白色干渉計シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデルまで、用途に応じた幅広いラインナップを提供。

白色干渉計

光学顕微鏡を用いた白色干渉計は、ナノメートル以下の高さ測定分解能精度が得られ、光学方式で最も高精度に微細な表面形状を得ることができる方式です。マイクロメートルからナノメートルの微細な表面形状が測定でき、非接触での表面粗さ計測などの用途に適しています。Sensofar_白色干渉計_粗さ_

3つの測定技術を一台で

共焦点焦点移動白色干渉計

 
微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、白色干渉計は高さ方向に最も精度が高い技術です。Sensofarの測定機には、共焦点法と焦点移動法という白色干渉計を補完する表面形状測定技術を搭載されています。共焦点はより高い水平方向分解能をもたらし、焦点移動は短時間で凹凸の大きな表面の測定が可能です。これら3つの表面形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜の膜厚計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。

 
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
 

装置組込み用顕微鏡ヘッド

S neox Five Axis - lateral view 2
微細形状や表面粗さなどの測定に適した白色干渉計・共焦点顕微鏡の3D測定技術を搭載した組込み用ヘッドです。ヘッドを任意の場所に組込み、今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化することが可能です。半導体や医療機器分野向けにパーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。

高速測定


高感度カメラと最適化された計測アルゴリズムに加え、マイクロディスプレイスキャン共焦点顕微鏡法を用いた独自の高速測定モード「コンティニュアス・コンフォーカル」により業界随一の高速測定が可能になりました。「コンティニュアス・コンフォーカル」は、共焦点測定の革新的な改良技術で、計測時間を3分の1に短縮します。従来の共焦点法のようなZ軸高さごとにXY面をスキャンする不連続なスキャンは時間がかかってしまうのに対し、XY面内とZ軸を同時にスキャンすることでデータ取得時間を短縮し、大きな面積とZ軸スキャンを短時間で完了することができます。

・共焦点フレームレート:50 fps (S neoxモデル, 1221×1024 pixel)

 

 

 
●ソフトウェア
 

専用システム

モデル S neox S neox Five Axis S lynx
測定モード 共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI/PSI)
Ai焦点移動
薄膜計測
共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI/PSI)
Ai焦点移動
薄膜計測
共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI)
焦点移動
観察モード 明視野
カラー
共焦点
干渉位相コントラスト
微分干渉
明視野
カラー
共焦点
干渉位相コントラスト
微分干渉
明視野
共焦点
干渉位相コントラスト
光源 赤・緑・青・白 赤・緑・青・白
XY移動量 手動 40x40mm
電動 114×75, 154×154,
255×215, 302x302mm
大型ステージ(例:600×600 mm)
電動 154x154mm
(+電動回転2軸)
手動 150x100mm
Zスキャン範囲 モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200 µm
モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200 µm
40mm
サンプル高さ 0-350mm 0-150mm

装置組込み用顕微鏡ヘッド

モデルS martS onixS neox sensor,
S neox Cleanroom sensor
測定モード共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI)
焦点移動
白色干渉計(CSI/ePSI)共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI/PSI)
焦点移動
薄膜計測
観察モード明視野
共焦点
干渉位相コントラスト
干渉位相コントラスト明視野
カラー
共焦点
干渉位相コントラスト
微分干渉
光源青・白緑・白青、緑、赤、白
Zスキャナ20mm40mmモータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200µm

専用システム

高速・多機能モデル S neox

sneox-sensofar-jlc_20220616S neoxは3D測定顕微鏡の上位モデルです。最も多機能で、高速かつ高精度な測定が可能なシステムです。R&D、品質管理(QC)の双方の用途に使用されます。

  • 3-in-1:白色干渉計(CSI/ePSI/PSI)・共焦点・Ai焦点移動方式
  • 高速測定(従来比:5倍)
  • 垂直方向分解能:0.01nm(PSIモード)
  • 電動ステージ、スティッチング機能

高速・多機能モデル ”S neox”

5軸オプション S neox Five Axis

sensofar5axis-jlc-20220616S neoxに高精度電動2軸回転ステージと高度な検査・解析機能を組み合わせ、360度全周方向から3D表面形状の測定が可能なモデルです。

  • 5軸測定システム
  • 機械工具の刃先の形状解析
  • 精密部品、金型の360度粗さ解析
  • S neoxセンサヘッドを使用

5軸オプション ”S neox Five Axis”

R&D向けコンパクトモデル S lynx

コンパクトモデル S lynx_sensofar_20220616S lynxはコンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型システムです。手動ステージを使ったシンプルな構成で、R&D用途に最適な製品です。

  • 3-in-1:白色干渉計(CSI/ePSI)・共焦点・焦点移動方式
  • 手動ステージ(スティッチング機能有)
  • サンプル高さ 0~150mm

R&D向けコンパクトモデル ”S lynx”

 

 

装置組込み用顕微鏡ヘッド

コンパクト・多機能モデル S mart 2 sensor

Smart2sensor
 

ヘッド内蔵コンピュータにより省スペースな組込みが可能。
 

  • FOV (シングルショット) 最大 2.8 x 2.8 mm
  • コンピュータ ヘッド内蔵
  • 測定時間 2 s
  • 光学分解能 < 155 nm
  • システムノイズ < 3 nm
  • 3-in-1:白色干渉計(CSI/ePSI)・共焦点・焦点移動

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart2 sensor

 

超高速白色干渉モデル S onix sensor

S onix sensor

「面」を測定する白色干渉計。超高速干渉モデルで従来比9倍高速。優れた分解能を持ち産業用途に最適。
 

  • FOV (シングルショット) 最大 5.0 x 3.8 mm
  • 測定時間 3 s
  • 光学分解能 < 190 nm
  • システムノイズ < 1 nm

装置組込み用非接触面粗さ計 S onix sensor

 

高速&多機能モデル S neox sensor

Sneox sensor

組込み型センサの中でも最も柔軟性に優れ、最も多機能な産業用3D測定センサです。
 

  • FOV (シングルショット) 最大 6.7 x 5.6 mm
  • 測定時間 3 s
  • 光学分解能 < 148 nm
  • システムノイズ < 0.01 nm
  • <高速共焦点(60fps)
  • 0.01nm 垂直分解能
  • 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜

装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor

 

クリーンルーム対応モデル S neox Cleanroom sensor

SneoxCleanroom測定

多機能な組込み可能ヘッド。ISO Class 1に対応
 

  • クリーンルーム対応(ISO Class 1に対応)
  • FOV (シングルショット) 最大 6.7 x 5.6 mm
  • 測定時間 3 s
  • 光学分解能 < 148 nm
  • システムノイズ < 0.01 nm
  • 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜

クリーンルーム対応 装置組込み用
白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

 

ソフトウェアパッケージ

  • SensoSCAN
    計測ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoVIEW
    分析ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoPRO
    QC向け解析ソフトウェア、多点自動解析、合否判定
  • SensoMAP
    MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
  • SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。

ソフトウェアパッケージ


技術情報

光学式非接触3D形状測定の原理
先進的な測定・観察方式
レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い

関連製品

レーザー加工サイト
 溶接・切断・切削・マーキング・パターニング・クリーニング等レーザー加工関連の製品および技術情報をまとめてご紹介しています。

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