ミニマル規格※に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM (※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。)
ナノ粒子のSEM・TEMまたはAFM観察を容易にするサンプル・プレパレーション装置。 分散溶媒中に溶かしたナノ粒子を、静電噴霧でSi基板やカーボン蒸着膜基板へ分散塗布します。