電動直進ステージ(自動直進ステージ)

Newport

直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージまで、200モデル以上を展開

直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージまで、200モデル以上を展開
  • XY, XYZステージも構成可
  • nm分解能の精密位置決め
  • 真空対応可
  • 特注, OEM可
  • ロングトラベル/高速/小型&軽量など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択

Newport社とNew Focus社の電動直進ステージは、50年以上にわたって研究・大学機関、工業、半導体産業、航空宇宙産業、防衛産業などのさまざまな市場にソリューションを供給し続けてきた経験を背景として設計され、強化されてきました。ステージの選択肢は、直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージに至るまで、200モデル以上に及びます。また高評価を得ている手動ステージに、広範囲の選択肢を持つ互換性のある電動アクチュエータを適合させることにより、数多くのリニア位置決めソリューションを作成することができます。
電動直進ステージは、移動量、最小移動量、再現性、精度、速度などに基づいて選択します。なお機種選定にあたっては、要件などご相談いただければ最適な製品をご提案いたします。お気軽にお問合せください。

IDLシリーズ レーザー加工用ロングトラベル・リニアステージ

IDLシリーズは、移動量が大きい産業グレードリニアステージです。耐荷重が大きく、高速。使用環境や用途に合わせて選べる種々のサイズをご用意しています。

  • 工業環境対応:デブリ保護、高いスループット&安定性
  • 高効率・非接触・非鉄リニアモータ使用で高速移動&速度高安定性
  • 直接取り付けによる簡単XY構成
  • 多モデル展開で、幅広い用途で応用可
  • 種々の産業用コントローラ互換

小型タイプ

シリーズ 移動量 最小可動
距離(μm)
軸上精度
(μm)
最高速度
(mm/s)
通常
耐荷重
MFA 25 mm 0.1 6 (±3.0) 0.3, 1.0, 2.5 50 N
VP-25X 25 mm XL:0.01
XA:0.1
2 (±1.0) 25 60 N

中可動距離タイプ(50~300 mm)

シリーズ 移動量 最小可動
距離(μm)
軸上精度(μm) 最高速度
(mm/s)
通常耐荷重
XM XMS:
50, 100, 160
XML:210
0.01 XMS:1.5 (±0.75)
XML:3 (±1.5)
300 XMS:100 N
XML:300 N
GTS 70, 150 0.1 2 (±1.0) 50 100 N
ILS-LM 100, 200, 300 0.01 5 (±2.5) 500 250 N
ILS 50, 100, 150,
200, 250
HA:0.3
CC, PP:1.0
HA:
2 (±1.0), 3 (±1.5)
CC, PP:
4 (±2.0), 5 (±2.5)
PP:50
CC, HA:100
250 N
FCL 50, 100, 200 0.15 4 (±2.0), 5 (±2.5),
10 (±5.0)
20 250 N
FMS 100, 200, 300 CC:0.5
PP:1.0
1 (±0.5), 2 (±1.0),
3 (±1.5), 6 (±3.0),
10 (±5.0), 13 (±6.5)
PP:20
PPHA:50
CC:100
150 N
MTN 100, 200, 300 PP, PPV6:0.1
CC:0.6
5 (±2.5) PPV6:20
PP:40
CC:100
1000 N
UTS 50, 100, 150 0.3 CC: 4.5 (±2.25),
5.5 (±2.75), 6.5 (±3.25)
PP: 6 (±3.0),
7 (±3.5), 8 (±4.0)
PPV6:10
PP:20
CC:40
100, 200 N
IDL 200 0.25 3 (±1.5) 2000 1000 N
ONE-XY 60, 100, 200 0.1 0.6 (±0.3), 0.8 (±0.4),
6 (±3.0), 8 (±4.0)
300, 400,
500
100, 120,
150 N

長可動距離タイプ(300~1200 mm)

シリーズ 移動量 最小可動
距離(μm)
軸上精度(μm) 最高速度
(mm/s)
通常
耐荷重
IMS-LM 300, 400, 500,
600, 800,
1000, 1200
0.02 9 (±4.5), 11 (±5.5),
15 (±7.5), 20 (±10),
25 (±12.5), 30 (±15)
1000 100, 600 N
IDL 300, 400, 500,
600, 700,
750, 1000
0.25 3 (±1.5), 4 (±2),
5 (±2.5)
2000 1000, 1500,
2000 N
XM 350 0.01 3 (±1.5) 300 300 N
ONE-XY 300 0.1 1.2 (±0.6), 12 (±6.0) 300 350 N
IMS 300, 400,
500, 600
CCHA:0.2
CC, PP:1.25
8 (±4), 10 (±5),
11 (±5.5), 12.5 (±6.25),
15 (±7.5), 20 (±10)
PP:100
CC, CCHA:200
600 N
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