光干渉 焦点移動 共焦点 表面粗さ計測 3D測定センサ シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

光干渉(白色干渉計)・共焦点・焦点移動方式を搭載。非接触・非破壊で表面の微細形状、面相度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる組込センサです 。

光干渉・共焦点・焦点移動の3D測定技術が組込センサに

微細形状や表面粗さなどの測定に適した共焦点・光干渉・焦点移動法の3D測定技術を搭載したセンサヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、センサを任意の場所に組込むことができます。パーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。
 
 

共焦点 光干渉 焦点移動

 
 
光学式非接触3D形状測定の原理
 

3D測定センサ用 SDKソフトウェア開発キット


3D測定センサとともにSDKを提供しています。ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。SDKには、作成したアプリケーションがセンサと通信するために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。

3D表面形状測定 組込センサ

ソフトウェア 3D表面形状測定(光干渉・焦点移動・共焦点)用

光干渉・共焦点・焦点移動 3D測定センサによる測定事例

2Dおよび3D表面性状(粗さ)パラメータ(ISO25178準拠) 段差の高さと角度 トライボロジー/潤滑/摩耗パラメータ
体積 形状と曲線

3D測定センサ 組込事例

外観検査

マシニング装置組込


 

ポータブル


 

ロボット組込

モデル S mart S onix S neox
測定モード 共焦点
光干渉(CSI/ePSI)
焦点移動
光干渉(CSI/ePSI) 共焦点
光干渉(CSI/ePSI/PSI)
焦点移動
薄膜計測
観察モード 明視野,共焦点,
干渉位相コントラスト
干渉位相コントラスト 明視野, カラー,
共焦点,
干渉位相コントラスト,
微分干渉
光源 青、緑、赤、白
Zスキャナ 40mm 40mm モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200µm

表面粗さ 3D測定組込みセンサ

多機能モデル S mart & 超高速白色干渉モデル S onix

SmartSonix

SENSOFAR社の3D表面状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに集約した3Dセンサです。
 

  • 組み込み及びポータブル用途
  • インライン粗さ計測
  • S mart:多機能モデル
    3 in 1 テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)点移動方式
  • S onix:超高速干渉モデル
    従来比7倍高速

多機能モデル S mart& 超高速白色干渉モデル S onix

 

高速&多機能モデル S neox

Sneox

ハイエンドモデルである S neoxのセンサバージョン
 

  • <高速共焦点(60fps)
  • 0.01nm 垂直分解能
  • 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜
  • クリーンルーム対応可

高速&多機能モデル S neox

 

特注検査設備

sensofar_specialwquipment

センサと搬送系を組み合わせた特注検査設備
 

  • ニーズに合わせて、設計
  • 大型ワーク対応
  • 2D画像検査システムとの融合

 

 

ソフトウェアパッケージ

Swide

  • SensoSCAN
    計測ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoVIEW
    分析ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoPRO
    QC向け解析ソフトウェア、他店自動解析、合否判定
  • SensoMAP
    MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
  • SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。
 
ソフトウェアパッケージ
 

光干渉・焦点移動・共焦点 表面粗さ計測 技術情報

関連製品

レーザー加工サイト
 溶接・切断・切削・マーキング・パターニング・クリーニング等レーザー加工関連の製品および技術情報をまとめてご紹介しています。

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