最高精度を求めるアプリケーションに、サブナノメートル・レーザー干渉式変位センサをベースに、機能性と多様性を備えた最良のカスタマイズ・ソリューションを提供。

コンパクトなモジュールで優れた性能を実現
装置内への組込み専用モデル

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定

サブナノメートル精度のレーザー干渉式 小型リニア変位センサ。モジュール式で3軸構成可能

本ページからMicroSense LLCの静電容量センサ全カタログをまとめてダウンロードできます。

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質に対応

優れた温度特性と高分解能を実現
制御用途でのフィードバックセンサに最適

優れた直線性と温度特性
静的な変位測定のスタンダードモデル

高分解能・高速応答
動的変位測定のスタンダードモデル

高真空・超高真空対応プローブ
低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能