レーザー・リソグラフィ 一覧
クラス最速・最高精度 3Dプリンタ 光造形装置 Quantum X Shape
Nanoscribe
Quantum X shapeは、2光子重合(2PP)をベースに独自のプリンティングテクノロジーを組み合わせた、多用途での活用が可能な3Dプリンタです。あらゆる2.5D/3D形状での、サブミクロン精度と高い正確性でのラピッドプロトタイピング可能。またウェハースケールのバッチ生産に最適なツールとなっています。
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266nm 355nm 532nm 1064nm 単一周波数固体レーザー “EXCITE シリーズ”
Xiton Photonics
[新商品]
単一周波数固体レーザーシステムのEXCITEシリーズは、UV領域のアプリケーションに対応します。ウエハ検査、分光器の校正、干渉計のアプリケーションに使用いただけます。理論的なフーリエ限界に近い値である50MHz以下のスペクトル帯域幅を実現しています。
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厚膜ポジティブ/ネガティブ・トーン・フォトレジスト
micro resist technology
400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます
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