3D測定顕微鏡シリーズ一覧

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。

お問合せ

概要
応用例
主な仕様
関連情報

3つの測定技術を一台で


共焦点	焦点移動	光干渉

微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、光学顕微鏡をベースにした測定器が用いられます。Sensofar社の3D測定顕微鏡は、その中でも代表的な方式である共焦点、光干渉、焦点移動を搭載した3-in-1の多機能測定器です。3つの形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。

原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。

唯一の電動5軸測定システム

光学顕微鏡タイプのシステムは、対物レンズを上下させるZ軸ステージとサンプルの位置決めに使うXYステージの3軸電動ステージの構成が一般的です。これらに加え、回転と傾きを制御する電動の2軸回転ステージを搭載したS neox Five Axisを提供しております。このシステムは、360°全周方向から、共焦点と光干渉による高精度測定が可能な唯一の製品です。機械工具のような円筒形状の部品をあらゆる方向から測定、また、測定結果を合成したフル3Dの形状データを取得することができます。

高速測定

高感度カメラと最適化された計測アルゴリズムに加え、マイクロディスプレイスキャン共焦点顕微鏡法を用いた独自の高速測定モード「コンティニュアス・コンフォーカル」により業界随一の高速測定が可能になりました。「コンティニュアス・コンフォーカル」は、共焦点測定の革新的な改良技術で、計測時間を3分の1に短縮します。従来の共焦点法のようなZ軸高さごとにXY面をスキャンする不連続なスキャンは時間がかかってしまうのに対し、XY面内とZ軸を同時にスキャンすることでデータ取得時間を短縮し、大きな面積とZ軸スキャンを短時間で完了することができます。

・共焦点フレームレート：50 fps (S neoxモデル, 1221×1024 pixel)

専用システム
組込センサー
- 多機能モデル　S mart　
- 超高速白色干渉モデル　S onix
ソフトウェア
- ソフトウェアパッケージ

測定事例


2Dおよび3D表面性状（粗さ）パラメータ（ISO25178準拠）	段差の高さと角度	トライボロジー／潤滑／摩耗パラメータ


体積	形状と曲線

	S neox	S neox Five Axis	S lynx
測定モード	共焦点光干渉（CSI/ePSI/PSI) Ai焦点移動薄膜計測	共焦点光干渉（CSI/ePSI/PSI) Ai焦点移動薄膜計測	共焦点光干渉（CSI/ePSI）焦点移動
観察モード	明視野カラー共焦点干渉位相コントラスト微分干渉	明視野カラー共焦点干渉位相コントラスト微分干渉	明視野共焦点干渉位相コントラスト
光源	赤・緑・青・白	赤・緑・青・白	白
XY移動量	手動 40x40mm 電動 114×75, 154×154, 255×215, 302x302mm	電動 154x154mm （＋電動回転2軸）	手動 150x100mm
Zスキャン範囲	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm	40mm
サンプル高さ	0-350mm	*******	0-150mm

センサー

	S mart	S onix
測定モード	共焦点光干渉（CSI/ePSI）焦点移動	光干渉（CSI/ePSI）
観察モード	明視野共焦点干渉位相コントラスト	干渉位相コントラスト
光源	白	白
Zスキャン範囲	40mm	40mm