ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ
- 一体型/モジュール型
- オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ
- Picomotor： 電源オフでもセット位置を保持
- 手動軸、電動軸の混成構成可能
- 30 nm 未満のナノポジショニング
Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能 高精度ステージを、種々取り揃えています。
| シリーズ | ベアリング | モータ | 駆動軸 | 移動量 | 最小移動量 | 耐荷重 (水平軸) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 9062 9063 |  | ゴシック アーク | Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | 12.7 mm 25.4 mm | <30 nm | 173 N |
| 9061 |  | ゴシック アーク | Picomotor | X, Y, XY | 5 mm | <100 nm | 13 N |
| 9064 9065 |  | アルミ製 ボール ベアリング | Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | 5 mm | <100 nm | 13 N |
| 9066 9067 |  | クロスローラ | Picomotor | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | 12.7 mm 25.4 mm | <30 nm | – |
| Picolis |  | クロスローラ | Picomotor | X, XY, XZ, XYZ | 15 mm | <30 nm | 11N |
| 9066- COM-E-M 9067- COM-E-M |  | クロスローラ | Closedloop- Picomotor | X | 12.7 mm 25.4 mm | 80 nm | – |
| Agilis |  | リニア ボール ベアリング | ピエゾモータ | X, XY, XZ, XYZ | 12 mm 27 mm | 50 nm 100 nm | 4N |
| NPX |  | フレクシャ ガイド機構 | ピエゾモータ | X, XY, XYZ | 0.1 mm 0.2 mm 0.4 mm | 0.4 nm (openloop) | – |
