SENSOFAR Metrology 製品一覧

白色干渉計シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデルまで、用途に応じた幅広いラインナップを提供。

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[新商品]

クリーンルーム対応 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

SENSOFAR Metrology

クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ装置組込み用顕微鏡ヘッド。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。

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5軸ステージ付き白色干渉計 S neox Five Axis

SENSOFAR Metrology

S neox Five Axis 5軸ステージ付き白色干渉計は、高精度回転ステージモジュールと白色干渉計 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

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3D形状・表面粗測定 ソフトウェアパッケージ

SENSOFAR Metrology

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

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白色干渉計 高速・多機能モデル ”S neox”

SENSOFAR Metrology

S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。

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[新商品]

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

SENSOFAR Metrology

S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点(コンフォーカル)の技術による3D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。

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[オススメ]

白色干渉計 エントリーモデル ”S lynx”

SENSOFAR Metrology

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

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装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor

SENSOFAR Metrology

S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・白色干渉計・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。

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装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。

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SENSOFAR Metrology 技術情報一覧

プリント基板の3D検査 銅回路 パッド バンプ レーザーグルービング 寸法測定 特性評価

SENSOFAR Metrology

PCB プリント基板が正常に機能するための重要な銅回路、パッド、バンプ、レジスト開口部、レーザーグルービングの測定・特性評価が可能。分析ソフトウェアを最適化しました。

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CMPパッドの液中3D表面形状測定・パッド寿命評価

SENSOFAR Metrology

Sensofar 組込みセンサによるCMP(Chemical Mechanical Planarization)工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。

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切削工具 刃先 ドリル 特性評価 粗さ測定

SENSOFAR Metrology

Sensofar製品による切削工具向けのアプリケーション事例をご紹介します。共焦点、Ai焦点移動、光干渉法を使い非接触で耐用年数、性能、切削速度、精度を測定、特性評価が可能です。

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非接触光学式3D形状測定の原理

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊でナノメートルからミリメートルオーダーの3D形状、および表面粗さを測定することができる形状計測技術の原理について紹介します。

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オプティクス レンズ 光学フィルタ フィルム厚の測定・粗さ解析

SENSOFAR Metrology

レンズや光学フィルタやフィルムなど、表面が滑らかで平ら、また透明なサンプルのオプティクス、フィルム厚や表面粗さなどの測定・解析が可能です。、球面レンズ、非球面レンズ、カメラレンズ、多角形レンズ(六角形レンズ)に対応。

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レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い

SENSOFAR Metrology

光学顕微鏡を用いた共焦点と光干渉方式による3次元形状測定技術

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ICパッケージ 寸法・表面仕上げ測定

SENSOFAR Metrology

集積回路(IC)においてパッケージングは半導体部品の封止を行う最終工程です。Sensofar製品はPCBの端子、パッドに正しく接続されるため重要なピンの寸法の測定、表面仕上げの特性評価ができます。

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半導体製造工程向けアプリケーション

SENSOFAR Metrology

半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。

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ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定 特性評価 

SENSOFAR Metrology

TFT液晶やOLEDなどFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造の各段階で、TFTアレイ、スペーサー、UVフィルタ、コーティングなど様々な特性の評価、測定することができます。

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先進的な測定・観察方式

SENSOFAR Metrology

SENSOFAR社の3D測定顕微鏡は、共焦点・光干渉・焦点移動(フォーカスバリエーション)方式の標準的な原理だけでなく、それらの技術をさらに革新させた共焦点技術や膜厚測定などの先進的な測定、観察方式を有しています。

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