AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ

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ガラスホルダーチップの両側に2つのシリコンナイトライドカンチレバー・チップがあります。
それらはソフトコンタクトモードのアプリケーションに使用されます。

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  • 反射面コーティング:
    Cr-Au BS 70 nm, Au on Cr
    Cr-Au 70 nm, Au on Cr
  • チップ面コーティング:
    Cr-Au BS none
    Cr-Au 35 nm, Au on Cr
  • Cr-Au BS チップ半径 < 10 nm
  • Cr-Au コーティング後チップ半径 < 30 nm
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品番 XSC12 コーティング レバー長
[µm,±5]
レバー幅
[µm,±3]
レバー厚
[µm,±0.5]
共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
lever A Cr-Au,
Cr-Au BS
200 28 0.5 17 0.08
lever B Cr-Au,
Cr-Au BS
100 13.5 0.5 67 0.32
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