製品情報

シリコンフォトニクス・光デバイス向けの高精度光計測装置シリーズ。光ベクトル解析による損失・分散・偏波測定から、μm精度の光リンク診断・断点検出まで、研究開発から製造検査までを高速・高精度にサポートします。

フォトニックデバイスやフォトニック集積回路（PIC）の評価に対応する自動チップテストシステム。自動光学アライメントとプローブカード位置合わせにより、フォトニックチップの高精度かつ高効率な自動検査を実現します。

連続波（CW）・単一周波数のTi:sapphireレーザー。700～980 nmで波長可変、ワットクラスの高出力と狭線幅を実現。自動波長調整により共鳴ラマン分光や量子材料研究に最適です。

Soliraは、複数の測定手法を1台に統合したフレキシブルな時間分解フォトルミネッセンス（TRPL）顕微鏡です。特に半導体・ナノ材料・太陽電池・LEDなどの材料の評価に最適です。TRPLイメージング、キャリア拡散、単一エミッター測定を1台に統合し、材料特性評価をシンプルにします。355 nmから1064 nmまでの波長域をカバー。最大12検出チャネル。

コンパクトなナノ秒パルスDPSSレーザー。安定した高エネルギーパルスを出力し、科学・産業分野の幅広い用途に対応します。パルスエネルギー最大220 mJ、繰返し周波数最大150 Hz。

シリコンフォトニクスおよびフォトニック集積回路（PIC）デバイスの評価に対応する光電統合ウェーハテストシステム。光学測定と電気測定を統合し、フォトニックチップのウェーハレベル評価を高精度かつ自動化します。

フォトニックデバイスの光結合工程を自動化する2種類のパッケージングシステム。光ファイバー結合(FA)とレンズ結合の両方式に対応し、研究開発から量産まで高精度なアライメントを実現します。

シリコンフォトニクスやフォトニック集積回路（PIC）デバイスの欠陥を高精度に検出する自動光学検査（AOI）システム。機械学習アルゴリズムを活用し、ウェーハおよびチップレベルでのフォトニックデバイス検査を自動化します。

パルス幅 < 500 fs、平均出力 120 W、パルスエネルギー 500 µJ ビーム安定性とプロセス制御を妥協なく両立した、高出力フェムト秒レーザーアンプ（増幅器）です

パルス幅 <250 fs、平均出力 >5 W、パルスエネルギー 25 µJ 省スペースなシステムへのシームレスな組込み用途を前提に設計された、ターンキー・フェムト秒ファイバレーザーです。

波長 920 nm、パルス幅 < 100 fs、平均出力 > 1.3 W 多光子蛍光イメージングおよび神経科学研究に特化した、ターンキー型フェムト秒ファイバレーザーです。

コンパクトな完全空冷型、オールインワン構造のナノ秒パルスNd:YAGレーザーです。波長1064nm、パルスエネルギー100mJ 出力。

コンパクト性と可搬性をさらに高いレベルで実現した一体型レーザーです。完全空冷・オールインワン設計を採用。装置への組込み用途や、省スペースな実験環境に最適です。波長2940 nm、パルスエネルギー5mJ 出力。

コストパフォーマンスに優れたターンキーDPSSレーザーです。実験現象のリアルタイム検出やイメージングのフレームレート向上に貢献できます。波長1064nm、パルスエネルギー 150 mJ / 300 mJ 出力。

高エネルギー出力を実現するターンキー型Nd:YAGレーザーです。TEM00、M2値 2未満を実現の高いビーム品質を提供します。波長1064nm、パルスエネルギー 450 mJ / 850 mJ 出力。

完全空冷式で、電源、制御回路、光学プラットフォームを一体化したオールインワンDPSSベースOPO 波長可変レーザーです。

ピコリットルの微量塗布を高粘度液剤で実現する高精細塗布描画システムです。Twin-airⓇ ディスペンサを搭載し、1000Pa・sの高粘度液剤でΦ50µmドット、50µm幅ラインの微量塗布が可能。研究開発・試作・量産、搬送ユニット搭載も対応できます。

デスクトップ・パターニングシステムは、高粘度液剤の微細塗布・描画を研究開発や試作段階で実現する装置です。Twin-airⓇ 高精細ディスペンサを搭載し、Φ50µm、50µm以下の微細塗布や最大1000Pa・sの高粘度液剤に対応します。リアルタイムのトップ＆サイドビュー観察、CADデータインポート、X-Yオートアライメント機能により、ダム形成、ダイレクトパターニング、液剤開発や塗布条件最適化を効率的に支援します。

最小70nmピラー構造とØ200mmウェハ対応のフラット光学素子で、薄型・軽量ながら高い光学性能を備えています。可視光から近赤外までの波長に対応し、メタレンズならではの自由度の高い光制御が可能です。カメラモジュール、AR/VR、センシング、イメージング、照明光学など幅広い用途でご利用いただけます。

高精度・高速・低コストを実現する光トランシーバー試験用波長計です。実績ある干渉計ベースの技術を採用し、トランシーバーの波長を最大 ±0.3 pm の精度で正確に測定します。高速測定で試験効率を高め、生産スループットを向上。通信帯を幅広くカバーしつつ、高速性とコストパフォーマンスを両立しており、WDM伝送システム、データセンター、3Dセンシング、LIDAR 用途に最適です。