検査工程向け 自動解析ソフトウェア SensoPro 概要

白色干渉計や共焦点顕微鏡の得られる形状データは、あくまで面を表した3次元の座標データが基になっています。座標データから検査項目となっている測定値を得るためには、目的に応じて様々な解析作業が必要になります。この解析作業をかつてないほどに簡単にするソフトウェアがSensoPROソフトウェアです。
 

SensoPROのメリット

• 測定項目の定義が簡単　：プラグインを選択するだけ
• 豊富な測定項目　：50種類以上
• 自動合否判定
• LOTごとの統計解析

測定項目の定義が簡単

検査工程を構築する際の検査管理者による解析内容を設定する作業を最小限にします。管理者は、Sensofarから提供される解析プラグインのリストから必要な測定項目を選択するだけで主な設定作業は完了します。あとは、実際の測定形状に合わせて閾値などの詳細な設定パラメータを調整するだけです。
 

SensoPRO 解析プラグインリスト 選択画面

HOLEプラグインでの測定	HOLEプラグインでの解析

SensoPRO 新HOLEプラグインパラメーター	HOLEプラグインでの開口径グラフ	開口径測定値

豊富な測定項目

現在50種類以上の解析プラグインが提供され、半導体、電子回路基板、医療機器、工具向けなどの様々な分野に多様な測定項目が用意されています。お客様の新しいご要望を聞き、新しいプラグインが日々追加され、カスタムのプラグイン作成にも対応しています。ベースとなるSensoPROプラットフォームは共通なので、低価格、短納期でお客様の目的に合わせたカスタムの解析ソリューションを提供することができます。プラグイン一覧はこちら（Sensofar社メーカーホームページへリンク）
 

自動合否判定

それぞれの測定項目にはあらかじめ公差を設定することができます。解析の完了とともに合否判定結果も得られます。結果は視覚的に表示されるだけでなく、csvで出力することも可能です。下の写真は“公差の自動合否判定”の画面です。

LOTごとの統計解析

製造LOTごとに多数の測定データを同時に一括解析し、LOTごとの測定値の統計的な比較を行うモジュールが標準搭載されています。直観的にLOTごとの差が視覚化され、差が大きな測定項目が強調されて表示されます。