MicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定
  • サブナノメートルレベルの高い分解能
  • 最高100kHzの高い応答性(1kHz~100kHzの範囲で4段階に切換え)
  • 高い安定性
  • さまざまな機能で幅広い用途に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。高速応答を特長とし、シリーズ最高の測定分解能を実現しています。振動体や高速スピンドルの精度評価など、被測定物が高速で変位する測定に適しています。

モデル6810

必要最小限の機能をコンパクトに設計したシングルチャンネルモデルです。組込み用センサからプロダクション用ツールとして幅広い用途でご活用いただけます。

 

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • アナログメータ搭載:アナログメータで出力を直読でき、測定フルスケール内のプローブ位置が容易に確認できます。

モデル6800

マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。

 

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • 回転体や振動体などの動特性測定
  • ナノメートル以下での超精密ステージの送り精度評価
モデル 6810 6800
供給電源 AC100V±10% 50/60Hz DC±15V@0.120A max
出力コネクタ形式 BNC BNC
寸法 本体110mm(W)×195mm(D)×45mm(H),
ACアダプタ 75mm(W)×120mm(D)×60mm(H)
本体35.4mm(W)×170mm(D)×129Mm(H),
ユーロカード規格 3U 7HP
本体重量 0.5kg(ACアダプタ 0.8kg) 0.5kg
測定フルスケール ±15μm~250μm
出力電圧 測定フルスケール当たり±10VDC
出力分解能 ※1 最高0.0005%FS以下 ※3
出力直線性 ※2 最高0.1%FS以下 ※3
出力温度特性 0.1%FS/℃ ※4
応答周波数(@-3dB) 標準:DC~20kHz(1Hz、5Hz、100kHz)
使用温度範囲 0~50℃
使用湿度範囲 85%RH以下(結露なきこと)

※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。

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