Varioscale – 非接触型厚さ測定装置

米国 Varioscale (バリオスケール) は、カリフォルニアに所在するレーザー・アシスト・ケミカル・エッチング装置のエンジニアリング技術をベースとした、半導体不良解析用装置/ツール・メーカーです。光学測定技術と精密研磨技術を統合した、ユニークな半導体チップ研磨装置を提案します。