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3D測定顕微鏡シリーズ一覧

3つの測定技術を一台で
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共焦点 | 焦点移動 | 光干渉 |
微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、光学顕微鏡をベースにした測定器が用いられます。Sensofar社の3D測定顕微鏡は、その中でも代表的な方式である共焦点、光干渉、焦点移動を搭載した3-in-1の多機能測定器です。3つの形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
唯一の電動5軸測定システム
高速測定
測定事例
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2Dおよび3D表面性状(粗さ) パラメータ(ISO25178準拠) |
段差の高さと角度 | トライボロジー/潤滑/摩耗パラメータ |
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体積 | 形状と曲線 |
S neox | S neox Five Axis | S lynx | |
---|---|---|---|
測定モード | 共焦点 光干渉(CSI/ePSI/PSI) Ai焦点移動 薄膜計測 |
共焦点 光干渉(CSI/ePSI/PSI) Ai焦点移動 薄膜計測 |
共焦点 光干渉(CSI/ePSI) 焦点移動 |
観察モード | 明視野 カラー 共焦点 干渉位相コントラスト 微分干渉 |
明視野 カラー 共焦点 干渉位相コントラスト 微分干渉 |
明視野 共焦点 干渉位相コントラスト |
光源 | 赤・緑・青・白 | 赤・緑・青・白 | 白 | XY移動量 | 手動 40x40mm 電動 114×75, 154×154, 255×215, 302x302mm |
電動 154x154mm (+電動回転2軸) |
手動 150x100mm | Zスキャン範囲 | モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm |
モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm |
40mm | サンプル高さ | 0-350mm | ******* | 0-150mm |
センサー
S mart | S onix | 測定モード | 共焦点 光干渉(CSI/ePSI) 焦点移動 |
光干渉(CSI/ePSI) | 観察モード | 明視野 共焦点 干渉位相コントラスト |
干渉位相コントラスト | 光源 | 白 | 白 | Zスキャン範囲 | 40mm | 40mm |
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専用システム
高速・多機能モデル S neox NEW!
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S neoxは3D測定顕微鏡の上位モデルです。最も多機能で、高速かつ高精度な測定が可能なシステムです。R&D、品質管理(QC)の双方の用途に使用されます。
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5軸オプション S neox Five Axis
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S neoxに高精度電動2軸回転ステージと高度な検査・解析機能を組み合わせ、360度全周方向から3D表面形状の測定が可能なモデルです。
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R&D向けコンパクトモデル S lynx
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S lynxはコンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型システムです。手動ステージを使ったシンプルな構成で、R&D用途に最適な製品です。
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組込センサー
多機能モデル S mart & 超高速白色干渉モデル S onix
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SENSOFAR社の3D表面形状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに集約した3D測定センサーです。
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ソフトウェアパッケージ
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すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。 |
技術情報
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