LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

• X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
• 最大1500μmのロングトラベル達成
• クローズドループオプション
• 真空／極低温対応可能

piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング(nanopositioning)及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類(piezo stages)を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。

高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

X軸ステージ　PX, PU シリーズ

トップ／ボトムプレート付きのPXシリーズと、プレートのないブロックアクチュエータ PUシリーズの2シリーズがございます。

• 移動量： 38～1500μm（PX）, 40～100μm
• サイズ： 25×25～78x34mm²（PX）
• PX： センサ／真空オプション有
• PU： 縦／横取付可能
• ミリ秒の高速セッティング
• 優れた長時間位置安定性

Z軸ステージ　PZシリーズ

1nm未満の高い分解能を特長とするハイダイナミックレンジのZ軸ステージです。標準的なPZシリーズはトップ／ボトムプレート付き、PZ OEM 及び PZ D12 シリーズはユーザーセットアップへの組込みを意図したプレート無のデザインになっています。

• 移動量： 8～400μm
• 共振周波数 最高 3kHz
• 分解能（シングルステップ）： 0.02nm
• センサ／真空オプション有
• 高いZ軸平行度
• ドリフトやヒステリシスのない高い再現性

XY軸ステージ　PXYシリーズ

ピエゾアクチュエータを湾曲ヒンジ機構に組み込んだXYステージです。ナノメートルレベルの高い精度と、1軸当り 最高 700μmのロングトラベルを達成しています。また平行四辺形型の硬性ヒンジ採用で、機械的遊びのない平行度の高い動作が得られます。他の装置への組込みも容易で、中心穴には種々の光学素子をマウントできます。

• 移動量： 16～400μm
• トップ／ボトムプレート付き　PXY 38/100/200/201/400
• AFM, 計測用途に便利なL字型モデル PXY D12
• オプティクスやレーザーのポジショニングに最適な PXY15/16/36 及び Scan XY40
• 高速セッティング
• 優れた長時間位置安定性

XYZ軸ステージ　TRITOR シリーズ

超コンパクトの3次元ステージで、移動量はいずれの軸でも 最大400μm です。機械的な遊びのない平行度の高い動作が得られます。クローズドループも可能です。他の装置への組込みが容易で、研究用途からOEMまで幅広いアプリケーションに使用できます。

• 移動量： 9～400μm
• 中心穴付きまたは穴無しデザイン
• センサ付きフィードバックオプション
• コンパクトサイズ
• 1nm未満の高い分解能

5軸ステージ PENTOR

17mm 径の中心穴付き5軸傾きステージです。移動量は X, Y, Z軸で 100μm、直交する2つの傾き調整軸が ±2mrad です。

X, Y, Z軸動作は湾曲ヒンジ機構によるもので、高い平行度が得られます。各軸にはメカニカルプリロードが搭載され、ダイナミクス・アプリケーションに最適です。また温度変化に強く、傾き角度が周辺温度に影響されません。

硬性湾曲ヒンジの主要な部品はステンレス製、トップ／ボトムプレートはアルマイト製です。オプションとして、ひずみゲージ測定機構を搭載できます。

• X, Y, Z軸移動量： 100μm
• 傾き軸（2軸）移動量： ±2mrad
• 中心穴付き： 17mm径
• プリロード内蔵
• 機械的遊びのない高い平行度
• 測定機構搭載オプション

回転ステージ ROTOR

ピエゾ駆動による高い分解能と、高い中心軸精度をもつ1軸の低電圧回転ステージです。ステアリング及びスキャンレンジは 最大 11mrad です。力学的性能ににも優れ、コンパクトパッケージながら大荷重でも高精度な動作が得られます。また硬性湾曲ヒンジによるモノリシック・ガイドで、機械的遊びや摩擦が少なくなっています。

• 回転量： 最大 11mrad
• 優れた力学的性能
• 高い平行度
• 高い中心軸精度 0.2µrad
• 分解能 0.02µrad
• 3mm径開口
• 温度補正機能内蔵