ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)

Newport

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ。単軸/多軸、一体型/モジュール式、オープンループ/クローズドループを用途に応じて選択可能

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ
  • 一体型/モジュール型
  • オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ
  • Picomotor: 電源オフでもセット位置を保持
  • 手動軸、電動軸の混成構成可能
  • 30 nm 未満のナノポジショニング

Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能 高精度ステージを、種々取り揃えています。

シリーズ ベアリング モータ 駆動軸 移動量 最小移動量 耐荷重
(水平軸)
9062
9063
ゴシック
アーク
Picomotor X, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
12.7 mm
25.4 mm
<30 nm 173 N
9061 ゴシック
アーク
Picomotor X, Y, XY 5 mm <100 nm 13 N
9064
9065
アルミ製
ボール
ベアリング
Picomotor X, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
5 mm <100 nm 13 N
9066
9067
クロスローラ Picomotor X, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
12.7 mm
25.4 mm
<30 nm
Picolis クロスローラ Picomotor X, XY,
XZ, XYZ
15 mm <30 nm 11N
9066-
COM-E-M
9067-
COM-E-M
クロスローラ Closedloop-
Picomotor
X 12.7 mm
25.4 mm
80 nm
Agilis リニア
ボール
ベアリング
ピエゾモータ X, XY,
XZ, XYZ
12 mm
27 mm
50 nm
100 nm
4N
NPX フレクシャ
ガイド機構
ピエゾモータ X, XY, XYZ 0.1 mm
0.2 mm
0.4 mm
0.4 nm
(openloop)
TOPに戻る