MicroSense 8800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

優れた温度特性と高分解能を実現
制御用途でのフィードバックセンサに最適

優れた温度特性と高分解能を実現
制御用途でのフィードバックセンサに最適

  • 低い温度ドリフト、高い安定性
  • 優れた直線性
  • 高い分解能
  • 多彩なプローブバリエーション
  • 金属の材質や成分の影響を受けない
  • 真空や非磁性などさまざま測定環境に対応

 

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。優れた直線性と温度特性を特長とし、サブナノメートルレベルの高い測定分解能を実現しています。半導体検査、製造装置内での位置決めや姿勢制御など高い精度で長期間安定した性能が必要とされる用途に適しています。

モデル8810

必要最小限の機能をコンパクトに設計したシングルチャンネルモデルです。組込み用センサからプロダクション用ツールとして幅広い用途でご活用いただけます。

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • アナログメータ搭載:アナログメータで出力を直読でき、測定フルスケール内のプローブ位置が容易に確認できます。

モデル8800

マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • 検査製造装置内でのモーションコントロール
  • 精密ステージの精度評価
  • 平坦度、厚み測定
モデル 8810 8800
供給電源 AC100V±10% 50/60Hz DC±15V@0.120A max
出力コネクタ形式 BNC BNC
寸法 本体110mm(W)×195mm(D)×45mm(H),
ACアダプタ 75mm(W)×120mm(D)×60mm(H)
本体35.4mm(W)×170mm(D)×129Mm(H),
ユーロカード規格 3U 7HP
本体重量 0.5kg(ACアダプタ 0.8kg) 0.5kg
測定フルスケール ±5μm~4500μm
出力電圧 測定フルスケール当たり±10VDC
出力分解能 ※1 最高0.001%FS以下 ※3
出力直線性 ※2 最高0.03%FS以下 ※3
出力温度特性 0.01%FS/℃ ※4
応答周波数(@-3dB) 標準:DC~1kHz(10Hz、100Hz、10kHz, 20kHz ※5
使用温度範囲 0~50℃
使用湿度範囲 85%RH以下(結露なきこと)

※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。
※5 オプション

 

 

MicroSense 静電容量変位センサ一覧 (MicroSense社製品カタログの一括ダウンロードもこちらから)

 

MicroSense 6800 シリーズ (シリーズ最高分解能・高速応答)

 

MicroSense 5800 シリーズ (高分解能・高速応答。動的変位測定用)

 

MicroSense 4800 シリーズ (優れた直線性・温度特性。静的変位測定用)

 

MicroSense Mini (コンパクトモジュール。装置内への組込み用)

 

高真空・超高真空対応センサ