装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

SENSOFAR Metrology

S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点（コンフォーカル）の技術による３D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。

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概要
主な仕様
関連情報

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor の特長（動画）

非常に簡単に組込みが可能

S mart 2 sensorは非常に簡単に組込みが行えるように設計されており、演算処理能力を含む全ての電子機器をヘッド内部に搭載しています。接続はイーサネットケーブルと電源の2つのみ。Sensofar製品の中で最も簡単に組み込みが可能な製品です。

狭幅コンパクト設計

S mart2 sensor は幅長90㎜と狭い横幅で、ユーザー様や製造工程に支障をきたさない場所に組み込み、設置することができます。

S mart 2のヘッドに全ての電子機器を搭載

S mart 2 は非常に簡単に組込めるように設計されています。演算処理能力を含むすべての電子機器をヘッド内部に搭載しています。

高効率パッシブ冷却システム

計測機器が適正な性能を発揮するために温度管理は重要です。Sensofarの高効率のパッシブ冷却システムは機器をいつでも使用できる状態に保ちます。

真のエリア共焦点システム

S mart 2 sensor は面状での共焦点測定システムです。一度に面全体をイメージングできるため、点状や線状の共焦点の仕組みとは異なり、水平方向の分解能は方向によって変わりません。


従来の共焦点での測定システム	S mart 2 sensorでのエリア（面状）共焦点での測定システム

白色干渉計、Ai焦点移動、共焦点 3つの測定技術を搭載

最適なスキャンを実現するために、S mart 2 sensorはヘッドに光干渉、Ai焦点移動、共焦点の3つの測定技術を搭載しています。

S mart 2 sensor 自動3D測定

表面に焦点を合わせるだけで、あとはS mart 2 sensorが自動で測定を行います。Sensofarのセンサ製品は、通常、製造ラインで要求される自動化が実現できるように設計されています。

測定はワンクリック、または外部からの実行指令により行われます。センサは焦点位置を見つけ、照明とZレンジを最適化して、測定結果を得ることができます。

寸法

測定技術


共焦点	白色干渉計 CSI	Ai焦点移動

S Mart 2 sensor 光源

575nm

対物レンズ性能　明視野

倍率	5X	10X	20X	50X
開口径 NA	0.5	0.30	0.45	0.80
作動距離 WD (mm)	23.5	17.5	4.5	1.0
FOV 視野1 (μm)	2820 x 2820	1410 x 1410	700 x 700	280 x 280
空間サンプリング2(µm)	2.76	1.38	0.69	0.27
光学分解能3(µm)	1.11	0.55	0.37	0.21
システムノイズ4(nm)	90	35	10	4
最大傾斜5(º)	9	17	27	53

対物レンズ性能　白色干渉計

倍率	10X	20X	50X
開口径 NA	0.30	0.40	0.55
作動距離 WD (mm)	7.4	4.7	3.4
FOV 視野1 (μm)	1410 x 1410	700 x 700	280 x 280
空間サンプリング2(µm)	1.38	0.69	0.27
光学分解能3(µm)	1.38	0.69	0.30
システムノイズ4(nm)	< 5
最大傾斜5(°)	17	24	33

注釈
1. 3/2”カメラと0.25倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。 VC-Eの環境振動で測定。
5.散乱面上で最大傾斜 86°