白色干渉計

光学顕微鏡を用いた白色干渉計は、ナノメートル以下の高さ測定分解能精度が得られ、光学方式で最も高精度に微細な表面形状を得ることができる方式です。マイクロメートルからナノメートルの微細な表面形状が測定でき、非接触での表面粗さ計測などの用途に適しています。

3つの測定技術を一台で

共焦点	焦点移動	白色干渉計

 
微細な3次元形状や表面粗さを測定するための方法として、白色干渉計は高さ方向に最も精度が高い技術です。Sensofarの測定機には、共焦点法と焦点移動法という白色干渉計を補完する表面形状測定技術を搭載されています。共焦点はより高い水平方向分解能をもたらし、焦点移動は短時間で凹凸の大きな表面の測定が可能です。これら3つの表面形状測定の原理に加え、ナノメートルオーダーの薄膜の膜厚計測が可能な分光干渉機能、ナノメートルの凹凸を可視化する微分干渉観察機能や、Sensofar社独自の測定機能も搭載されています。

 
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
 

• レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い
• 光学式非接触3D形状測定の原理
• 先進的な測定・観察方式

唯一の電動5軸測定システム

光学顕微鏡タイプのシステムは、対物レンズを上下させるZ軸ステージとサンプルの位置決めに使うXYステージの3軸電動ステージの構成が一般的です。これらに加え、回転と傾きを制御する電動の2軸回転ステージを搭載したS neox Five Axisを提供しております。このシステムは、360°全周方向から、共焦点と白色干渉計による高精度測定が可能な唯一の製品です。機械工具のような円筒形状の部品をあらゆる方向から測定、また、測定結果を合成したフル3Dの形状データを取得することができます。

高速測定

高感度カメラと最適化された計測アルゴリズムに加え、マイクロディスプレイスキャン共焦点顕微鏡法を用いた独自の高速測定モード「コンティニュアス・コンフォーカル」により業界随一の高速測定が可能になりました。「コンティニュアス・コンフォーカル」は、共焦点測定の革新的な改良技術で、計測時間を3分の1に短縮します。従来の共焦点法のようなZ軸高さごとにXY面をスキャンする不連続なスキャンは時間がかかってしまうのに対し、XY面内とZ軸を同時にスキャンすることでデータ取得時間を短縮し、大きな面積とZ軸スキャンを短時間で完了することができます。

 
●専用システム
 

• 高速・多機能モデル　”S neox”
• 5軸オプション　”S neox Five Axis”
• R&D向けコンパクトモデル　”S lynx”

 
●組込センサー
 

• コンパクト・多機能モデル　“S mart2”　
• 超高速白色干渉モデル　“S onix”
• 高速・多機能モデル　“S neox ”　
• クリーンルーム対応モデル “S neox Cleanroom”　

 
●ソフトウェア
 

• ソフトウェアパッケージ