3D測定顕微鏡シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。

3つの測定技術を一台で

共焦点 焦点移動 光干渉

 
微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、光学顕微鏡をベースにした測定器が用いられます。Sensofar社の3D測定顕微鏡は、その中でも代表的な方式である共焦点、光干渉、焦点移動を搭載した3-in-1の多機能測定器です。3つの形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。
 
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
 

唯一の電動5軸測定システム

S neox Five Axis - lateral view 2
光学顕微鏡タイプのシステムは、対物レンズを上下させるZ軸ステージとサンプルの位置決めに使うXYステージの3軸電動ステージの構成が一般的です。これらに加え、回転と傾きを制御する電動の2軸回転ステージを搭載したS neox Five Axisを提供しております。このシステムは、360°全周方向から、共焦点と光干渉による高精度測定が可能な唯一の製品です。機械工具のような円筒形状の部品をあらゆる方向から測定、また、測定結果を合成したフル3Dの形状データを取得することができます。

高速測定


高感度カメラと最適化された計測アルゴリズムに加え、マイクロディスプレイスキャン共焦点顕微鏡法を用いた独自の高速測定モード「コンティニュアス・コンフォーカル」により業界随一の高速測定が可能になりました。「コンティニュアス・コンフォーカル」は、共焦点測定の革新的な改良技術で、計測時間を3分の1に短縮します。従来の共焦点法のようなZ軸高さごとにXY面をスキャンする不連続なスキャンは時間がかかってしまうのに対し、XY面内とZ軸を同時にスキャンすることでデータ取得時間を短縮し、大きな面積とZ軸スキャンを短時間で完了することができます。

・共焦点フレームレート:50 fps (S neoxモデル, 1221×1024 pixel)

 

測定事例

2Dおよび3D表面性状(粗さ)
パラメータ(ISO25178準拠)
段差の高さと角度 トライボロジー/潤滑/摩耗パラメータ
体積 形状と曲線
S neox S neox Five Axis S lynx
測定モード 共焦点
光干渉(CSI/ePSI/PSI)
Ai焦点移動
薄膜計測
共焦点
光干渉(CSI/ePSI/PSI)
Ai焦点移動
薄膜計測
共焦点
光干渉(CSI/ePSI)
焦点移動
観察モード 明視野
カラー
共焦点
干渉位相コントラスト
微分干渉
明視野
カラー
共焦点
干渉位相コントラスト
微分干渉
明視野
共焦点
干渉位相コントラスト
光源 赤・緑・青・白 赤・緑・青・白
XY移動量 手動 40x40mm
電動 114×75, 154×154,
255×215, 302x302mm
電動 154x154mm
(+電動回転2軸)
手動 150x100mm
Zスキャン範囲 モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200 µm
モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200 µm
40mm
サンプル高さ 0-350mm ******* 0-150mm

センサー

S mart S onix
測定モード 共焦点
光干渉(CSI/ePSI)
焦点移動
光干渉(CSI/ePSI)
観察モード 明視野
共焦点
干渉位相コントラスト
干渉位相コントラスト
光源
Zスキャン範囲 40mm 40mm

専用システム

高速・多機能モデル S neox NEW!

S neoxは3D測定顕微鏡の上位モデルです。最も多機能で、高速かつ高精度な測定が可能なシステムです。R&D、品質管理(QC)の双方の用途に使用されます。

  • 3 in 1テクノロジー:共焦点・光干渉(CSI/PSI)・Ai焦点移動方式
  • 高速測定(従来比:5倍)
  • 垂直方向分解能:0.01nm(PSIモード)
  • 電動ステージ、スティッチング機能

高速・多機能モデル ”S neox” NEW!

5軸オプション S neox Five Axis

sensofar5axis

S neoxに高精度電動2軸回転ステージと高度な検査・解析機能を組み合わせ、360度全周方向から3D表面形状の測定が可能なモデルです。

  • 5軸測定システム
  • 機械工具の刃先の形状解析
  • 精密部品、金型の360度粗さ解析
  • S neoxセンサヘッドを使用

5軸オプション ”S neox Five Axis”


R&D向けコンパクトモデル S lynx

S lynxはコンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型システムです。手動ステージを使ったシンプルな構成で、R&D用途に最適な製品です。

  • 3 in 1テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)・焦点移動方式
  • 手動ステージ(スティッチング機能有)
  • サンプル高さ 0~150mm

R&D向けコンパクトモデル ”S lynx”


組込センサー

多機能モデル S mart & 超高速白色干渉モデル S onix

SENSOFAR社の3D表面形状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに集約した3D測定センサーです。

  • 組込、および、ポータブル用途
  • インライン粗さ計測
  • SDKソフトウェア開発キット
  • S mart:多機能モデル
    3 in 1テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)・焦点移動方式
  • S onix:超高速白色干渉モデル
    従来比7倍高速

多機能モデル ”S mart”

超高速白色干渉モデル ”S onix”


ソフトウェアパッケージ

  • SensoSCAN
    計測ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoVIEW
    分析ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoPRO
    QC向け解析ソフトウェア、多点自動解析、合否判定
  • SensoMAP
    MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
  • SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。

ソフトウェアパッケージ


技術情報

光学式非接触3D形状測定の原理
先進的な測定・観察方式
レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い

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