3Dから高アスぺクト比形状まで対応

高品質なマイクロ構造を高速かつ安定的に作製できます。

世界初、マスクレス微細加工のための2光子グレースケール・リソグラフィシステム。屈折型、回折型マイクロ光学素子製造のための最先端装置。

400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます

世界最高精細の光造形装置。迅速かつ超精密の微細加工を実現。