窒化ガリウム(GaN)ベースのウエハと化合物半導体材料の表面下欠陥検査とクラス分け機能のニーズに応えるように開発されました。。さまざまなウェーハ処理オプションが用意されており、クラス最高のスループットと感度を備えながら、1パスあたりのコストを最小限に抑え、研究開発と大量生産の双方の対応します。
超分解能 時間分解型共焦点 蛍光顕微鏡 MicroTime 200 STED
超分解能を持つ時間分解共焦点顕微鏡。誘導放出抑制(STED)顕微鏡法を使用。光学分解能50nm未満(STED)、励起640nm(オプション:595nmおよび660nm)、SPADおよびHybrid-PMTを使用した最大6検出チャンネル、ゲート付きSTED(gSTED)とgSTED-FCSをサポート
白色干渉計シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。
高解像度ダイアモンド・AFMプローブ(ダイヤモンドカンチレバー)
最高の耐摩耗性と電気的性能を提供する高導電性ダイヤモンドプローブ(ダイヤモンドAFMカンチレバー)
導電性プローブ
導電性プローブ:- Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング, – 高分解能導電性 DPERシリーズ, – 低ノイズ導電性 DPEシリーズ
ハイエンド リーズナブル価格 AFM Nano-Observer ナノオブザーバー1
高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定(KFM、C-AFM)などに強みがあります。
AFM-IR装置 Vista One, IR-PiFM / PiF-IR
ナノスケールIR化学分析用のオリジナルPiFM用AFM。 Vista One は、FTIR やナノ FTIR よりも詳細なナノスケールのケミカルマッピングと点スペクトルを取得します。
AFM(原子間力顕微鏡)取り扱い製品一覧
日本レーザーでは用途に応じて様々なAFM(原子間力顕微鏡)を取り揃えております。
検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO
Sensofarの白色干渉計および共焦点顕微鏡で得られる形状データを自動解析するソフトウェアです。主に品質管理、検査用途での使用を目的としており、ユーザーは素早く、簡単に解析結果が取得できます。
AFMプローブ HQシリーズ
位相イメージングは、異種材料や特性の不均一性を持つサンプルにおいて、ナノスケールの違いをイメージングするために用いられるAFM技術の一つです。位相コントラストは、チップとサンプル間の相互作用に基づきますが、これらの相互作用は、スキャンパラメーターや、イメージングの測定モード(原子間力の引力領域か斥力領域で捜査しているかなど)に依存します。O’DeaとBurratoは、位相イメージングを使用して、Nafion膜のプロトン伝導ドメインをマッピングしました。彼らは、先端とサンプルの間の特定の相互作用力がプロトン伝導ドメインの分解能に大きく影響することを発見しました。斥力レジームでのイメージングにより、ドメインの面積が大きめに表示され、ドメインの数が少なめに表示されました。引力領域でのイメージングにより、水やフルオロカーボンのドメインが最も正確に測定できました。AFMのフィードバックループが最適化されていない場合、またはカンチレバーが共振周波数を超えて駆動していた時、位相イメージングは組成の違いではなく、形状の変化に対応するイメージになりました。
長寿命プローブ
長寿命プローブ:- AFMプローブ HARDシリーズ,- AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11
装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor
S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点(コンフォーカル)の技術による3D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。
ツインエアー方式高精細ディスペンサ Twin-airⓇ
極微量滴下を可能にしたツインエアー方式。独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し
大型サンプル対応AFM 最大12インチ NanoViewラージスキャナシリーズ
NanoViewラージスキャナシリーズは4~12インチのサンプルを分割することなく直接観察が可能。表面粗さ、粒子サイズ、ステップ高さなどの3次元表面形状の画像が取得可能な最も直感的で高速かつ費用対効果に優れた産業用AFMです。また自動ポジショニングのための座標の設定も可能で、製品開発と品質管理にとって最適なツールをなっています。
レジスコープ “ResiscopeII”
AFM 超高感度電流増幅器
8インチ 200 mm ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR
8インチ(200mm)ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応します。高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応します。
AFMコントローラー “Galaxy Dual”
24 bit AFMコントローラー。サポートの終了した Agilent Technology 製 AFM に対応します。シンプルに既存のコントローラーとの置き換えが可能。既存のAFMヘッドへプラグインの上、専用ソフトウェア使用して同様のAFM動作が行えます。「Molecular Imaging/ Agilent / Keysight製AFMの修理を承ります。」
分子間相互作用解析装置 “QCM-D”
リアルタイムで質量変化と粘弾性、膜厚を分析高性能で低価格
白色干渉計 エントリーモデル ”S lynx”
コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置
ミクロスフィア式超解像分解能光学顕微鏡 ≦100nm分解能 NANORO M
超解像光学顕微鏡です。回折限界を超えて観察ができます100nm以下の空間分解能で、ナノスケールの構造を非破壊・フルカラーで観察できます。半導体研究開発および先端材料イメージング、またはSEMやAFMの代わりとしてご使用いただけます。対物レンズのみでの販売も可能です。(対物レンズページリンク 以下)