直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開

• nm分解能の精密位置決め
• 真空対応可
• 特注, OEM可
• 大耐荷重/ゴニオステージ/小型＆軽量/高速/コントローラ一体型など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択

電動回転ステージは、研究・大学機関、工業、防衛産業などの市場にソリューションを長年供給し続けてきた経験に基づいて設計され、強化されてきた精密位置決め製品です。回転ステージの用途としては、半導体ウェハ検査／スクライビング、計測、マイクロロボティクス、センサ試験、ディスクテクスチャリング、偏光子や波長板などの光学位置決めなどが挙げられます。Newport社は、直接駆動の直読式高速回転型RGVシリーズから、多用途で低価格のNSR1ユニバーサル回転子におよぶ、100種類以上の回転ステージモデルを取り揃えています。要求に応じて、真空対応バージョンや多軸設計、OEMやカスタムソリューションにも対応いたします。

電動回転ステージは、最小移動量、双方向再現性、絶対精度、最大速度、揺動、耐荷重などに基づいて選択できます。