電動回転ステージ(自動回転ステージ)

Newport

直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開

直接駆動の直読式高速回転型から、多用途・低価格タイプまで、100モデル以上を展開
  • nm分解能の精密位置決め
  • 真空対応可
  • 特注, OEM可
  • 大耐荷重/ゴニオステージ/小型&軽量/高速/コントローラ一体型など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択

電動回転ステージは、研究・大学機関、工業、防衛産業などの市場にソリューションを長年供給し続けてきた経験に基づいて設計され、強化されてきた精密位置決め製品です。回転ステージの用途としては、半導体ウェハ検査/スクライビング、計測、マイクロロボティクス、センサ試験、ディスクテクスチャリング、偏光子や波長板などの光学位置決めなどが挙げられます。Newport社は、直接駆動の直読式高速回転型RGVシリーズから、多用途で低価格のNSR1ユニバーサル回転子におよぶ、100種類以上の回転ステージモデルを取り揃えています。要求に応じて、真空対応バージョンや多軸設計、OEMやカスタムソリューションにも対応いたします。

電動回転ステージは、最小移動量、双方向再現性、絶対精度、最大速度、揺動、耐荷重などに基づいて選択できます。

大型・高速タイプ

シリーズ 最小可動量(°) 双方向性再現性(°) 絶対精度(°) 最高速度
(°/s)
揺動
(μrad)
通常
耐荷重
(Cz)(N)
RGV 0.00004 – 0.00011 0.0002 – 0.0011 0.01 720 – 1000 20 – 40 100 – 2700
RG HAT, HAHLT:0.0001
RVS80PP:0.0002
RVS80CC:0.00025
All Others:0.001
HAT, HAHLT:0.0012
RVS80CC:0.003
RVS80PP:0.007
All Others:0.004
HAT, HAHLT:0.005
RVS80CC:0.015
RVS80PP:0.02
All Others:0.01
16 – 80 2 – 20 900 – 6500
URS URS50BPP:0.0005
URS50BCC:0.001
Other BPP:0.00022
Other BCC:0.002
URS50BPP:0.006
Other BPP:0.02
All BCC:0.006
URS50BPP:0.05
Other BPP:0.03
URS50BCC:0.04
Other BCC:0.023
20 – 80 50 100 – 300
URB100CC 0.02 0.165 0.2 720 50 100 – 300
ZVR ZVR-PP:0.0002
ZVR-PC:0.002
ZVR-PP:0.013
ZVR-PC:0.007
ZVR-PP:0.035 (軸上)
ZVR-PC:0.030 (軸上)
ZVR-PP:40
ZVR-PC:80
80 100

小型タイプ

シリーズ 最小可動量(°) 双方向性再現性(°) 絶対精度(°) 最高速度
(°/s)
揺動
(μrad)
通常
耐荷重
(Cz)(N)
PR50 & SR50 SR50:0.004
PR50:0.02
SR50:0.05
PR50:0.15
SR50:0.06
PR50:0.1
4, 20 100 10, 30
NewStep NSR 1 3 NA 120 600 4.0
AgilisTM 5 µrad NA NA 2 100 2
8401-M <0.2 NA NA 1-2 NA NA
8410 0.2 NA NA 1-2 NA NA

ゴニオステージ

シリーズ 最小可動量(°) 双方向性再現性(°) 絶対精度(°) 最高速度
(°/s)
揺動
(μrad)
通常
耐荷重
(Cz)(N)
BG BGS50CC,
BGS80CC:
0.0005

BGS50PP,
BGSS80PP:
0.0002

BGM120,
BGM160,
BGM200:
0.002

GS50CC:0.013

BGS50PP:0.016

BGS80CC:0.003

BGS80PP:0.005

BGM120/160
/200:0.024

BGS50CC,
BGS80PP:0.06

BGS50PP:0.07

BGS80CC:0.05

BGM120/160
/200:0.05

2 – 20 200 20 – 500

コントロール一体型タイプ

製品 最小可動量(°) 双方向性再現性(°) 絶対精度(°) 最高速度
(°/s)
揺動
(μrad)
通常
耐荷重
(Cz)(N)
CNNEXコントローラ
+ DC or ステッパモータ
回転ステージ
(CONEX-)
BGS50CC:0.0005
URS50BCC:0.001
SR50CC:0.004
PR50CC:0.02
NSR1:1
0.05 – 3 0.06 – 0.10 4 – 120 100-600 4 – 30
CONEXコントローラ
+ ピエゾモータ
回転ステージ
(CONEX-)
AG-PR100P:0.001
0.003 0.08 1.5 100 2
CONEXコントローラ
+ ピエゾモータ
ゴニオステージ
(CONEX-)
AG-GON-UP:0.00032
AG-GON-LP:0.00025
N/A N/A 0.45
0.33
N/A 3.5
ステッパモータ
iPPコントローラ
回転ステージ
FCR100:0.00025 0.012 or ± 0.006 0.04 or ± 0.02 20 50 or ± 25 300
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