新しい S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。

特殊な金属コーティング処理した高伝導性ドープ・シリコンプローブを採用。電気力顕微鏡（EFM）や磁気力顕微鏡（MFM）など高度なAFMアプリケーション向けに最適なSPMプローブ。高い解像度と最高の導電性(感度と寿命)を同時に実現。

KFMや導電性AFMで非常に高いパフォーマンスを発揮するAFMです。環境制御に対応。高分解能原子間力顕微鏡

最高の耐摩耗性と電気的性能を提供する高導電性ダイヤモンドプローブ（ダイヤモンドAFMカンチレバー）

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度

シャープなシリコンプローブでAFM探針の試料表面接触時に直接視覚化可能。高い再現性、堅牢性、シャープさをもつナノ加工 高ドープ単結晶シリコンで高解像度イメージングを実現

インラインの組み込み用に開発された高性能3D測定センサー

従来のAFMの半分以下の低価格ながら、高いイメージング品質を発揮します。日本初上陸の高コストパフォーマンスAFMです。

金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶試料の高品質品を高精度加工

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

AFM 超高感度電流増幅器

MikroMasch®はAFMプローブ 校正用構造体・測定用標準基板を提供するブルガリアのナノテク企業です。同社は、定番のプローブ/カンチレバー等を低価格・短納期でご提供いたします。

高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献します。電磁波による影響を受けずに幅広い温度範囲で計測が可能です。

窒化カンチレバー＆シリコンチップ構成のハイブリッドプローブ(Hydraシリーズ)と、カンチレバーとチップ両方とも窒化シリコン製のSPMプローブ(Nitraシリーズ)

リアルタイムで質量変化と粘弾性、膜厚を分析高性能で低価格

最高品質の低抵抗(0.01〜0.025Ω-cm) n型アンチモンドープ単結晶シリコン製。実績の高いシリコン技術と新しい微細加工プロセスにより、シャープなチップを具備した高品質モノリシックプローブを実現。ほとんどの市販AFM装置と互換。

実体顕微鏡下での手作業に最適なマイクロ・ハンドディスペンサ

極微量滴下を可能にしたツインエアー方式。エンジニアリングシステム社独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し

業界一の超高速でケミカルイメージ（化学組成マッピング）を測定可能です。1視野のケミカルイメージは35秒で取得できます。固定波数でのイメージングは、なんと毎秒30フレームのリアルタイム取得です。生体組織の病変部位や、工業サンプルの赤外像を可視化できます。

最大300×300mmまでの大きなサンプルでも素早く計測。デジタルマイクロスコープと高分解能形状測定装置両方の長所を提供。ボタンを1回押すだけで測定を開始できる非常に使い易いデザイン。

走査型熱顕微鏡(SThM)用アンプ “VertiSenseユニット” を既存のAFMと組み合わせることで、走査型熱顕微鏡測定が可能。ほとんどの市販AFM装置と互換。VertiSenseユニット専用 “VTPプローブ” は、チップ先端に熱電対センサを配置。温度感度0.01℃、最大700℃まで測定可能。

非接触・非破壊で表面の微細形状、粗さ、うねりなどの3D形状を測定することができる組込センサーです。

高アスペクト比チップ SPMプローブ。スパイク高さ 1, 2, 4, 6µm。0°, 傾き角度補正 3°, 12°。

高品質なマイクロ構造を高速かつ安定的に作製できます。