高精度・広範囲・非接触 膜厚計(厚さ計)157/137シリーズ

Bristol Instruments

※デモ機あり、サンプル測定可能 高精度 ±0.1 μm、12μm から 80mmの広い範囲が測定可能な膜厚計(厚さ計)です。独自の非接触光学技術を採用。硬質材料と軟質材料の両方を、損傷や変形なく厚み測定をすることができます。最大31層の厚みを同時に測定することが可能です。

R&D、製造向け 非接触・高精度・広範囲で厚み測定が可能な膜厚計(厚さ計)

  • 損傷や変形なしに硬い材料や柔らかい材料の厚み測定が可能
  • 最大31層を同時に測定可能な厚さ計
  • 高精度 ±0.1 μm
  • 最大±0.02 μmの長期測定再現性
  • 長さ標準を内蔵し連続校正が可能
  • NIST規格にトレーサブル
  • 12μm から 80mmの広い測定範囲
  • 表示ソフトウェアは測定パラメータを制御し、厚さのデータをレポートが可能
  • APIはUSBまたはイーサネットを介して製造プロセスへの組込を支援

※デモ機あり、サンプル測定可能
 
厚みの情報は、様々な材料の開発・製造に欠かせません。このニーズに応えるため、Bristol Instruments社は実績のある光学技術を採用した厚み測定の製品群を提供しています。さらに、性能レベルは、前例のないレベルの汎用性と利便性を実現しています。

  • 光学部品とレンズアセンブリ: 個別部品や多素子スタックに対応
  • OLED、AMOLED、LCDディスプレイ: ラミネート接着剤を含む全体と個々の層の厚さを測定
  • コンタクトレンズと眼内レンズ: 中央の厚みと矢状面の高さを測定
  • 医療用バルーンカテーテル: カテーテル本体、ネック、コーンの壁厚を測定
  • 医療用チューブ: チューブの壁の厚み、外径、内径を測定

 

モデル 157 157LS 157XLS 137 137LS 137XLS
測定方法 非接触光学干渉法
最大物理膜厚(屈折率1.0の空気層) 12 mm 40 mm 80 mm 12 mm 40 mm 80 mm
最大物理膜厚(屈折率1.5の被測定物) 8 mm 26 mm 53 mm 8 mm 26 mm 53 mm
最小物理膜厚(屈折率1.5の被測定物)※1 16 μm 20 μm 24 μm <35 μm <35 μm <35 μm
12 μm (精度 ± 1.0 μm) 12 μm (精度 ± 1.0 μm) 16 μm (精度 ± 1.0 μm) <35 μm <35 μm <35 μm
測定精度※2 ± 0.1 μm ± 0.1 μm ± 0.1 μm ± 1.0 μm ± 1.0 μm ± 1.0 μm
測定再現性※3, 4 ± 0.02 μm ± 0.02 μm ± 0.02 μm ± 0.05 μm ± 0.05 μm ± 0.05 μm
トレーサビリティ NIST認定のゲージブロックで検証済み
測定レート 20 Hz 7 Hz 4 Hz 20 Hz 7 Hz 4 Hz
機器インターフェイス
  • USBおよびイーサネット(Windowsベースのディスプレイプログラムに対応)
  • イーサネットはネットワーク接続で最大8つのクライアントまで機器アクセスが可能
  • LabVIEW、.NET、カスタムプログラミング用のコマンドのライブラリを用意
コンピュータ要件※5 Windows10、RAM容量 1G、USB 2.0以降
寸法 3.5″ x 17.0″ x 15.0″ (89 mm x 432 mm x 381 mm)
重量 17 lbs (7.65 kg)
電源要件 90 – 264 VAC, 47 – 63 Hz, 最大 80 VA

※1 12 μm (157, 157LS)、16 μm (157XLS) まで測定可能ですが、精度は低くなります。
※2 測定の不確かさ、または最大厚み誤差として定義され、信頼度は99.7%以上です。精度はNISTトレーサブルゲージブロック(50mmまで)で検証されています。
※3 60分間の測定における標準偏差。
※4 屈折率1.5 ㎜、1 mmの試料に対する仕様です。被測定物の屈折率に依存します。プローブ波長1.3 μmにおける被測定物の屈折率に依存します。仕様は反射率4 %で表示しています。反射率が低い場合,再現性が低下し,最悪の場合は約±0.15 μmとなります。
※5 光学プローブの初期アライメントと、Windowsベースの表示プログラムでの使用に必要です。測定には必要ありません。

※仕様は予告なく変更される場合があります。

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