光干渉焦点移動共焦点表面粗さ計測 3D測定センサシリーズ一覧

光干渉（白色干渉計）・共焦点・焦点移動方式を搭載。非接触・非破壊で表面の微細形状、面相度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる組込センサです。

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概要
応用例
主な仕様
関連情報

光干渉・共焦点・焦点移動の3D測定技術が組込センサに

微細形状や表面粗さなどの測定に適した共焦点・光干渉・焦点移動法の3D測定技術を搭載したセンサヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、センサを任意の場所に組込むことができます。パーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。


共焦点	光干渉	焦点移動

光学式非接触3D形状測定の原理

3D測定センサ用 SDKソフトウェア開発キット

3D測定センサとともにSDKを提供しています。ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。SDKには、作成したアプリケーションがセンサと通信するために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。

ソフトウェア 3D表面形状測定（光干渉・焦点移動・共焦点）用

Sensofarソフトウェア一覧

光干渉・共焦点・焦点移動 3D測定センサによる測定事例


2Dおよび3D表面性状（粗さ）パラメータ（ISO25178準拠）	段差の高さと角度	トライボロジー／潤滑／摩耗パラメータ

体積	形状と曲線

3D測定センサ組込事例

外観検査

マシニング装置組込

ポータブル

ロボット組込

モデル	S mart	S onix	S neox
測定モード	共焦点光干渉（CSI/ePSI) 焦点移動	光干渉（CSI/ePSI)	共焦点光干渉（CSI/ePSI/PSI）焦点移動薄膜計測
観察モード	明視野,共焦点, 干渉位相コントラスト	干渉位相コントラスト	明視野, カラー, 共焦点, 干渉位相コントラスト, 微分干渉
光源	白	白	青、緑、赤、白
Zスキャナ	40mm	40mm	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200µm

表面粗さ 3D測定組込みセンサ

多機能モデル S mart & 超高速白色干渉モデル S onix

SmartSonix

SENSOFAR社の3D表面状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに集約した3Dセンサです。

組み込み及びポータブル用途
インライン粗さ計測
S mart：多機能モデル
3 in 1 テクノロジー：共焦点・白色干渉計(CSI)点移動方式
S onix：超高速干渉モデル
従来比7倍高速

多機能モデル S mart& 超高速白色干渉モデル S onix

高速＆多機能モデル S neox

Sneox

ハイエンドモデルである S neoxのセンサバージョン

<高速共焦点(60fps)
0.01nm 垂直分解能
4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜
クリーンルーム対応可

高速＆多機能モデル S neox

特注検査設備

sensofar_specialwquipment

センサと搬送系を組み合わせた特注検査設備

ニーズに合わせて、設計
大型ワーク対応
2D画像検査システムとの融合

ソフトウェアパッケージ

Swide

SensoSCAN
計測ソフトウェア（標準搭載）
SensoVIEW
分析ソフトウェア（標準搭載）
SensoPRO
QC向け解析ソフトウェア、他店自動解析、合否判定
SensoMAP
MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成
SDKソフトウェア開発キット

すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。

ソフトウェアパッケージ