電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)

Newport

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ
  • リニアステージへの取り付けも可能
  • 精密位置決め
  • 真空対応可
  • 特注, OEM可

電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)は、フォーカシング、イメージング、計測、検査、レーザー描画などにおける、精密な3次元モーションコントロールに欠かせません。
垂直ステージは、耐荷重、移動量、最小移動量、再現性に基づいてお選びいただけます。Newport社では、高耐荷重でロングトラベルのIMSシリーズから高精度のGTS30Vまで幅広い精密垂直ステージを取り揃えています。垂直ブラケットなどでリニアステージに垂直ステージを組み込むこともできます。

シリーズ移動量最小可動
距離(μm)
双方向再現性(μm)軸上精度
(μm)
最高速度
(mm/s)
通常
耐荷重
XMS-V100 mm0.05± 0.05± 0.75300100 N
VP-5ZA 4.8 mm0.06± 0.25 (±1.0)± 1.5550 N
GTS30V30 mm0.1± 0.1± 0.751040 N
IMS-V100, 300 mm0.3 – 0.6± 0.25 (±1.0)± 1.50.555-20 N
UZUZS:4.5 mm
UZM:9 mm
0.2± 1.7 to ± 2.95± 1.5 to ± 4430-300 N
ZVR10 mm0.05± 2± 210100 N
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