多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ

• 数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
• 長寿命
• クローズドループ対応
• 真空、極低温対応

多層セラミックを用いたスタック・アクチュエータ(piezo actuators)は、特殊エポキシシーリングにより、高い柔軟性と長寿命を実現しています。セラミックスタックのサイズに依存して、アクチュエータの耐負荷量は数kNまで高めることができます。分解能はピエゾ素子の特徴によってシグナルノイズにのみ制限されるため、高い耐負荷量でも高い分解能を保持できます。

piezosystem jena 社のスタックアクチュエータは、ナノポジショニング(nanopositioning)、測量、高速バルブ作動、ミラーの移動や傾き調整、ファイバストレッチング、オシレーション発生、除振など、広い分野で応用されています。オプションでひずみゲージ・フィードバックセンサがご利用いただけます。また真空や極低温にも対応可能です。