スタック・アクチュエータ

piezosystem jena

多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ。数kNもの高い耐負荷重と、1nm未満の高い分解能を同時に実現。

多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ
  • 数kNもの高い耐負荷量と1nm未満の高分解能を同時に実現
  • 長寿命
  • クローズドループ対応
  • 真空、極低温対応

多層セラミックを用いたスタック・アクチュエータ(piezo actuators)は、特殊エポキシシーリングにより、高い柔軟性と長寿命を実現しています。セラミックスタックのサイズに依存して、アクチュエータの耐負荷量は数kNまで高めることができます。分解能はピエゾ素子の特徴によってシグナルノイズにのみ制限されるため、高い耐負荷量でも高い分解能を保持できます。

piezosystem jena 社のスタックアクチュエータは、ナノポジショニング(nanopositioning)、測量、高速バルブ作動、ミラーの移動や傾き調整、ファイバストレッチング、オシレーション発生、除振など、広い分野で応用されています。オプションでひずみゲージ・フィードバックセンサがご利用いただけます。また真空や極低温にも対応可能です。

シリーズ N P PA
  ハウジング無しピエゾアクチュエータ Nシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ Pシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PAシリーズ
動作距離 2~123μm 9~82μm 最大220μm
最大発生力 3500N 850N 850N
最大電圧 +130V +130V
ハウジング – ケースなし
– 10cm 長ケーブル付属
– プリロード付き
– プリロード無し
– ステンレス製ケース
– メカニカルプリロード付き
– ステンレス製ケース
用途 動的用途 静的用途 動的用途
シリーズ PA/T PHL PAHL
  ケース付きスタックアクチュエータ PA/Tシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PHLシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PAHLシリーズ
動作距離 42~105μm 20~103μm 21~200μm
最大発生力 850N 3500N 3500N
最大電圧 +130V +130V +130V
ハウジング – ネジ山付き(M14x1)
– ステンレス製ケース
– メカニカルプリロード付き
– ケース付き – 高耐荷重
– ステンレス製ケース
用途 動的用途 静的用途 動的用途
シリーズ HP/HPA P/S R/RA
  ケース付きスタックアクチュエータ HP/HPAシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ P/Sシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ R/RAシリーズ
動作距離 40~260μm 18~70μm 12~50μm
最大発生力 70000N 3400N 4000N
最大電圧 1000V +130V +130V
ハウジング – 高耐荷重
– ステンレス製ケース
– ハーメチックシールド
– ステンレス製ケース
– ステンレス製ケース
– またはケース無し
– 内径:最大12mm
用途 大きな荷重 低負荷の動的用途 レーザー共振器
シリーズ N P PA
  ハウジング無しピエゾアクチュエータ Nシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ Pシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PAシリーズ
動作距離 2~123μm 9~82μm 最大220μm
最大発生力 3500N 850N 850N
最大電圧 +130V +130V
ハウジング – ケースなし
– 10cm 長ケーブル付属
– プリロード付き
– プリロード無し
– ステンレス製ケース
– メカニカルプリロード付き
– ステンレス製ケース
用途 動的用途 静的用途 動的用途
シリーズ PA/T PHL PAHL
  ケース付きスタックアクチュエータ PA/Tシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PHLシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ PAHLシリーズ
動作距離 42~105μm 20~103μm 21~200μm
最大発生力 850N 3500N 3500N
最大電圧 +130V +130V +130V
ハウジング – ネジ山付き(M14x1)
– ステンレス製ケース
– メカニカルプリロード付き
– ケース付き – 高耐荷重
– ステンレス製ケース
用途 動的用途 静的用途 動的用途
シリーズ HP/HPA P/S R/RA
  ケース付きスタックアクチュエータ HP/HPAシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ P/Sシリーズ ケース付きスタックアクチュエータ R/RAシリーズ
動作距離 40~260μm 18~70μm 12~50μm
最大発生力 70000N 3400N 4000N
最大電圧 1000V +130V +130V
ハウジング – 高耐荷重
– ステンレス製ケース
– ハーメチックシールド
– ステンレス製ケース
– ステンレス製ケース
– またはケース無し
– 内径:最大12mm
用途 大きな荷重 低負荷の動的用途 レーザー共振器
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