attocube ナノ位置決めステージ概要

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適。

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での高精度マシニング、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適なナノポジショニング製品です。
attocube ナノ位置決めステージ概要
 ≫ 大気・真空対応ナノ位置決めステージ
 ≫ 特注ナノ位置決めステージ

 
attocube(アトキューブ)社のナノポジショナー部門では、圧電モーター(ピエゾ)駆動ポジショナーの設計、エンジニアリング、製造を通じて、最高の分解能、再現性、安定性を要するアプリケーションのための統合的なナノポジショニングソリューションに注力しています。超高真空や高磁場といった極限環境に対応可能な多彩なラインナップを展開し、ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。
 
ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス(多軸)システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。

attocube ECSナノポジショナー 動画

 

大気・真空対応ナノ位置決めステージ



堅牢でコスパの高い大気・真空対応ピエゾ駆動ナノポジショナ―です。センチメートルオーダーを超える広い可動域と、数kgにおよぶ荷重量でも、信頼性と安定性に優れたナノポジショニングを提供します。

 

特注ナノ位置決めステージ



attocube社では、お客様のニーズに最適な様々なナノポジショニングのソリューションを、高度なスキルを備えたエンジニアにてより開発提供いたします。

主な応用分野

導入例

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