Lumina Instruments社のAT1は、ガラス基板、半導体基板、FPD、フォトマスク、ハードディスク等の基板の欠陥を可視化する高速欠陥検査イメージング装置です。他に類を見ない水準の測定速度とサブナノメートルオーダーの感度が特徴です。

MikroMasch®はAFMプローブ 校正用構造体・測定用標準基板を提供するブルガリアのナノテク企業です。同社は、定番のプローブ/カンチレバー等を低価格・短納期でご提供いたします。

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度