3D測定センサーシリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細形状、粗さ、うねりなどの3D形状を測定することができる組込センサーです。

3D測定技術が組込センサーに

光学顕微鏡による共焦点・光干渉・焦点移動法や、フリンジプロジェクションを用いた光切断法などの微細形状に適した3D測定技術を搭載した3D測定センサーです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、任意の用途でセンサーを使用することができます。
 

共焦点 光干渉 焦点移動 光切断

 
光学式非接触3D形状測定の原理
 

SDKソフトウェア開発キット

3D測定センサーとともにSDKを提供しています。ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。SDKには、作成したアプリケーションがセンサーと通信するために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。

組込センサー

ソフトウェア

測定事例

2Dおよび3D表面性状(粗さ)
パラメータ(ISO25178準拠)
段差の高さと角度 トライボロジー/潤滑/摩耗パラメータ
体積 形状と曲線

組込事例

外観検査

マシニング装置組込


 

ポータブル

ロボット組込

モデル S mart S onix S neox S wide
測定モード 共焦点
光干渉(CSI/ePSI)
焦点移動
光干渉(CSI/ePSI) 共焦点
光干渉(CSI/ePSI/PSI)
焦点移動
薄膜計測
光切断法
観察モード 明視野,共焦点,
干渉位相コントラスト
干渉位相コントラスト 明視野, カラー,
共焦点,
干渉位相コントラスト,
微分干渉
カラー
光源 青、緑、赤、白 青、緑、白
Zスキャナ 40mm 40mm モータ駆動40mm
ピエゾ駆動 200µm
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組込みセンサー

多機能モデル S mart& 超高速白色干渉モデル S onix

SmartSonix

SENSOFAR社の3D表面状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに
集約した3Dセンサーです。
 

  • 組み込み及びポータブル用途
  • インライン粗さ計測
  • S mart:多機能モデル
    3 in 1 テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)点移動方式
  • S onix:超高速干渉モデル
    従来比7倍高速

 
多機能モデル S mart& 超高速白色干渉モデル S onix

 

高速&多機能モデル S neox

Sneox

ハイエンドモデルである S neoxのセンサーバージョン
 

  • <高速共焦点(60fps)
  • 0.01nm 垂直分解能
  • Ai焦点移動法

 
高速&多機能モデル S neox

ワンショット 3D形状測定モデル S wide

Swide

ワンショットの3D形状技術を搭載したセンサーヘッド
 

  • 組込
  • 光切断法
  • Zスキャン不要

 
ワンショット 3D形状測定モデル S wide

特注検査設備

sensofar_specialwquipment

センサーと搬送系を組み合わせた特注検査設備
 

  • ニーズに合わせて、設計
  • 大型ワーク対応
  • 2D画像検査システムとの融合

 

ソフトウェアパッケージ

Swide

  • SensoSCAN
    計測ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoVIEW
    分析ソフトウェア(標準搭載)
  • SensoPRO
    QC向け解析ソフトウェア、他店自動解析、合否判定
  • SensoMAP
    MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
  • SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。
ソフトウェアパッケージ
 

技術情報

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