スタック・アクチュエータ
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多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ
- 様々な用途に対応する豊富なスタックアクチュエータラインアップ
- 動作範囲は2μmから260μm
- 機構的になプリロードが可能
- 最大50,000Nの荷重を発生
- ハウジングありの製品ではステンレス製ハウジングを使用可能
- ねじ込み式とハーメチックシール式のオプションあり。
多層セラミックを用いたスタック型ピエゾアクチュエータは、1軸で小型・高精度・高速の繰り返し動作が可能なアクチュエータです。また、非常に長寿命であり、振動・衝撃試験用として非常に大きな重量を移動させることが可能なモデルもご用意いたしました。複数のセラミック層を使って作られています。特殊なエポキシ樹脂の封止により、柔軟で長寿命の保護が実現。本技術は、長年の豊富な経験から現場で証明済です。セラミックスタックのサイズにも依存しますが、これらのアクチュエータは数kNの質量を動かすことができます。分解能は、アンプの信号ノイズによってのみ制限されます。オプションでひずみゲージ・フィードバックセンサがご利用いただけます。また真空や極低温にも対応可能です。
- ナノ位置決め
- 測量計測
- 高速バルブ作動
- ミラーの移動や傾き調整
- ファイバストレッチング
- オシレーション発生
- 除振
hpower shockシリーズ
製品名 | 動作距離(μm) | ブロッキングフォース(N) | 電圧(V) | 共振周波数(kHz) |
---|---|---|---|---|
PIA 1000/16/150 | 150 | 8 | 1000 | 7 |
PIA 1000/35/80 | 80 | 35 | 1000 | 21 |
hpower shakeシリーズ
製品名 | 動作距離(μm) | ブロッキングフォース(N) | 容量(nF) | 剛性(N/μm) | 共振周波数(kHz) |
---|---|---|---|---|---|
PiSha 150/35/1 | 1 | 5000 | 300 | 4000 | 40 |
PiSha 150/16/3 | 3 | 1800 | 150 | 400 | 30 |
PiSha150/35/80 | 12 | 7500 | 3300 | 450 | 23 |
PiSha 1000/10/25 | 25 | 4000 | 85 | 100 | 30 |
hpowerアクチュエータ
製品名 | 動作距離(μm) | 容量(nF) | 剛性(N/μm) | 共振周波数(kHz) |
---|---|---|---|---|
PSt 1000/35/07 | 7 | 20 | 300 | 60 |
PSt 1000/35/80 | 80 | 3300 | 450 | 15 |
PSt 1000/16/7 VS25 | 7 | 60 | 800 | 40 |
PSt 1000/35/150 VS45 | 150 | 5700 | 220 | 7 |
シリーズPAHS
製品名 | 製品番号 | 動作距離(μm)-20~130V* | 容量(nF)** |
---|---|---|---|
PAHS180 SG DIG | P-503-01D | 188 | 14 |
PAHS240 | P-505-00 | 250 | 20 |
*代表値は、0.3mVのコントローラーで測定したものです。**電界強度が小さい場合の代表値です。
シリーズP/S
製品名 | 製品番号 | 動作距離(μm)(±10%)* | 容量(nF)(±20%)** | 剛性(N/μm) |
---|---|---|---|---|
P18/S08 | P-752-30 | 18 | 0.5 | 11.1 |
P50/S13 | P-755-00 | 50 | 4.5 | 16 |
P7/S22 | P-757-50 | 70 | 21.6 | 48.6 |
*NV40/3アンプで測定した代表値です。**電界強度が小さい場合の代表値です。
シリーズPA, PA/T, PAHL
製品名 | 製品番号 | オープンループ動作距離(μm)(-10/+20%)* | クローズドループ動作距離(μm)(±0.2%)* | 容量(nF)(±20%)** | 剛性(N/μm) |
---|---|---|---|---|---|
PA 8/14 | B-201-00 | 10 | – | 0.8 | 85 |
PA 120/14 | B-214-00 | 140 | – | 12.6 | 6 |
PA 8/14 SG | B-201-01 | – | 8 | 0.8 | 85 |
PA 120/14 SG | B-214-01 | – | 112 | 12.6 | 6 |
*NV 40/3 (クローズドループ NV 40/3 CLE)で測定した代表値です。**電界強度が小さい場合の代表値です。
シリーズP, PHL
製品名 | 製品番号 | 動作距離(μm)(-10/+20%)* | 容量(nF)(±20%)** | 剛性(N/μm) |
---|---|---|---|---|
P 8/8 | P-101-00 | 9 | 0.18 | 22 |
P 80/10 | P-117-00 | 82 | 7.2 | 10 |
PHL 18/20 | P-141-00 | 20 | 7 | 175 |
PHL 100/20 | P-145-00 | 103 | 34 | 35 |
シリーズN
製品名 | 製品番号 | 動作距離(μm)(±10%)* | 容量(nF)(±20%)** | 剛性(N/μm) |
---|---|---|---|---|
N 2/5 | P-211-00 | 2 | 0.1 | 250 |
N 25/S3.5 | P-217-40 | 30 | 1.2 | 14 |
N 100/S5 | P-207-40 | 103 | 9.0 | 8 |
N 120/S10 | P-237-40 | 123 | 36.4 | 28 |
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