ナノポジショニング・リニアステージ(ピエゾ駆動直進ステージ)

Newport

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ。単軸/多軸、一体型/モジュール式、オープンループ/クローズドループを用途に応じて選択可能

ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ
  • 一体型/モジュール型
  • オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ
  • Picomotor: 電源オフでもセット位置を保持
  • 手動軸、電動軸の混成構成可能
  • 30 nm 未満のナノポジショニング

Picomotorまたはピエゾモータ使用のナノメートル分解能 高精度ステージを、種々取り揃えています。

シリーズベアリングモータ駆動軸移動量最小移動量耐荷重
(水平軸)
9062
9063
ゴシック
アーク
PicomotorX, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
12.7 mm
25.4 mm
<30 nm173 N
9061ゴシック
アーク
PicomotorX, Y, XY5 mm<100 nm13 N
9064
9065
アルミ製
ボール
ベアリング
PicomotorX, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
5 mm<100 nm13 N
9066
9067
クロスローラPicomotorX, Y, Z,
XY, XZ,
YZ, XYZ
12.7 mm
25.4 mm
<30 nm
PicolisクロスローラPicomotorX, XY,
XZ, XYZ
15 mm<30 nm11N
9066-
COM-E-M
9067-
COM-E-M
クロスローラClosedloop-
Picomotor
X12.7 mm
25.4 mm
80 nm
Agilisリニア
ボール
ベアリング
ピエゾモータX, XY,
XZ, XYZ
12 mm
27 mm
50 nm
100 nm
4N
NPXフレクシャ
ガイド機構
ピエゾモータX, XY, XYZ0.1 mm
0.2 mm
0.4 mm
0.4 nm
(openloop)
TOPに戻る