ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定 特性評価 

SENSOFAR Metrology

TFT液晶やOLEDなどFPD(フラットパネルディスプレイ)の製造の各段階で、TFTアレイ、スペーサー、UVフィルタ、コーティングなど様々な特性の評価、測定することができます。

LCD 液晶ディスプレイのTFTアレイ 高さ測定

TFTアレイLCD(液晶ディスプレイ)には、コントラストや表示速度を向上させる製造方法があります。それがTFT(薄膜トランジスタ)技術と呼ばれるものです。TFTはフォトリソグラフィによって製造され、各層の高さが重要になります。
 
SensoPRO_MultipleStepHeightSensoPRO Multiple Step Height (多段差)プラグインは3つの異なる高さを検出し、その属する高さレベルにあるトポグラフィの領域をグループ化します。この場合、検出された各レベルは、TFTアレイを作るために蒸着された層です。
TFTアレイ‐1

OLED 有機ELディスプレイ用ファインメタルマスクの測定解析

OLED-FMM-1有機ELディスプレイでのRGBピクセルを形成する層を蒸着するために、ファインメタルマスク(FMM)パターンが使用されます。パターン幅と長さで、蒸着されるピクセルサイズが決定づけられるため、特性の評価がなされます。
OLED FMM-2
 
SensoPRORHoleプラグインSensoPRO R hole(穴)プラグインによる解析で取得したデータで自動生成されたグラフから、データセットの傾向をに見出すことができます。

TFT 薄膜トランジスタのスペーサの測定

TFTスペーサ測定ディスプレイは複数の層で構成されいます、層の間には一定の間隔が必要です。スペーサは、その間隔を確保するため、画面全体に配置された構造物です。スペーサには様々な形状がありますが、殆どは楕円形、円形、長方形の形状です。
 
SensoPROSpacerSensoPRO Spacer(スペーサ)プラグインスペーサの解析用のプラグインです。液晶パネルを支えるスペーサの測定に役立ちます。層の間での正確な間隔を確保し、均一でへこみのない画面の状態にします。

UVフィルタの測定

UVフィルタ測定ディスプレイの内部には、デバイスから出る危険性のある光を除去するフィルター層があります。図のような形状のものもあります。
 
SensoPROTrenchSenoPRO Trace(溝)プラグインは表面上のトレンチ(溝)を解析するために使用します。

FPD (フラットパネルディスプレイ)のコーティングの均一性評価

FPDコーティングディスプレイを製造する際、フォトリソグラフィでいくつかのコーティングが施されます。多くの場合、構造体を覆っているコーティングの均一性を把握する必要があります。
 
図は、構造体上部のコーティングの平坦性を確認しているところです。
 
SensoVIEWのソフトウェアは任意の方向でプロファイルを選択し、手動で検証を行うことに優れたツールです。
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