Varioscale – 非接触型厚さ測定装置
米国 Varioscale (バリオスケール) は、カリフォルニアに所在するレーザー・アシスト・ケミカル・エッチング装置のエンジニアリング技術をベースとした、半導体不良解析用装置/ツール・メーカーです。光学測定技術と精密研磨技術を統合した、ユニークな半導体チップ研磨装置を提案します。
レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。
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