attocube ナノ位置決めステージ概要

attocube systems

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性・極低温対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適。

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性・極低温対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適。

attocube ナノ位置決めステージ概要

極低温対応ナノ位置決めステージ

大気・真空対応ナノ位置決めステージ

特注ナノ位置決めステージ

 

attocube(アトキューブ)社のナノポジショナー部門では、圧電モーター(ピエゾ)駆動ポジショナーの設計、エンジニアリング、製造を通じて、最高の分解能、再現性、安定性を要するアプリケーションのための統合的なナノポジショニングソリューションに注力しています。超高真空、極低温、高磁場などの極限環境に対応可能な多彩なラインナップを展開し、ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。

ステージの種類は、直進(リニア)、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ(リニアド、回転、ゴニオ)を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス(多軸)システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。


極低温対応ナノ位置決めステージ

極低温環境下での使用が可能なピエゾ駆動ナノ位置決めステージです。極低温、強磁場、超高真空といった極限環境において、ミリメートルオーダーを超える広い可動域を、最高の精度でポジショニングできます。

 

大気・真空対応ナノ位置決めステージ

堅牢でコスパの高い大気・真空対応ピエゾ駆動ナノポジショナ―です。センチメートルオーダーを超える広い可動域と、高い荷重量でも、信頼性と安定性に優れたナノポジショニングを提供します。

 

特注ナノ位置決めステージ

attocube社では、お客様のニーズに最適なさまざまなナノ位置決めソリューションを、高度なスキルを備えたエンジニアが開発いたします。

 

応用分野

    • インフラ設備:真空、極端温度、放射線環境など過酷環境下でのデバイスの位置制御
    • メゾスコピック領域物理:様々な温度や強磁場でのメゾスコピック系における磁場中輸送の測定
    • 顕微鏡用途:極限環境下での最先端の顕微鏡用途のため様々な環境条件でコンポーネントを正確に稼働
    • オプティクス&分光:低温環境や強磁場において共焦点顕微鏡やナノスケール分光による量子ドット、NV中心、2Dマテリアル、ナノワイヤなどの素材研究
    • 材料科学:大気、低温、強磁場環境における材料特性研究のための顕微鏡やナノスケール分析システム
    • ラボ検査:材料変形や振動分析などのラボ検査や研究用途
    • ビームラインレーザ干渉式変位センサ やナノポジショニング製品を用いた統合セットアップでの超高精度ポジショニング
    • 表面科学:mKまでのさまざまな温度や強磁場におけるナノスケールの表面特性研究のためのイメージングやスキャンプローブ顕微鏡
    • ナノ精度位置決め:実験セットアップや統合システムにおけるサンプルやコンポーネントの正確な位置決め

導入例