MicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ
シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定
- サブナノメートルレベルの高い分解能
- 最高100kHzの高い応答性(1kHz~100kHzの範囲で4段階に切換え)
- 高い安定性
- さまざまな機能で幅広い用途に対応
MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。高速応答を特長とし、シリーズ最高の測定分解能を実現しています。振動体や高速スピンドルの精度評価など、被測定物が高速で変位する測定に適しています。
モデル6800
マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。
- 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
- オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
- 回転体や振動体などの動特性測定
- ナノメートル以下での超精密ステージの送り精度評価
モデル | 6800 | |
---|---|---|
出力コネクタ形式 | BNC | |
寸法 | 本体35.4mm(W)×170mm(D)×129Mm(H), ユーロカード規格 3U 7HP | |
本体重量 | 0.5kg | |
測定フルスケール | ±15μm~250μm | |
出力電圧 | 測定フルスケール当たり±10VDC | |
出力分解能 ※1 | 最高0.0005%FS以下 ※3 | |
出力直線性 ※2 | 最高0.1%FS以下 ※3 | |
出力温度特性 | 0.1%FS/℃ ※4 | |
応答周波数(@-3dB) | 標準:DC~20kHz(1Hz、5Hz、100kHz) | |
使用温度範囲 | 0~50℃ | |
使用湿度範囲 | 85%RH以下(結露なきこと) |
※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。
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