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白色干渉計 エントリーモデル ”S lynx”
コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置
白色干渉計シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。
3D形状・表面粗測定 ソフトウェアパッケージ
3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。
半導体製造工程向けアプリケーション
半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。
切削工具 刃先 ドリル 特性評価 粗さ測定
Sensofar製品による切削工具向けのアプリケーション事例をご紹介します。共焦点、Ai焦点移動、光干渉法を使い非接触で耐用年数、性能、切削速度、精度を測定、特性評価が可能です。
非接触光学式3D形状測定の原理
非接触・非破壊でナノメートルからミリメートルオーダーの3D形状、および表面粗さを測定することができる形状計測技術の原理について紹介します。
ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定 特性評価
TFT液晶やOLEDなどFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造の各段階で、TFTアレイ、スペーサー、UVフィルタ、コーティングなど様々な特性の評価、測定することができます。
プリント基板の3D検査 銅回路 パッド バンプ レーザーグルービング 寸法測定 特性評価
PCB プリント基板が正常に機能するための重要な銅回路、パッド、バンプ、レジスト開口部、レーザーグルービングの測定・特性評価が可能。分析ソフトウェアを最適化しました。
先進的な測定・観察方式
SENSOFAR社の3D測定顕微鏡は、共焦点・光干渉・焦点移動（フォーカスバリエーション）方式の標準的な原理だけでなく、それらの技術をさらに革新させた共焦点技術や膜厚測定などの先進的な測定、観察方式を有しています。
オプティクス レンズ 光学フィルタ フィルム厚の測定・粗さ解析
レンズや光学フィルタやフィルムなど、表面が滑らかで平ら、また透明なサンプルのオプティクス、フィルム厚や表面粗さなどの測定・解析が可能です。、球面レンズ、非球面レンズ、カメラレンズ、多角形レンズ（六角形レンズ）に対応。
CMPパッドの液中3D表面形状測定・パッド寿命評価
Sensofar 組込みセンサによるCMP（Chemical Mechanical Planarization）工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。
白色干渉計・共焦点顕微鏡による検査・解析の自動化
高精度な3D表面形状・粗さ測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡を、品質管理で用いるための自動化ソリューションを紹介します。測定の自動化のための自動アライメント機能や装置組込み用顕微鏡ヘッド、解析の自動化のためのSensoPRO自動解析ソフトウェア。
レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い
光学顕微鏡を用いた共焦点と光干渉方式による3次元形状測定技術
ICパッケージ 寸法・表面仕上げ測定
集積回路（IC）においてパッケージングは半導体部品の封止を行う最終工程です。Sensofar製品はPCBの端子、パッドに正しく接続されるため重要なピンの寸法の測定、表面仕上げの特性評価ができます。
