3D測定センサーシリーズ一覧

非接触・非破壊で表面の微細形状、粗さ、うねりなどの3D形状を測定することができる組込センサーです。

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応用例
主な仕様
関連情報

３D測定技術が組込センサーに

光学顕微鏡による共焦点・光干渉・焦点移動法や、フリンジプロジェクションを用いた光切断法などの微細形状に適した3D測定技術を搭載した3D測定センサーです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、任意の用途でセンサーを使用することができます。


共焦点	光干渉	焦点移動	光切断

光学式非接触3D形状測定の原理

SDKソフトウェア開発キット

3D測定センサーとともにSDKを提供しています。ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。SDKには、作成したアプリケーションがセンサーと通信するために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。

ソフトウェア

Sensofarソフトウェア一覧

測定事例


2Dおよび3D表面性状（粗さ）パラメータ（ISO25178準拠）	段差の高さと角度	トライボロジー／潤滑／摩耗パラメータ


体積	形状と曲線

組込事例

外観検査

マシニング装置組込

ポータブル

ロボット組込

モデル	S mart	S onix	S neox	S wide
測定モード	共焦点光干渉（CSI/ePSI) 焦点移動	光干渉（CSI/ePSI)	共焦点光干渉（CSI/ePSI/PSI）焦点移動薄膜計測	光切断法
観察モード	明視野,共焦点, 干渉位相コントラスト	干渉位相コントラスト	明視野, カラー, 共焦点, 干渉位相コントラスト, 微分干渉	カラー
光源	白	白	青、緑、赤、白	青、緑、白
Zスキャナ	40mm	40mm	モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200µm	************