装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。

白色干渉計・共焦点顕微鏡ユニットを装置に組込む

微細形状や表面粗さなどの測定に適した白色干渉計・共焦点顕微鏡の3D測定技術を搭載した組込み用ヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、ヘッドを任意の場所に組込むことができます。白色干渉計・共焦点・焦点移動方式の3方式を搭載した多機能モデル、半導体や医療機器分野向けにパーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。
 
 

共焦点白色干渉計焦点移動

 
 
光学式非接触3D形状測定の原理
 
製品紹介動画「装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡を使ったセンサユニット」
※外部サイト アペルザTV「SEMICOn Japan 2023 展示会レポート」へ遷移します。
 

自動化

組込みヘッド装置写真顕微鏡ヘッドを用いた測定と解析を自動化するためのソフトウェア機能がSensofarから提供されています。他の機器と連携したシステムを構築するためのソフトウェア開発キット(SDK)および、データ解析を自動で行い検査結果を得るためのSensoPROソフトウェアです。これらSensofarの製品を用いた自動化に関する関する詳細は次のリンク先ページをご覧ください。白色干渉計・共焦点顕微鏡による検査・解析の自動化

小型 軽量であらゆる方向で測定可能

3D組み込みセンサー組込みやすさを重点においた、軽量かつ小型デザインのヘッドは、どのような向きであっても測定が可能で、お客様のアプリケーションでご要望に応じた自由な設置が可能です。ケーブル長は最大20m。生産現場でのインライン検査とロボットへの搭載、両方のアプリケーションに適したセンサになっています。

ソフトウェア 一覧相関図

Sensofarのソフトウェアとハードウェアを組み合わせることで、さまざまなアプリケーション対応した総合的な測定ソリューションを提供できます。図では、SDKを使用した測定ヘッドのプログラミングから、測定結果の取得、測定結果の分析の設定まで、測定のワークフローを示しています。
 

Sensofarソフトウェア相関図

 

SensoPROSensoVIEWSDK
SensoPROSensoVIEWSDKlogo
SensoPROは、生産ラインで要求されるスピードに対応。カスタムベースのプラグインデータ解析アルゴリズムによって、特定の形状を自動的に検出・解析。すぐさま合否判定レポートが作成します。SensoVIEWは、幅広い解析作業にとって最適なソフトウェアです。事前検査や3D測定、2D測定の解析用の包括的なツールセットが含まれています。粗さ、体積計算、解析ツールセットによる重要寸法の測定、レポートやデータセット(csvファイル)としてエクスポートが可能です。解析の条件を保存して、複数の測定に適用することも可能です。ソフトウェア開発キット(SDK)は、1つ、または複数のセンサのリモート制御することが可能なツールセットです。クライアントのコンピュータとセンサ間で通信の生成・管理すると共に、取得データを解析ソフトウェアに送ります。
SensoPROプラグインSensoVIEW事例図SDKプログラミング

3D表面形状測定 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡

ソフトウェア 3D表面形状測定(白色干渉計・焦点移動・共焦点)用

モデルS mart 2 sensorS onix sensorS neox sensor,
S neox Cleanroom sensor
測定モード共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI)
焦点移動
白色干渉計(CSI/ePSI)共焦点
白色干渉計(CSI/ePSI/PSI)
焦点移動
薄膜計測
観察モード明視野,共焦点,
干渉位相コントラスト
干渉位相コントラスト明視野, カラー,
共焦点,
干渉位相コントラスト,
微分干渉
光源青・白緑・白青、緑、赤、白
Zスキャナ20mm40mmモータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200µm

3D測定センサ シリーズ カタログ

装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡

コンパクト・多機能モデル S mart 2 sensor

Smart2sensor
 

自律型の共焦点センサ。「面」を測定可能。コンパクトながら多機能。
 

  • FOV (シングルショット) 最大 2.8 x 2.8 mm
  • コンピュータ ヘッド内蔵
  • 測定時間 2 s
  • 光学分解能 < 155 nm
  • システムノイズ < 3 nm

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart2 sensor

 

 

高速&多機能モデル S neox sensor

Sneox sensor

組込み型センサの中でも最も柔軟性に優れ、最も多機能な産業用3D測定センサです。
 

  • FOV (シングルショット) 最大 6.7 x 5.6 mm
  • 測定時間 3 s
  • 光学分解能 < 148 nm
  • システムノイズ < 0.01 nm
  • <高速共焦点(60fps)
  • 0.01nm 垂直分解能
  • 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜

装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor

 

クリーンルーム対応モデル S neox Cleanroom sensor

SneoxCleanroom測定

多機能な組込み可能ヘッド。ISO Class 1に対応
 

  • クリーンルーム対応(ISO Class 1に対応)
  • FOV (シングルショット) 最大 6.7 x 5.6 mm
  • 測定時間 3 s
  • 光学分解能 < 148 nm
  • システムノイズ < 0.01 nm
  • 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜

クリーンルーム対応 装置組込み用
白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

 

ソフトウェアパッケージ

Swide

  • SensoSCAN
    計測ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoVIEW
    分析ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoPRO
    QC向け解析ソフトウェア、他店自動解析、合否判定
  • SensoMAP
    MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
  • SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。
 
ソフトウェアパッケージ
 

光干渉・焦点移動・共焦点 表面粗さ計測 技術情報

関連製品

レーザー加工サイト
 溶接・切断・切削・マーキング・パターニング・クリーニング等レーザー加工関連の製品および技術情報をまとめてご紹介しています。

TOPに戻る