MicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定
  • サブナノメートルレベルの高い分解能
  • 最高100kHzの高い応答性(1kHz~100kHzの範囲で4段階に切換え)
  • 高い安定性
  • さまざまな機能で幅広い用途に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。高速応答を特長とし、シリーズ最高の測定分解能を実現しています。振動体や高速スピンドルの精度評価など、被測定物が高速で変位する測定に適しています。

モデル6800

マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。

 

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • 回転体や振動体などの動特性測定
  • ナノメートル以下での超精密ステージの送り精度評価

モデル6800
出力コネクタ形式BNC
寸法本体35.4mm(W)×170mm(D)×129Mm(H),
ユーロカード規格 3U 7HP
本体重量0.5kg
測定フルスケール±15μm~250μm
出力電圧測定フルスケール当たり±10VDC
出力分解能 ※1最高0.0005%FS以下 ※3
出力直線性 ※2最高0.1%FS以下 ※3
出力温度特性0.1%FS/℃ ※4
応答周波数(@-3dB)標準:DC~20kHz(1Hz、5Hz、100kHz)
使用温度範囲0~50℃
使用湿度範囲85%RH以下(結露なきこと)

※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。

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