白色干渉計シリーズ一覧

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

概要
応用例
主な仕様
関連情報

白色干渉計

光学顕微鏡を用いた白色干渉計は、ナノメートル以下の高さ測定分解能精度が得られ、光学方式で最も高精度に微細な表面形状を得ることができる方式です。マイクロメートルからナノメートルの微細な表面形状が測定でき、非接触での表面粗さ計測などの用途に適しています。

3つの測定技術を一台で


共焦点	焦点移動	白色干渉計

微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、白色干渉計は高さ方向に最も精度が高い技術です。Sensofarの測定機には、共焦点法と焦点移動法という白色干渉計を補完する表面形状測定技術を搭載されています。共焦点はより高い水平方向分解能をもたらし、焦点移動は短時間で凹凸の大きな表面の測定が可能です。これら3つの表面形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜の膜厚計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。

原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。

高速測定

高感度カメラと最適化された計測アルゴリズムに加え、マイクロディスプレイスキャン共焦点顕微鏡法を用いた独自の高速測定モード「コンティニュアス・コンフォーカル」により業界随一の高速測定が可能になりました。「コンティニュアス・コンフォーカル」は、共焦点測定の革新的な改良技術で、計測時間を3分の1に短縮します。従来の共焦点法のようなZ軸高さごとにXY面をスキャンする不連続なスキャンは時間がかかってしまうのに対し、XY面内とZ軸を同時にスキャンすることでデータ取得時間を短縮し、大きな面積とZ軸スキャンを短時間で完了することができます。
・共焦点フレームレート：50 fps (S neoxモデル, 1221×1024 pixel)

白色干渉計シリーズ

高速・多機能モデル　”S neox”
5軸オプション　”S neox Five Axis”
R&D向けコンパクトモデル　”S lynx”
高精細大型サンプル向け白色干渉計共焦点顕微鏡システム S neox Grand Format

ソフトウェア

白色干渉計・共焦点・焦点移動アプリケーション


半導体製造工程向けアプリケーション	ICパッケージ寸法・表面仕上げ測定	プリント基板の3D検査銅配線パッドバンプレーザーグルービング

オプティクス　レンズ光学フィルタフィルム厚の測定・粗さ解析	ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定特性評価	切削工具刃先ドリル特性評価粗さ測定

測定事例


2Dおよび3D表面性状（粗さ）パラメータ（ISO25178準拠）	段差の高さと角度	トライボロジー／潤滑／摩耗パラメータ


体積	形状と曲線

専用システム

モデル	S neox	S neox Five Axis	S lynx
測定モード	共焦点白色干渉計（CSI/ePSI/PSI） Ai焦点移動薄膜計測	共焦点白色干渉計（CSI/ePSI/PSI） Ai焦点移動薄膜計測	共焦点白色干渉計（CSI/ePSI）焦点移動
観察モード	明視野カラー共焦点干渉位相コントラスト微分干渉	明視野カラー共焦点干渉位相コントラスト微分干渉	明視野共焦点干渉位相コントラスト
光源	赤・緑・青・白	赤・緑・青・白	白
XY移動量	手動 40x40mm 電動 114×75, 154×154, 255×215, 302x302mm 大型ステージ(例:600×600 mm)	電動　154x154mm （＋電動回転2軸）	手動　150x100mm
Zスキャン範囲	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200 µm	40mm
サンプル高さ	0-350mm	–	0-150mm