高耐荷重・ロングトラベルタイプから高精度タイプまで幅広い精密垂直ステージをラインナップ
- リニアステージへの取り付けも可能
- 精密位置決め
- 真空対応可
- 特注, OEM可
電動垂直ステージ(自動垂直ステージ)は、フォーカシング、イメージング、計測、検査、レーザー描画などにおける、精密な3次元モーションコントロールに欠かせません。
垂直ステージは、耐荷重、移動量、最小移動量、再現性に基づいてお選びいただけます。Newport社では、高耐荷重でロングトラベルのIMSシリーズから高精度のGTS30Vまで幅広い精密垂直ステージを取り揃えています。垂直ブラケットなどでリニアステージに垂直ステージを組み込むこともできます。
シリーズ | 移動量 | 最小可動 距離(μm) | 双方向再現性(μm) | 軸上精度 (μm) | 最高速度 (mm/s) | 通常 耐荷重 |
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XMS-V | 100 mm | 0.05 | ± 0.05 | ± 0.75 | 300 | 100 N |
VP-5ZA | 4.8 mm | 0.06 | ± 0.25 (±1.0) | ± 1.5 | 5 | 50 N |
GTS30V | 30 mm | 0.1 | ± 0.1 | ± 0.75 | 10 | 40 N |
IMS-V | 100, 300 mm | 0.3 – 0.6 | ± 0.25 (±1.0) | ± 1.5 | 0.55 | 5-20 N |
UZ | UZS:4.5 mm UZM:9 mm | 0.2 | ± 1.7 to ± 2.95 | ± 1.5 to ± 4 | 4 | 30-300 N |
ZVR | 10 mm | 0.05 | ± 2 | ± 2 | 10 | 100 N |
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