真空チャンバーへ直接フランジ接続する小型直付けタイプの飛行時間型質量分析計／残留ガス分析器（TOF-MS/RGA）です。四重極型RGAを搭載している既存設備への組み込みを容易に実現できます。

差動排気システムを内蔵し、真空チャンバーに外付けするタイプの飛行時間型質量分析計／残留ガス分析器（TOF-MS/RGA）です。四重極型RGAを搭載している既存設備への組み込みを容易に実現でき、宇宙技術で培った知見を活かし更なるフットプリントの最小化を進めています。