製品情報

優れた直線性と温度特性。静的な変位測定のスタンダードモデル。

高分解能・高速応答。動的変位測定のスタンダードモデル。

シリーズ最高分解能・高速応答モデル 高速変位を高精度で測定

優れた温度特性と高分解能を実現。制御用途でのフィードバックセンサに最適。

MicroSense LLCの静電容量センサを紹介。全カタログをまとめてダウンロードできます。

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境（超高真空、高磁場）に対応する変位測定干渉計【レーザー干渉式変位センサ】

基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

VisiVector PIVシステムには、PIV計測を行うための様々なアクセサリーがあります

粉体やペレット・サンプル中の異物を検出 (サイズ, 形状分析による)。粒子のサイズ、色、形状を高速に評価。多彩なサンプル搬送ユニット (乾式, 湿式, ステージ 等)。オフライン、オンラインの両方に対応可能。

高濃度対応 インラインSS（浮遊物質測定）・濁度　計測 後方光散乱方式採用 過酷な環境下でもメンテフリーで使用可能な堅牢デザイン

実際の粒子映像を使用して、粒子サイズや速度とその分布を正確に自動測定

長寿命LEDを搭載した光散乱原理の濁度計。センシティブな部品群を計測ラインから隔離したユニットに実装。過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザインの濁度計です。

インライン用の吸光光度計。プロセスの濃度・色測定に最適。 過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザイン。

キャリーケースで運搬のでき、取り扱いの簡単な小型軽量タイプ。粒径5μm～3,900μm。速度同時測定モデル

一般的な動的光散乱法とは異なり、光源とセンサを2つずつ用いる「クロスコリレーション法」を採用しています。そのため、高濃度な試料でも多重散乱の影響を排除した正確な測定が可能です。（測定範囲 0.5 nm～10 μm）

最新解析アルゴリズムと新特許光学系により、在来型や他方式を超える安定性と精度を実現。測定レンジ。サイズ：1μm ～15,600μm。速度：～1,000m/s@100μm

キャリーケースで運搬のできる、取り扱いの簡単な小型軽量タイプ。粒径5μm～3,900μm。速度同時測定モデル