組込み 3D測定センサ S neox sensor

SENSOFAR Metrology

S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・光干渉・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。

S neox sensor の柔軟性と多機能性

S neoxは多機能性に優れています。「4-in-1」技術による幅広いアプリケーションへの比類のない適応力、また、あらゆる表面において最大限の測定の柔軟性を提供します。
 

4つの光源x4つの測定方法の説明vtp円形測定図

S neox sensor スピードと機能の向上

x5改良アルゴリズム一部のアルゴリズムを再度デザインすることにより、全てのテクノロジーのスピードと性能が向上を実現しました。

S noex sensorの膜厚測定性能

optics-polygonal-マイクロレンズ測定ノイズ

 
S neoxは50nm~5mmまでの膜厚の測定が可能です。またZ軸方向ピエゾモーターをオプションで追加することにより最高の性能を発揮します。

S neox sensor 自動3D測定

自動3D測定pcsランディング

 
S neox sensorは測定に最適な取得条件を見つける機能を備えています。表面に焦点を合わせるだけで、その後は自動でS neox sensorで測定を行います。

寸法

S neox sensor 寸法図

測定技術

共焦点光干渉法Ai焦点移動
共焦点法光干渉法
PSI, ePSI, CSI
Ai焦点移動法

S neox sensoer 光源

赤色光 630nm緑色光 530nm青色光 460nm白光 575nm
630 nm530 nm460 nm575 nm

対物レンズ性能 明視野

倍率5X10X20X50X100X150X
開口径 NA0.150.300.450.800.900.95
作動距離 WD (mm)23.517.54.51.0 1.00.2
FOV 視野1 (μm)3378 x 28261689 x 1413 845 x 707 338 x 283169 x 141113 x 94
空間サンプリング2(µm)1.38 0.690.340.130.070.05
光学分解能3(µm)0.94 0.470.310.180.160.148
システムノイズ4(nm)100308531
最大傾斜5(º)91727446472

対物レンズ性能 光干渉法

倍率5X10X20X50X100X150X
開口径 NA0.0750.130.300.400.550.70
作動距離 WD (mm)10.3 9.37.44.73.42.0
FOV 視野1 (μm)6756 x 56523378 x 28261689 x 1413845 x 707338 x 283169 x 141
空間サンプリング2(µm)2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
光学分解能3(µm)1.871.080.470.350.260.20
システムノイズ4(nm)PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm
最大傾斜5(º)4717243344

注釈
1. 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
5. 滑らかな表面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º

S neox sensor Z軸方向性能

Z軸粗さ(リニアステージ)精度(静電センサ付きピエゾスキャナー)
垂直範囲40 mm200 µm
分解能5 nm1.25 nm

精度 再現性

測定基準U, σ測定技術
段差48600 nmU=300 nm, σ= 10 nm共焦点法、光干渉法CSI
7616 nmU=79 nm, σ= 5 nm共焦点法、光干渉法CSI
941.6 nmU=7 nm, σ= 1 nm共焦点法、光干渉法CSI
186 nmU=4 nm, σ= 0.4 nm共焦点法、光干渉法CSI
44.3 nmU=0.5 nm, σ= 0.1 nm光干渉法PSI
10.8 nmU=0.5 nm, σ= 0.05 nm光干渉法PSI
面粗度(Sa)70.79 µmU=0.04 µm, σ=0.0005 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
プロファイル粗さ (Ra)82.40 µmU=0.03 µm, σ= 0.002 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
0.88 µmU=0.015 µm, σ= 0.0005 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
0.23 µmU=0.005 µm, σ= 0.0002 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI

注釈 7.面積 1×1 mm  8.プロファイル 4mm長

 
共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定はPZTを使用。不確定度(U)は以下に準拠します。ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (信用度 95%)。σは25回の測定に依ります。

製品情報

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