ナノポジショニング・リニアステージ（ピエゾ駆動直進ステージ）

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ。単軸/多軸、一体型/モジュール式、オープンループ/クローズドループを用途に応じて選択可能

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Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能高精度ステージを、種々取り揃えています。

シリーズ	ベアリング	モータ	駆動軸	移動量	最小移動量	耐荷重 (水平軸)
9062 9063	ゴシックアーク	Picomotor	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	12.7 mm 25.4 mm	<30 nm	173 N
9061	ゴシックアーク	Picomotor	X, Y, XY	5 mm	<100 nm	13 N
9064 9065	アルミ製ボールベアリング	Picomotor	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	5 mm	<100 nm	13 N
9066 9067	クロスローラ	Picomotor	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	12.7 mm 25.4 mm	<30 nm	–
Picolis	クロスローラ	Picomotor	X, XY, XZ, XYZ	15 mm	<30 nm	11N
9066- COM-E-M 9067- COM-E-M	クロスローラ	Closedloop- Picomotor	X	12.7 mm 25.4 mm	80 nm	–
Agilis	リニアボールベアリング	ピエゾモータ	X, XY, XZ, XYZ	12 mm 27 mm	50 nm 100 nm	4N
NPX	フレクシャガイド機構	ピエゾモータ	X, XY, XYZ	0.1 mm 0.2 mm 0.4 mm	0.4 nm (openloop)	–