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AFM-IR装置 Vista One, IR-PiFM / PiF-IR
ナノスケールIR化学分析用のオリジナルPiFM用AFM。 Vista One は、FTIR やナノ FTIR よりも詳細なナノスケールのケミカルマッピングと点スペクトルを取得します。
PiFM用AFM Vista One 特徴
PiFM方式を採用することにより、従来のAFM-IRの欠点を克服した最も先進的なAFM-IR機器です。半導体、ポリマー、無機物、ナノフォトニクス等の各種用途で使用いただいています。
最高解像度での特性評価
右上のPiFM画像は、酸化アルミニウムが浸透したPS-b-PMMA
ブロック共重合体を示しています。ラメラのフルピッチは
41 nmですが、PSの幅はわずか約 9 nm です。
ブロック共重合体を示しています。ラメラのフルピッチは
41 nmですが、PSの幅はわずか約 9 nm です。
適切な光学系の搭載を実現
Vista One のヘッドは、光学的なアライメントを
失うことなく、サンプルやチップを交換するため
に取り外すことができます。
失うことなく、サンプルやチップを交換するため
に取り外すことができます。
短時間で測定可能
10 nm 間隔のPiF -IR スペクトルは、
3つのポリマー(エポキシ、pDEGDA、SDIB)
の界面にわたる材料の変化を示しています。
3つのポリマー(エポキシ、pDEGDA、SDIB)
の界面にわたる材料の変化を示しています。
精度を重視した設計
静電容量センサー + 光学式エンコーダー 装置に搭載の電動ステージの移動範囲は6 mmです。精密制御のための光学式エンコーダを備えています。AFM スキャナーの静電容量センサーは、~100 pm RMS 精度のリニアスキャンを実現しています。 | |
デュアルZスキャン機構 アーティファクトを発生させることなく、画像のサンプリングを高速化します。本装置のデュアルZピエゾスキャナシステムは、12 µmの大きな垂直範囲で正確なスキャンを実現します。 | デュアルZピエゾシステムを使用するとで、 微細なトポグラフィがより鮮明になります。 |
アクセスしやすく安定したAFMヘッド
薄型のヘッドは安定性が高く、上面から
の作業距離は13mmと小さくなっています。
の作業距離は13mmと小さくなっています。
多彩な光路
AFMチップは光学的に励起したり、
上面、底面、側面からの観察が可能です。
上面、底面、側面からの観察が可能です。
カスタマイズ可能な環境
測定室に環境制御用カバーを備えた Vista One
温度調節・ノイズ対策
多用途かつカスタマイズ可能
Vista Oneフレームは、sSNOM、KPFM、共焦点ラマンなど、ほぼすべての光学AFM実験が行えるようにカスタマイズ可能です。
製品構成の例
Vista One IR | |
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AFM本体 | Vista One フレーム |
ノイズ対策 | アクティブ防振台、および 温度制御付き音響エンクロージャ |
レーザー | QCL の選択レーザー: QCL (770 – 1850 cm -1 ) または OPO/DFG (550 – 2050、2250 – 4400 cm -1 ) |
レーザーマルチプレクサー | 中型サイズ (最大 3 つのレーザー入力と偏光スイッチング) または大型サイズ (最大 6 つのレーザー入力と偏光スイッチング) |
オプション | 環境/湿度制御用カバー、加熱ステージ、偏光スイッチャー、 乾燥空気ろ過器、KPFM、cAFM 、PFM、フォースボリュームマッピング、 分光計、フォトンカウンター (SP-APD)、s-SNOMモジュール、倒立光学系 |
Vista One IR +s-SNOM | |
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Vista One IR に含まれるものに加え、下記のものが含まれます。 | |
マルチプレクサ | 大型 |
必要なオプション | s-SNOMモジュール |
Vista One IR +PL/ラマン | |
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Vista One IR に含まれるものに加え、下記のものが含まれます。 | |
レーザー | QCL、可視ダイオードレーザーの選択 |
マルチプレクサ | 大型 |
必要なオプション | 分光計 |
Vista One DIY | |
---|---|
AFM本体 | Vista One フレーム |
ノイズ対策 | アクティブ防振台、および温度制御付き音響エンクロージャ |
レーザー | 自前の光源と組み合わせることが可能です |
オプション | レーザーマルチプレクサーをはじめ、そのほかオプションを選択可能 |
AFM-IR PiFM の仕組みと原理
AFM-IR PiFM ナノスケール赤外分光イメージング装置 [光誘起力顕微鏡] の仕組みと応用例
PiFM・PiF-IR機器
AFM-IR 装置 Vista75 PFiM PFi-IR
8インチ(200 mm) ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR
12インチ(300 mm)ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 300 PiFM / PiF-IR
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