光干渉焦点移動共焦点表面粗さ計測 3D測定センサシリーズ一覧

光干渉（白色干渉計）・共焦点・焦点移動方式を搭載。非接触・非破壊で表面の微細形状、面相度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる組込センサです。

概要
応用例
主な仕様
関連情報

光干渉・共焦点・焦点移動の3D測定技術が組込センサに

微細形状や表面粗さなどの測定に適した共焦点・光干渉・焦点移動法の3D測定技術を搭載したセンサヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、センサを任意の場所に組込むことができます。パーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。


共焦点	光干渉	焦点移動

光学式非接触3D形状測定の原理

高い信頼性と堅牢性

製造現場は測定機器にとって過酷な環境であることが多く、変化する条件、振動。劣化を起こす材料などが測定をより困難なものにします。Sensofarの組込み型3D測定センサは、これらを念頭に置いた設計がされています。密閉されたセンサヘッドはデブリやパーティクルの侵入を防ぎます。また光学システムでは機械的可動部品がなく、長期にわたりセンサをクリーンに保つことが可能。またアライメントも保持されます。

小型軽量であらゆる方向で測定可能

組込みやすさを重点においた、軽量かつ小型のデザインの3D測定センサです。また、Sensofarのセンサはどのような向きであっても測定が可能で、お客様のアプリケーションでご要望に応じたセンサの設置可能です。ケーブル長は最大20m。生産現場でのインライン検査とロボットへの搭載、両方のアプリケーションに適したセンサになっています。

ソフトウェア一覧相関図

Sensofarのソフトウェアとハードウェアを組み合わせることで、さまざまなアプリケーション対応した総合的な測定ソリューションを提供できます。図では、SDKを使用した測定ヘッドのプログラミングから、測定結果の取得、測定結果の分析の設定まで、測定のワークフローを示しています。

SensoPRO	SensoVIEW	SDK

SensoPROは、生産ラインで要求されるスピードに対応。カスタムベースのプラグインデータ解析アルゴリズムによって、特定の形状を自動的に検出・解析。すぐさま合否判定レポートが作成します。	SensoVIEWは、幅広い解析作業にとって最適なソフトウェアです。事前検査や3D測定、2D測定の解析用の包括的なツールセットが含まれています。粗さ、体積計算、解析ツールセットによる重要寸法の測定、レポートやデータセット（csvファイル）としてエクスポートが可能です。解析の条件を保存して、複数の測定に適用することも可能です。	ソフトウェア開発キット（SDK）は、1つ、または複数のセンサのリモート制御することが可能なツールセットです。クライアントのコンピュータとセンサ間で通信の生成・管理すると共に、取得データを解析ソフトウェアに送ります。

3D表面形状測定組込みセンサ

光干渉・焦点移動・共焦点 3-in-1 多機能モデル　S mart 2 sensor
超高速白色干渉モデル　S onix　seonsor
高速＆多機能モデル　S neox
クリーンルーム対応モデル　S neox Cleanroom

ソフトウェア 3D表面形状測定（光干渉・焦点移動・共焦点）用

Sensofarソフトウェア一覧

光干渉・共焦点・焦点移動 3D測定センサアプリケーション


半導体製造工程向けアプリケーション	ICパッケージ寸法・表面仕上げ測定	PCB 銅回路パッドバンプレーザーグルービング寸法測定特性評価

オプティクス　レンズ光学フィルタフィルム厚の測定・粗さ解析	ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定特性評価	切削工具刃先ドリル特性評価粗さ測定

光干渉・共焦点・焦点移動 3D測定センサによる測定事例


2Dおよび3D表面性状（粗さ）パラメータ（ISO25178準拠）	段差の高さと角度	トライボロジー／潤滑／摩耗パラメータ

体積	形状と曲線

モデル	S mart 2 sensor	S onix sensor	S neox sensor, S neox Cleanroom sensor
測定モード	共焦点白色干渉計（CSI/ePSI) 焦点移動	白色干渉計（CSI/ePSI)	共焦点白色干渉計（CSI/ePSI/PSI）焦点移動薄膜計測
観察モード	明視野,共焦点, 干渉位相コントラスト	干渉位相コントラスト	明視野, カラー, 共焦点, 干渉位相コントラスト, 微分干渉
光源	白	白	青、緑、赤、白
Zスキャナ	40mm	40mm	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200µm