スタック・アクチュエータ

piezosystem jena

多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ。数kNもの高い耐負荷重と、1nm未満の高い分解能を同時に実現。

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多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ

  • 様々な用途に対応する豊富なスタックアクチュエータラインアップ
  • 動作範囲は2μmから260μm
  • 機構的になプリロードが可能
  • 最大50,000Nの荷重を発生
  • ハウジングありの製品ではステンレス製ハウジングを使用可能
  • ねじ込み式とハーメチックシール式のオプションあり。

多層セラミックを用いたスタック型ピエゾアクチュエータは、1軸で小型・高精度・高速の繰り返し動作が可能なアクチュエータです。また、非常に長寿命であり、振動・衝撃試験用として非常に大きな重量を移動させることが可能なモデルもご用意いたしました。複数のセラミック層を使って作られています。特殊なエポキシ樹脂の封止により、柔軟で長寿命の保護が実現。本技術は、長年の豊富な経験から現場で証明済です。セラミックスタックのサイズにも依存しますが、これらのアクチュエータは数kNの質量を動かすことができます。分解能は、アンプの信号ノイズによってのみ制限されます。オプションでひずみゲージ・フィードバックセンサがご利用いただけます。また真空や極低温にも対応可能です。

  • ナノ位置決め
  • 測量計測
  • 高速バルブ作動
  • ミラーの移動や傾き調整
  • ファイバストレッチング
  • オシレーション発生
  • 除振

hpower shockシリーズ

製品名動作距離(μm)ブロッキングフォース(N)電圧(V)共振周波数(kHz)
PIA 1000/16/150150810007
PIA 1000/35/808035100021

hpower shakeシリーズ

製品名動作距離(μm)ブロッキングフォース(N)容量(nF)剛性(N/μm)共振周波数(kHz)
PiSha 150/35/115000300400040
PiSha 150/16/33180015040030
PiSha150/35/80127500330045023
PiSha 1000/10/252540008510030

hpowerアクチュエータ

製品名動作距離(μm)容量(nF)剛性(N/μm)共振周波数(kHz)
PSt 1000/35/0772030060
PSt 1000/35/80 80330045015
PSt 1000/16/7 VS2576080040
PSt 1000/35/150 VS4515057002207

シリーズPAHS

製品名製品番号動作距離(μm)-20~130V*容量(nF)**
PAHS180 SG DIGP-503-01D18814
PAHS240P-505-0025020

*代表値は、0.3mVのコントローラーで測定したものです。**電界強度が小さい場合の代表値です。

シリーズP/S

製品名製品番号動作距離(μm)(±10%)*容量(nF)(±20%)**剛性(N/μm)
P18/S08P-752-30180.511.1
P50/S13P-755-00504.516
P7/S22P-757-507021.648.6

*NV40/3アンプで測定した代表値です。**電界強度が小さい場合の代表値です。

シリーズPA, PA/T, PAHL

製品名製品番号オープンループ動作距離(μm)(-10/+20%)*クローズドループ動作距離(μm)(±0.2%)*容量(nF)(±20%)**剛性(N/μm)
PA 8/14B-201-00100.885
PA 120/14B-214-0014012.66
PA 8/14 SGB-201-0180.885
PA 120/14 SGB-214-0111212.66

*NV 40/3 (クローズドループ NV 40/3 CLE)で測定した代表値です。**電界強度が小さい場合の代表値です。

シリーズP, PHL

製品名製品番号動作距離(μm)(-10/+20%)*容量(nF)(±20%)**剛性(N/μm)
P 8/8P-101-0090.1822
P 80/10P-117-00827.210
PHL 18/20P-141-00207175
PHL 100/20P-145-001033435

シリーズN

製品名製品番号動作距離(μm)(±10%)*容量(nF)(±20%)**剛性(N/μm)
N 2/5P-211-0020.1250
N 25/S3.5P-217-40301.214
N 100/S5P-207-401039.08
N 120/S10P-237-4012336.428
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