AT1 ガラス基板欠陥検査装置

Lumina Instruments

Lumina Instruments社のAT1は、他に類を見ない水準の、高速・高感度レーザスキャニング欠陥検査装置です。

Lumina Instruments社のAT1は、以下に挙げる特徴を有する、高速・高感度レーザスキャニング欠陥検査装置です。

  • 欠陥イメージング
  • 感度: 50オングストローム(5 nm)
  • 基板全面のエリアで、上記感度を維持
  • わずか30秒で50 mm x 50 mmのフルスキャン&データ表示
  • 透明膜、シリコン、化合物、金属基板を検査可能
  • 非円形や壊れやすいサンプルに対応
  • 透明な基板については表面・裏面の同時観察、かつ表裏の分離が可能
  • 耐振動性
  • 最大走査範囲:300 x 300 mm
  • 最大サンプル厚さ:10 mm

 

 


 

 

25 x 25 mmガラス上、右半分に厚さ1 nmのAl2O3フイルムコーティングを施したサンプルの測定結果。データの取得時間20秒。ガラス(透明基板)上のAl2O3(透明膜)であっても問題なく検出可能。

AT1の偏光チャンネルにおいてのみ可能!

 

以下はAT1による偏光チャンネルイメージです。局所的な膜厚のばらつき(およそ数Åオーダー)が簡単に検出されます。膜厚のばらつきは基板の欠陥やフィルム残渣等によって起こり得ます。

AT1による偏光チャンネルイメージ

(左)BK7ガラス上の、5nm Al2O3膜ステップ (右)ガラスインターポーザ上の汚損

 

ハイエンドガラス表面の洗浄痕跡
暗いエリアはコンタミのモノレイヤーを示しています。AT1でのみ検出可能!!
ガラス基板上の膜欠陥ズームインイメージ
モデル AT1 大型基板欠陥検査装置
走査時間 50mm x 50mm @ 30秒
感度 膜欠陥 <50 Å
動作温度 18 – 30°C
用力(電圧) 120 / 230 VAC
用力(電流) 6 A / 4 A
重量 205 kg
装置寸法

TOPに戻る