電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)

Newport

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ

高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ
  • リニアステージへの取り付けも可能
  • 精密位置決め
  • 真空対応可
  • 特注, OEM可

電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)は、フォーカシング、イメージング、計測、検査、レーザー描画などにおける、精密な3次元モーションコントロールに欠かせません。
垂直ステージは、耐荷重、移動量、最小移動量、再現性に基づいてお選びいただけます。Newport社では、高耐荷重でロングトラベルのIMSシリーズから高精度のGTS30Vまで幅広い精密垂直ステージを取り揃えています。垂直ブラケットなどでリニアステージに垂直ステージを組み込むこともできます。

シリーズ 移動量 最小可動
距離(μm)
双方向再現性(μm) 軸上精度
(μm)
最高速度
(mm/s)
通常
耐荷重
XMS-V 100 mm 0.05 ± 0.05 ± 0.75 300 100 N
VP-5ZA 4.8 mm 0.06 ± 0.25 (±1.0) ± 1.5 5 50 N
GTS30V 30 mm 0.1 ± 0.1 ± 0.75 10 40 N
IMS-V 100, 300 mm 0.3 – 0.6 ± 0.25 (±1.0) ± 1.5 0.55 5-20 N
UZ UZS:4.5 mm
UZM:9 mm
0.2 ± 1.7 to ± 2.95 ± 1.5 to ± 4 4 30-300 N
ZVR 10 mm 0.05 ± 2 ± 2 10 100 N
TOPに戻る