MicroSense 8800 シリーズ　静電容量変位センサ

MicroSense

優れた温度特性と高分解能を実現
制御用途でのフィードバックセンサに最適

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MicroSense 5800 シリーズ　静電容量変位センサ

MicroSense

高分解能・高速応答
動的変位測定のスタンダードモデル

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真空対応 高精度位置センサ

MicroSense

高真空・超高真空対応プローブ
低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能

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MicroSense Mini　静電容量変位センサ

MicroSense

コンパクトなモジュールで優れた性能を実現
装置内への組込み専用モデル

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attocube レーザー干渉式センサ概要

attocube systems

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質に対応

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レーザ干渉式変位センサ　IDS3010

attocube systems

サブナノメートル精度のレーザー干渉式 小型リニア変位センサ。モジュール式で3軸構成可能

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MicroSense　静電容量変位センサ一覧

MicroSense

本ページからMicroSense LLCの静電容量センサ全カタログをまとめてダウンロードできます。

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OEMセンサ・ソリューション

attocube systems

最高精度を求めるアプリケーションに、サブナノメートル・レーザー干渉式変位センサをベースに、機能性と多様性を備えた最良のカスタマイズ・ソリューションを提供。

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MicroSense 6800 シリーズ　静電容量変位センサ

MicroSense

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定

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MicroSense 4800 シリーズ　静電容量変位センサ

MicroSense

優れた直線性と温度特性
静的な変位測定のスタンダードモデル

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