検査・測定・イメージング機器
レーザーアブレーション装置
高速&高精度分析。目的に最適なレーザーアブレーションを最高の性能で提供。
装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor
S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点(コンフォーカル)の技術による3D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。
AFM-IR装置 Vista One, IR-PiFM / PiF-IR
ナノスケールIR化学分析用のオリジナルPiFM用AFM。 Vista One は、FTIR やナノ FTIR よりも詳細なナノスケールのケミカルマッピングと点スペクトルを取得します。
基板用 高速レーザー欠陥スキャナー ATシリーズ
Lumina Instruments社のATシリーズは、ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。
高精度・多層膜・非接触 厚み計 157/137シリーズ
※デモ機あり、サンプル測定可能 高精度 (±0.1 μm)、12μm から 80mmの広い範囲が測定可能な膜厚計(厚み計)です。独自の非接触光学技術を採用。硬質材料と軟質材料の両方を、損傷や変形なく厚さ測定をすることができます。最大31層の厚みを同時に測定することが可能です。
LED光エンジン“SOLA II シリーズ”
アークランプに代わる長寿命 白色光源。紫外・赤外領域の発光が少なく、生体サンプルに与える影響を抑制
2μm ナノ秒パルス ファイバーレーザー “PowerWave2000-ns”
中赤外スーパーコンティニューム光源の励起に最適。中心波長 1900~2000 nm、繰り返し周波数 kHz~MHz、パルスエネルギー10 μJにて最大出力10 W
ミリ波・サブテラヘルツ発振器 TeraSchottky
パワフルな完全一体型サブ・テラヘルツ発振器。最先端のショットキーダイオード・マルチプライヤ利用。高出力 2~350mW。高いチューナビリティ <12%。周波数 > 75, 150, 300, 600 GHz。コンパクト(<1kg)で使い易い。
MicroSense 8800 シリーズ 静電容量変位センサ
優れた温度特性と高分解能を実現。制御用途でのフィードバックセンサに最適。
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor
S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・白色干渉計・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。
ミニマルCD-SEM
ミニマル規格※に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM
(※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。)
AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ
シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。
ハイエンド サーモグラフィ“ImageIR”
最高の感度・精度・空間分解能・速度。測定パフォーマンスに優れた非常に小型で柔軟性の高い製品です。
MicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ
シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定