NanoX 高速ポジショナ

piezosystem jena

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。複数のポジショナを組み合わせることも可能。

最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。複数のポジショナを組み合わせることも可能。
  • 2つのスタック・アクチュエータを組み合わせる双方向アクティブ法採用
  • 高精度、高い耐荷重で高速の動的用途に最適

NanoX シリーズは、大荷重のアプリケーションで、最高精度のナノ/マイクロポジショニング(nanopositioning)タスクを実現するピエゾ駆動ポジショニングステージ(piezo stages)です。

例えば NanoX 400 は、動的用途でも最大 10kg の荷重に耐えます。ステージに用いられているアクチュエータには、“双方向アクティブ法”というピエゾ・スタック技術を採用しており、1つのピエゾポジショナに別々に制御される2つのピエゾをスタックしています。この技術では、1つ目のピエゾアクチュエータが電圧シグナルで充電されると、2つ目のアクチュエータが放電されます。このユニークな技術で、ピエゾポジショナはセットとリセットの両方の力を生じることができ、ステージは動的環境下でも高い荷重を可動できます。

標準タイプの NanoX と、小型の NanoSX があります。NanoSX は他の NanoSX と組み合わせることで、ナノレベルの高い精度を損なうことなく、1.6mm までのロングトラベルシステムを構築できます。

双方向アクティブ法

多層セラミックアクチュエータ(SMCA)は引張力を発生することはできないため、ピエゾ駆動ナノポジショニング・アクチュエータではに、そのストローク方向によって、種類の異なる動作を利用します。押す力は、アクティブに制御されたSMCAで発生される大きな力によって決定されます。一方引張力は、パッシブに動作する湾曲ヒンジの弱いバネが戻る力を利用します。これら押す力と引張力の比は、最大で 10 にもなります。力学的性能、負荷容量、ナノポジショニング・アセンブリ全体の堅牢性は、弱い力しか発生できない方向の動作によって制限されることになります。

piezosystem jena 社の新しい洗練されたギアデザインでは、双方向アクティブ法を採用しています。これにより押す力/引張力の比を最高で 1:1 までにしています(軌道への影響無し)。ナノポジショニングステージにおけるどちらのストローク・ベクトルも、SMCAで発生する高い圧縮力によって制御しています。

モデル NanoX 200 NanoX 400 NanoX 240 SG NanoSX 400
nanoX 200 高耐荷重ピエゾステージ nanoX 400 高耐荷重ピエゾステージ nanoX 240 SG 45° 高耐荷重ピエゾステージ nanoSX 400 高速ピエゾステージ
動作距離 240μm X軸 480μm X軸 240μm X軸 450μm X軸
最大荷重量 10kg 5kg 10kg 10kg(f=280Hz
@ 0.1kg 荷重)
特記 ポジショニングセンサ内蔵オプション ポジショニングセンサ内蔵オプション ビーム偏向:90° フラットデザイン
ポジショニングセンサ内蔵オプション
用途 大負荷での動的用途 大負荷での動的用途 大負荷での動的用途
シリンダーヘッド検査システム
大負荷での動的用途
モデル NanoSX 800 Scan XY 40 NanoSXY 120 NanoSXY 400
nanoSX 800 高速ピエゾステージ Scan XY 40 ピエゾスキャンポジショナ nanoSXY 120 高速ピエゾポジショナ nanoSXY 400 高速ピエゾポジショナ
動作距離 900μm X軸 40μm XY軸 120μm XY軸 450μm XY軸
最大荷重量 5kg(f=200Hz
@ 0.1kg 荷重)
5kg(f=280Hz
@ 0.1kg 荷重)
5kg(f=200Hz
@ 0.1kg 荷重)
特記 ポジショニングセンサ内蔵オプション 中心部穴付きダイナミクススキャンステージ ポジショニングセンサ
内蔵オプション
ポジショニングセンサ
内蔵オプション
用途 大負荷での動的用途 光学素子やレーザーのXYポジショニング 大負荷での動的用途 大負荷での動的用途
TOPに戻る