ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)
ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ
- 一体型/モジュール型
- オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ
- Picomotor: 電源オフでもセット位置を保持
- 手動軸、電動軸の混成構成可能
- 30 nm 未満のナノポジショニング
Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能 高精度ステージを、種々取り揃えています。
シリーズ | ベアリング | モータ | 駆動軸 | 移動量 | 最小移動量 | 耐荷重 (水平軸) |
|
---|---|---|---|---|---|---|---|
9062 9063 |
![]() |
ゴシック アーク |
Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ |
12.7 mm 25.4 mm |
<30 nm | 173 N |
9061 | ![]() |
ゴシック アーク |
Picomotor | X, Y, XY | 5 mm | <100 nm | 13 N |
9064 9065 |
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アルミ製 ボール ベアリング |
Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ |
5 mm | <100 nm | 13 N |
9066 9067 |
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クロスローラ | Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ |
12.7 mm 25.4 mm |
<30 nm | – |
Picolis | ![]() |
クロスローラ | Picomotor | X, XY, XZ, XYZ |
15 mm | <30 nm | 11N |
9066- COM-E-M 9067- COM-E-M |
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クロスローラ | Closedloop- Picomotor |
X | 12.7 mm 25.4 mm |
80 nm | – |
Agilis | ![]() |
リニア ボール ベアリング |
ピエゾモータ | X, XY, XZ, XYZ |
12 mm 27 mm |
50 nm 100 nm |
4N |
NPX | ![]() |
フレクシャ ガイド機構 |
ピエゾモータ | X, XY, XYZ | 0.1 mm 0.2 mm 0.4 mm |
0.4 nm (openloop) |
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