高精細大型サンプル向け白色干渉計共焦点顕微鏡システム S neox Grand Format

半導体、ディスプレイ、プリント基板における大型の基板の3D表面測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡システムです。測定ソフトウェア、また特定の測定ニーズに合わせたプラグインも幅広くご用意。アプリケーションに適した測定ソリューションをご提供致します。

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概要
応用例
主な仕様
関連情報

白色干渉計共焦点顕微鏡システム S neox Grand Format の概要と特長

S neox Grand Formatでは白色干渉計共焦点顕微鏡による半導体、ディスプレイ、プリント基板などの大型基板の3D表面測定が可能。ハードウエアからソフトウェアまで総合的なソリューションを提供できます。

重量による測定能力の制限なし

サンプルの重量制限の撤廃
600 x 600 mmの広い移動範囲、毎秒1メートルの卓越した速度とクローズループXYガントリー設計により、サンプルの重量に関係なく安定した測定が可能。

半導体特性評価用認証取得

安全性の向上
S neox Grand Formatは、SEMI S2やS8などの業界標準を満たすように考慮された設計になっており、TÜV Rheinlandの認証も受けています。

最高水準の測定多様性

3-in-1テクノロジー
測定センサであるS neox Cleanroomは、3つの異なる光学技術（白色干渉・共焦点・Ai焦点移動）を備えており、各サンプルに最適な技術を用いてイメージングを行い、サブナノメートルレベルの精度を実現しています。

クリーンルーム対応

ISOクラス1対応
測定センサはISOのクラス1対応です。筐体はステンレス製で、パーティクルの発生を最小限に抑えます。

クリーンルーム対応装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor詳細ページ

統合ソフトウェアソリューション

SensoSCAN データ取得ソフトウェア内蔵 S neox Grand Format

データ取得ソフトウェア内蔵
先進的計測ツールであるS noex Grand Formatは、使いやすいSensoSCANで完全に制御され、測定自動化のための機能が強化されています。

迅速な品質管理を実現 SensoPRO

プラグインベースソリューション

SensoPROは一般的な自動分析ニーズやカスタムアプリケーションに対応する、広範囲にわたるプラグイン群をご用意しています。

民生用電子機器向けにカスタマイズされたソリューション

SensoPRO ソフトウェアは、QCおよびQAにおいて分析の自動化を実現し、大量のデータを効率的に処理します。民生用電子機器分野の特定のニーズに対応するため、様々なカスタムプラグインをご提供しています。白色干渉計・共焦点顕微鏡検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO 詳細紹介ページ

強力な分析ソフトウェア SensoVIEW

分析の幅を広げます。

SensoVIEWは、幅広いタスクに対応する理想的な解析ソフトウェアです。2Dと3Dの両方からデータを準備し、抽出するためのツールキットを完備しています。白色干渉計・共焦点顕微鏡分析ソフトウェア SensoVIEW 紹介ページ

表面の特性評価

SensoVIEWは、平坦度と表面テクスチャーパラメータの抽出、対応するISO規格への準拠、体積計算など、ユーザーが使いやすく、順を追った分かりやすいインターフェースになっています。

寸法測定

輪郭図や断面図には、重要な寸法を測定する様々なツールが用意されています。各ツールは自動調整機能と公差を組み込む機能を備えており、徹底した寸法解析が可能です。

大型基板の3D表面測定

※リンクは各アプリケーション向けの詳細技術ページに遷移します。

測定技術


共焦点	白色干渉計 PSI, ePSI, CSI	Ai焦点移動

S neox Grand Format 光源


630 nm	530 nm	460 nm	575 nm

寸法

対物レンズ性能明視野

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.15	0.30	0.45	0.80	0.90	0.90
作動距離 WD (mm)	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	1.5
FOV 視野1 (μm)	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141	113 x 94
空間サンプリング2(µm)	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07	0.05
光学分解能3(µm)	0.94	0.47	0.31	0.18	0.16	0.16
システムノイズ4(nm)	100	30	8	5	3	2
最大傾斜5(º)	9	17	27	44	64	64

対物レンズ性能　干渉

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
作動距離 WD (mm)	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
FOV 視野1 (μm)	6756 x 5652	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141
空間サンプリング2(µm)	2.76	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07
光学分解能3(µm)	1.87	1.08	0.47	0.35	0.26	0.20
システムノイズ4(nm)	PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm
最大傾斜5(º)	4	7	17	24	33	44

注釈
1. 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
5. 平滑面では最大71°まで。散乱面上で最大傾斜 86°

ガントリーXYステージ

位置決めシステム	2軸ガントリー：ヘッドのXY移動
移動範囲（mm）	600 x 600
移動速度	最大 1m/秒
制御タイプ	リニアクローズループ

品質規格認証

S neox Grand Foramt のシステムは、SEMI S2やS8のようないくつかの業界標準を満たすように考慮された設計なっており、TÜV Rheinlandの認証も受けています。	搭載されているS neoxクリーンルームセンサヘッドは、ISOクラス1とESDに適合するように考慮された設計になっています。