特注ナノ位置決めステージ

attocube systems

高いナノポジショニング・エンジニアリング力で、複雑な位置決めタスクを解決する最適なナノ位置決めソリューションを提案。

attocube ナノ位置決めステージ概要

 ≫ 極低温対応ナノ位置決めステージ

 ≫ 大気・真空対応ナノ位置決めステージ

 ≫ 特注ナノ位置決めステージ

 

  • hexaCUBE 一体型6軸位置決め装置
  • カスタム・ピエゾポジショナー
  • フレクシャ・スキャナ
  • 顕微鏡ステージ
  • カスタマーセットアップ統合

 

Attocube(アトキューブ)社は、2001年に最初の商用のピエゾ駆動 極低温ナノポジショナーを開発し、多くの研究の可能性を広げました。その後の継続的な技術革新により、内蔵位置センサーや、高い信頼性と大きなダイナミックフォースを有する室温環境向けポジショナーが開発され、ナノポジショニングのためのエンジニアリング機能が強化されてきました。

 

複数のナノ位置決めステージと個々の位置読取り機能(電気式、光電子式、干渉計式センサ)を組み合わせることで、複雑な位置決めタスクを解決する統合可能モーションモジュールを構築できます。例として、hexaCUBE のようなプログラム可能 6軸自由度システム、大荷重に対して高い安定性を有するカスタマイズナノポジショナー、Attocube社の超音波駆動技術による高速・正確な2軸駆動 小型顕微鏡ステージがあります。

 

アプリケーションやご要求をご相談ください。ニーズに最適なナノポジショニング・ソリューションをご提案します。

hexaCUBE 一体型6軸位置決め装置

非常に高精度な 6軸平行キネマティックステージです。直進で 50 nm、回転で 1 µrad の優れた再現性を提供します。

精度の向上が求められる今日の製造および製造プロセスでは、コンパクトかつ非常に正確な多自由度位置決め装置に対する需要が高まっています。Attocube社のピエゾ駆動 6Dキネマティック位置決め装置は、このような要求に応える、ナノメートル分解能と再現性、メカニカル強度、コンパクトさを兼ね備えた製品です。


提供可能特性例
  • サイズ指定:設置面積、高さ、位置決め移動量
  • 荷重指定:移動量 vs. 荷重、ばね補正
  • 材質選択
  • 制限スペース用の小さい高さ寸法(最小57mm)
  • 真空バージョン
主な用途
  • 立ラインにおける光学系やファイバーのアライメント
  • オプティクスや顕微鏡用の6次元サンプル位置決め

カスタム・ピエゾポジショナー

サイズ、耐荷重、位置読み取り機能など、アプリケーションに合わせてカスタマイズ可能です。

ナノポジショニングアプリケーションの多くで、移動プロセス中も、長期間にわたる目標位置の保持でも、安定性は重要な要素です。写真のローテータは、最大の剛性と大きな荷重量の位置決め用途のために設計されています。重力に対する方位に関わらず、最大 1 kg の荷重が可能で、テーブルの傾きはほとんどありません。


提供可能特性例
  • 自由度の数
  • 動作:リニア、ゴニオメトリック、回転
  • カスタム寸法
  • 軸ごとの移動量と速度
  • カスタムペイロード
  • センサ分解能:マイクロメートルからサブナノメートル
  • OEMエレクトロニクス
主な用途
  • 光学部品の位置決め
  • 物体のナノマニュピュレーション
  • 品質管理での検査

フレクシャ・スキャナ

高周波ナノポジショニング用に開発された高い剛性のピエゾ駆動フレクシャ・スキャナです。個々のストロークで滑らかな動作が得られます。

イメージセンサの補間や安定化など、アプリケーション範囲の拡大に伴って、高帯域幅/高周波数で小~中範囲のサンプル位置決めが必要になります。Attocube社のピエゾフレクシャ技術で、これらの要件の多くを満たすことができます。Attocube社のピエゾフレクシャ・スキャナは、有限要素法(FEM)と電子放電ミリング(EDM)装置を用いたラピッドプロトタイピングによって開発された剛性の高い小型デザインです。


提供可能特性例
  • 自由度:1~3
  • 動作:リニア、ゴニオメトリック、回転
  • カスタムの寸法、ストローク
  • 高度なセンサおよびエレクトロニクス
  • カスタムペイロード
  • 動的性能のシミュレーションと検証
主な用途
  • イメージセンサ用のハイダイナミック画像補間(主に近赤外から中赤外)
  • 画像安定化、VISからIR領域で幅広く適用

顕微鏡ステージ

顕微鏡用途向けに設計された高速の超音波XYナノポジショニングステージです。ナノメートル精度の読み取り機能付きです。

最近のアプリケーションの多くで、特に超解像顕微鏡法(STED、PALM)などの光学イメージングやセルアレイ評価におけるターゲットの動作のため、非常に高速でありながら高精度なサンプル位置決めが求められています。attocube社の超音波x-yピエゾステージは、数センチメートルの移動範囲にわたってナノメートルスケールの高い精度を提供し、これらのタスクに最適です。

本製品は 50 nm を超える優れた双方向再現性と同時に、高い移動速度(最大 50 mm/s)を提供します。 可聴域をはるかに超える周波数で動作するステージは動作が静かで、ノイズに敏感なアプリケーションに最適です。


提供可能特性例
  • 占有面積:50×50 ~ 300×300 mm
  • 移動範囲:25×25 ~ 200×200 mm2
  • 最大移動尾速度 50 mm/s(繰返し精度 50 nm)
  • ダイナミックフォース:最大 5N+
主な用途
  • 超解像光学顕微鏡における試料位置決め
  • オプティクスや光学部品の位置決め
  • 細胞アレイの検査/マニピュレーション

カスタマーセットアップ統合

複数の異なるレーザー干渉式ピエゾステージ、クローズドループ制御、専用スキャナを組み合わせるのは手間がかかります。ピエゾモーションとセンサーの両方に豊富な経験を持つ当社のエンジニアが、お客様のニーズに合ったソリューションを設計します。写真は20軸駆動X線顕微鏡です。このようなスキャンソフトウェアやインストールを含むシステム全体ご相談から、システム構築上の小さなお悩みまで、お気兼ねなくお問い合わせください。


提供可能特性例
  • 仕様保証コンプリートセットアップ:再現性、ドリフトレート、ソフトウェアインタフェース等
組み合わせ可能なコンポーネント
  • attocube社の全種類のステッピングポジショナー
  • attocube社製スキャナ
  • 干渉式センサ:FPS, IDS
  • 回転フランジ等 サードパーティー提供パーツ
TOPに戻る