装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧

白色干渉計・共焦点顕微鏡ユニットを装置に組込む

微細形状や表面粗さなどの測定に適した白色干渉計・共焦点顕微鏡の3D測定技術を搭載した組込み用ヘッドです。今までオフライン/手作業で実施していた測定をオンライン/自動化するなど、ヘッドを任意の場所に組込むことができます。白色干渉計・共焦点・焦点移動方式の3方式を搭載した多機能モデル、半導体や医療機器分野向けにパーティクルの発生を低減させたクリーンルーム対応モデルも提供しております。
 
 

共焦点	白色干渉計	焦点移動

 
 
光学式非接触3D形状測定の原理
 
製品紹介動画「装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡を使ったセンサユニット」
※外部サイト アペルザTV「SEMICON Japan 2023 展示会レポート」へ遷移します。
 

自動化

顕微鏡ヘッドを用いた測定と解析を自動化するためのソフトウェア機能がSensofarから提供されています。他の機器と連携したシステムを構築するためのソフトウェア開発キット（SDK）および、データ解析を自動で行い検査結果を得るためのSensoPROソフトウェアです。

小型 軽量であらゆる方向で測定可能

組込みやすさを重点においた、軽量かつ小型デザインのヘッドは、どのような向きであっても測定が可能で、お客様のアプリケーションでご要望に応じた自由な設置が可能です。ケーブル長は最大20m。生産現場でのインライン検査とロボットへの搭載、両方のアプリケーションに適したセンサになっています。

ソフトウェア 一覧相関図

Sensofarのソフトウェアとハードウェアを組み合わせることで、さまざまなアプリケーション対応した総合的な測定ソリューションを提供できます。図では、SDKを使用した測定ヘッドのプログラミングから、測定結果の取得、測定結果の分析の設定まで、測定のワークフローを示しています。
 

SensoPRO	SensoVIEW	SDK
SensoPROは、生産ラインで要求されるスピードに対応。カスタムベースのプラグインデータ解析アルゴリズムによって、特定の形状を自動的に検出・解析。すぐさま合否判定レポートが作成します。	SensoVIEWは、幅広い解析作業にとって最適なソフトウェアです。事前検査や3D測定、2D測定の解析用の包括的なツールセットが含まれています。粗さ、体積計算、解析ツールセットによる重要寸法の測定、レポートやデータセット（csvファイル）としてエクスポートが可能です。解析の条件を保存して、複数の測定に適用することも可能です。	ソフトウェア開発キット（SDK）は、1つ、または複数のセンサのリモート制御することが可能なツールセットです。クライアントのコンピュータとセンサ間で通信の生成・管理すると共に、取得データを解析ソフトウェアに送ります。

3D表面形状測定 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡

コンパクト・多機能モデル S mart sensor

 

自律型の共焦点センサ。「面」を測定可能。コンパクトながら多機能。
 

• FOV (シングルショット) 最大 2.8 x 2.8 mm
• コンピュータ ヘッド内蔵
• 測定時間 2 s
• 光学分解能 < 155 nm
• システムノイズ < 3 nm

装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

高速＆多機能モデル S neox sensor

クリーンルーム対応モデル S neox Cleanroom sensor

多機能な組込み可能ヘッド。ISO Class 1に対応
 

• クリーンルーム対応（ISO Class 1に対応）
• FOV （シングルショット） 最大 6.7 x 5.6 mm
• 測定時間 3 s
• 光学分解能 < 148 nm
• システムノイズ < 0.01 nm
• 4-in-1:共焦点、光干渉(CSI/PSI)、Ai焦点移動、薄膜

クリーンルーム対応 装置組込み用
白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

ソフトウェア 3D表面形状測定（白色干渉計・焦点移動・共焦点）

ソフトウェアパッケージ
 

検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO

Sensofarの白色干渉計、共焦点顕微鏡で入手された形状データを自動解析するソフトウェア。主に品質管理、検査用途向けので素早く、簡単に解析結果の取得可能。
検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO

 
すべてのソフトウェアは、面粗さに関するISO 25178規格に準拠しています。