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光干渉 焦点移動 共焦点 表面粗さ計測 3D測定センサ シリーズ一覧

光干渉(白色干渉計)・共焦点・焦点移動方式を搭載。非接触・非破壊で表面の微細形状、面相度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる組込センサです 。
光干渉・共焦点・焦点移動の3D測定技術が組込センサに
微細形状や表面粗さなどの測定に適した共焦点・光干渉・焦点移動法の3D測定技術を搭載したセンサヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、センサを任意の場所に組込むことができます。パーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。
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共焦点 | 光干渉 | 焦点移動 |
3D測定センサ用 SDKソフトウェア開発キット

3D測定センサとともにSDKを提供しています。ユーザーは他の装置と組み合わせたシステム用のユーザーアプリケーションを独自に開発することができます。SDKには、作成したアプリケーションがセンサと通信するために必要なツールやプロトコルが含まれています。開発のためのプラットフォームや言語は自由に選ぶことができる上、一度SDKで開発されたアプリケーションは、同一機種で使い回すことが可能です。SDKに含まれるコマンドやイベントを用いれば、リモートでのサンプル検査などが可能となり、様々な場面で形状測定が行うことできます。
3D表面形状測定 組込センサ
ソフトウェア 3D表面形状測定(光干渉・焦点移動・共焦点)用
光干渉・共焦点・焦点移動 3D測定センサによる測定事例
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2Dおよび3D表面性状(粗さ)パラメータ(ISO25178準拠) | 段差の高さと角度 | トライボロジー/潤滑/摩耗パラメータ |
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体積 | 形状と曲線 |
3D測定センサ 組込事例
外観検査
マシニング装置組込
ポータブル
ロボット組込
モデル | S mart | S onix | S neox |
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測定モード | 共焦点 光干渉(CSI/ePSI) 焦点移動 |
光干渉(CSI/ePSI) | 共焦点 光干渉(CSI/ePSI/PSI) 焦点移動 薄膜計測 |
観察モード | 明視野,共焦点, 干渉位相コントラスト |
干渉位相コントラスト | 明視野, カラー, 共焦点, 干渉位相コントラスト, 微分干渉 |
光源 | 白 | 白 | 青、緑、赤、白 |
Zスキャナ | 40mm | 40mm | モータ駆動40mm ピエゾ駆動 200µm |
表面粗さ 3D測定組込みセンサ
多機能モデル S mart & 超高速白色干渉モデル S onix

SENSOFAR社の3D表面状計測の機能をコンパクトで堅牢なヘッドに集約した3Dセンサです。
- 組み込み及びポータブル用途
- インライン粗さ計測
- S mart:多機能モデル
3 in 1 テクノロジー:共焦点・白色干渉計(CSI)点移動方式 - S onix:超高速干渉モデル
従来比7倍高速
高速&多機能モデル S neox
ハイエンドモデルである S neoxのセンサバージョン
- <高速共焦点(60fps)
- 0.01nm 垂直分解能
- 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜
- クリーンルーム対応可
特注検査設備
センサと搬送系を組み合わせた特注検査設備
- ニーズに合わせて、設計
- 大型ワーク対応
- 2D画像検査システムとの融合
ソフトウェアパッケージ
- SensoSCAN
計測ソフトウェア(標準搭載) - SensoVIEW
分析ソフトウェア(標準搭載) - SensoPRO
QC向け解析ソフトウェア、他店自動解析、合否判定 - SensoMAP
MountainsMap®、フレキシブルなレポート作成 - SDKソフトウェア開発キット
すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。
ソフトウェアパッケージ
光干渉・焦点移動・共焦点 表面粗さ計測 技術情報
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