非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。

高品質なマイクロ構造を高速かつ安定的に作製できます。シリコーン樹脂製のマイクロ流路、スタンプ、光学部品の試作に最適です。

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

光干渉（白色干渉計）・共焦点・焦点移動方式を搭載。非接触・非破壊で表面の微細形状、面相度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる組込センサです 。

S neox Five Axis 光学式3次元測定装置は、高精度回転ステージモジュールと、S neox 3D測定顕微鏡の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

新しい S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。

インラインの組み込み用に開発された高性能3D測定センサー

リアルタイムで質量変化と粘弾性、膜厚を分析高性能で低価格

金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶試料の高品質品を高精度加工

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度