高精度・多層膜・非接触厚み計 157/137シリーズ

※デモ機あり、サンプル測定可能高精度（±0.1 μm）、12μm から 80mmの広い範囲が測定可能な膜厚計（厚み計）です。独自の非接触光学技術を採用。硬質材料と軟質材料の両方を、損傷や変形なく厚さ測定をすることができます。最大31層の厚みを同時に測定することが可能です。

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概要
応用例
主な仕様
関連情報

R&D、製造向け高精度・多層膜・非接触で厚み測定が可能な膜厚計（厚み計）

非破壊＆非接触厚さ計測
硬質/軟質材料、透明材料を測定可能：樹脂シート、PETフィルム、ウエハ、ガラス基板、レンズなど
最大31層を同時に測定可能な厚み計
高精度 ±0.1 μm
最大±0.02 μmの長期測定再現性
長さ標準を内蔵し連続校正が可能
NIST規格にトレーサブル
12μm から 80mmの広い厚み測定範囲
表示ソフトウェアは測定パラメータを制御し、厚さのデータをレポートすることが可能
インライン測定対応：USBまたはEthernet経由のAPI連携で製造プロセスへの組込みが可能

※デモ機あり、サンプル測定可能

厚みの情報は、様々な材料の開発・製造に欠かせません。このニーズに応えるため、Bristol Instruments社は実績のある光学技術を採用した厚さ測定の製品群を提供しています。汎用性と利便性を兼ね備えた、前例のない高い性能を実現しています。損傷や変形なしで、樹脂シート、PETフィルム、ウエハ、ガラス基板、レンズ等、硬い材料や柔らかい透明な材料の厚さ測定が可能です。

見積・サンプル測定などのご相談

厚み計（レーザー膜厚計）測定動画

動画『多層の厚み・距離を一度で正確測定「非接触光学式厚み計」FPDや医療機器にも実績』

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多層の厚み・距離を一度で正確測定「非接触光学式厚み計」FPDや医療機器にも実績

Bristol レーザー膜厚計・厚さ計測定例

Bristol Instruments社製157LS-1,QAP-007/125プローブを使用
測定原理　
白色干渉法+光スペクトルアナライザー技術
測定方法
１．サンプルをステージに設置。CCDカメラ画像を通してサンプルからの反射光が「カメラ画像」中央部分にある赤い十字(＋)に合うように、ステージや光軸を調整する。
2．ゲイン(素子感度)を変動させ、各層のピークが際立つようにスペクトル画面を見ながら調整する。
3．各層の材質の屈折率(@1310nm)を読み込み各層の換算距離(実際の厚み)を算出する。
サンプル
材料：硼珪酸ガラス、サイズ:18x18mm、厚み公差:0.12 – 0.17mm
測定結果
任意の1点を選び、10回連続して測定を行いました。光学的距離から実際の厚みへ換算するための各層の屈折率(@1.31um)を「https://refractiveindex.info/」からBK7を採用しました。ソフトウェア測定画面上での「Layer Thickness」は、屈折率を考慮した換算距離（実際の厚み）です。

測定結果
測定値[μm]	151.39	151.41	151.32	151.34	151.60
測定値[μm]	151.55	151.60	151.32	151.38	151.46
厚み公差[μm]	120-170
平均値	151.44
標準偏差	0.10

モデル	157	157LS	157XLS	137	137LS	137XLS
測定方法	白色干渉計
最大物理膜厚（屈折率1.0の空気層）	12 mm	40 mm	80 mm	12 mm	40 mm	80 mm
最大物理膜厚（屈折率1.5の被測定物）	8 mm	26 mm	53 mm	8 mm	26 mm	53 mm
最小物理膜厚（屈折率1.5の被測定物）※1	16 μm	20 μm	24 μm	<35 μm	<35 μm	<35 μm
最小物理膜厚（屈折率1.5の被測定物）※1	12 μm (精度 ± 1.0 μm)	12 μm (精度 ± 1.0 μm)	16 μm (精度 ± 1.0 μm)	<35 μm	<35 μm	<35 μm
測定精度※2	± 0.1 μm	± 0.1 μm	± 0.1 μm	± 1.0 μm	± 1.0 μm	± 1.0 μm
測定再現性※3, 4	± 0.02 μm	± 0.02 μm	± 0.02 μm	± 0.05 μm	± 0.05 μm	± 0.05 μm
トレーサビリティ	NIST認定のゲージブロックで検証済み
測定レート	20 Hz	7 Hz	4 Hz	20 Hz	7 Hz	4 Hz
機器インターフェイス	USBおよびイーサネット（Windowsベースのディスプレイプログラムに対応）イーサネットはネットワーク接続で最大8つのクライアントまで機器アクセスが可能 LabVIEW、.NET、カスタムプログラミング用のコマンドのライブラリを用意
コンピュータ要件	Windows10、RAM容量 1G、USB 2.0以降
寸法	3.5″ x 17.0″ x 15.0″ (89 mm x 432 mm x 381 mm)
重量	17 lbs (7.65 kg)
電源要件	90 – 264 VAC, 47 – 63 Hz, 最大 80 VA

※1 12 μm (157, 157LS)、16 μm (157XLS) まで測定可能ですが、精度は低くなります。
※2 測定の不確かさ、または最大厚み誤差として定義され、信頼度は99.7%以上です。精度はNISTトレーサブルゲージブロック（50mmまで）で検証されています。
※3 60分間の測定における標準偏差。
※4 屈折率1.5 ㎜、1 mmの試料に対する仕様です。被測定物の屈折率に依存します。プローブ波長1.3 μmにおける被測定物の屈折率に依存します。仕様は反射率4 %で表示しています。反射率が低い場合，再現性が低下し，最悪の場合は約±0.15 μmとなります。
※仕様は予告なく変更される場合があります。