ミニマルCD-SEM

TCK

ミニマル規格に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM
(※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。)

ミニマル規格 に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM

  • ショットキー・エミッション電子銃により高解像度を実現
  • 測長ユニットを装備した4軸(X/Y/Z/R)精密ステージによる高精度位置決め、高精度測長
  • 完全ドライ真空によるクリーンな観察環境

「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の 登録商標です。

 

ミニマル規格に準拠し、ハーフ・インチ・サイズ試料片の自動搬送機構と高解像度SEM観察、測長の機能性をコンパクトに集約しました。AC100/7A電源と圧縮空気さえあれば、どこでも立ち上げが可能で、設置場所を自由に移動させることが出来る可搬型SEM。
オプションで、EBアタッチメントを取り付ければ電子線描画装置として、EDSアタッチメントを取り付ければ元素分析装置としても機能するオ―ル・イン・ワン・システムです。

試料交換 自動搬送システムによるロードロック方式
専用の試料ホルダ(ミニマルシャトル)を使用
分解能 2nm @ 5kV
倍率 ×20 ~ ×500,000
電子銃 ショットキーエミッション (ZrO/W)
排気系 SIP、TMP×2台、DP×2台
加速電圧 0.5 ~ 5.0kV (0.1kVステップ)
照射電流 1pA ~ 1nA
検出器 二次電子検出器
精密ステージ [ 構成 ] X / Y / Z / R
[ 分解能 ] X / Y / Z:0.01um | R:0.8arc_sec( 1/4,500°)
移動量 X / Y:20mm×20mm | Z:10mm | R:±5°
制御PC Windows7
装置寸法 300mm (w) × 450mm (D) × 1,440mm (H)
ユーティリティー 電源:AC100V / 7A以下:圧縮空気:0.5 MPa

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