ミニマル規格※ に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM

• ショットキー・エミッション電子銃により高解像度を実現
• 測長ユニットを装備した4軸(X/Y/Z/R)精密ステージによる高精度位置決め、高精度測長
• 完全ドライ真空によるクリーンな観察環境

※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の 登録商標です。
 
ミニマル規格に準拠し、ハーフ・インチ・サイズ試料片の自動搬送機構と高解像度SEM観察、測長の機能性をコンパクトに集約しました。AC100/7A電源と圧縮空気さえあれば、どこでも立ち上げが可能で、設置場所を自由に移動させることが出来る可搬型SEM。
オプションで、EBアタッチメントを取り付ければ電子線描画装置として、EDSアタッチメントを取り付ければ元素分析装置としても機能するオ―ル・イン・ワン・システムです。