クリーンルーム対応 組込み3D測定センサ S neox Cleanroom sensor

SENSOFAR Metrology

新商品

クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ組込み3D測定センサ。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。

S neox Cleanroom クリーンルーム対応 多機能 組込み3D測定センサ

S neox Cleanroom は、光学測定の分野で今までにない画期的な技術の製品です。生産現場での測定、特性評価において最高の多機能性を実現します。

SneoxCleanroom測定
 
4-in-1テクノロジーと4種類の光源により、変化するアプリケーション要件に対し、比類ない適合性を発揮します。
 
4光源x4種計測の説明

S neox Cleanroom 信頼性と適合規格

IPA検査済機器S neoxはISO Class 1及びESDに適合するように設計されており、厳格な検査に合格しています。

S neox Cleanroom 最高のZ分解能

S neox Cleanroomは、オプションでZ軸用ピエゾモーターを搭載可能。更なる高性能を実現。50nmから5mmまでの厚み測定に対応しています。
 

ピエゾZモーター測定測定ノイズ

S neox Cleanroom 自動3D測定

S neox Cleanroomは測定に最適な取得設定を見つける機能を持っており、表面に焦点を合わせるのみで、あとはS neox Cleanroomが自動で測定を行います。
 

自動3D測定pcsランディング

寸法

snesoxcleanroom寸法図

測定技術

共焦点光干渉法Ai焦点移動
共焦点法光干渉法
PSI, ePSI, CSI
Ai焦点移動法

S neox Cleanroom 光源

赤色光 630nm緑色光 530nm青色光 460nm白光 575nm
630 nm530 nm460 nm575 nm

対物レンズ性能 明視野

倍率5X10X20X50X100X150X
開口径 NA0.150.300.450.800.900.90
作動距離 WD (mm)23.517.54.51.0 1.01.5
FOV 視野1 (μm)3378 x 28261689 x 1413 845 x 707 338 x 283169 x 141113 x 94
空間サンプリング2(µm)1.38 0.690.340.130.070.05
光学分解能3(µm)0.94 0.470.310.180.160.16
システムノイズ4(nm)100308532
最大傾斜5(º)91727446464

対物レンズ性能 干渉

倍率5X10X20X50X100X150X
開口径 NA0.0750.130.300.400.550.70
作動距離 WD (mm)10.3 9.37.44.73.42.0
FOV 視野1 (μm)6756 x 56523378 x 28261689 x 1413845 x 707338 x 283169 x 141
空間サンプリング2(µm)2.76 1.38 0.69 0.34 0.13 0.07
光学分解能3(µm)1.871.080.470.350.260.20
システムノイズ4(nm)PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm
最大傾斜5(º)4717243344

注釈
1. 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラ ーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
5. 平滑面では最大71°まで。散乱面上で最大傾斜 86°

S neox Cleanroom Z軸方向性能

Z軸粗さ(リニアステージ)精度(静電センサ付きピエゾスキャナー)
垂直範囲40 mm200 µm
分解能5 nm1.25 nm

S neox Cleanroom 精度 再現性

測定基準U, σ測定技術
段差48600 nmU=300 nm, σ= 10 nm共焦点法、光干渉法CSI
7616 nmU=79 nm, σ= 5 nm共焦点法、光干渉法CSI
941.6 nmU=7 nm, σ= 1 nm共焦点法、光干渉法CSI
186 nmU=4 nm, σ= 0.4 nm共焦点法、光干渉法CSI
44.3 nmU=0.5 nm, σ= 0.1 nm光干渉法PSI
10.8 nmU=0.5 nm, σ= 0.05 nm光干渉法PSI
面粗度(Sa)70.79 µmU=0.04 µm, σ=0.0005 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
プロファイル粗さ (Ra)82.40 µmU=0.03 µm, σ= 0.002 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
0.88 µmU=0.015 µm, σ= 0.0005 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI
0.23 µmU=0.005 µm, σ= 0.0002 µm共焦点法、Ai移動焦点法、光干渉法CSI

注釈 7.面積 1×1 mm  8.プロファイル 4mm長

 
共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定はPZTを使用。不確定度(U)は以下に準拠します。ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (信用度 95%)。σは25回の測定に依ります。

製品情報

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技術情報

光学式非接触3D形状測定の原理
先進的な測定・観察方式
レーザー顕微鏡と白色干渉計の違い

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