製品情報

ミニマル規格※に準拠。コンパクトで可搬型ながら高解像度パターン観察を実現した、測長機能付SEM （※「ミニマル」は独立行政法人産業技術総合研究所の登録商標です。）

エアー式ディスペンサでは実現不可能な細線描画、ピエゾ式インクジェットでは不可能な高粘度吐出を可能にする従来の常識を覆した高機能パターニング技術。

400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます

極微量滴下を可能にしたツインエアー方式。独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し

実体顕微鏡下での手作業に最適なマイクロ・ハンドディスペンサ

破片粒子の少ないレーザー切断を実現。リチウムイオン電池の電極加工に好適。

高速・微細な多穴加工（円および四角形状）

レーザー加工の幅広い要求に柔軟に対応、カスタマイズ性、信頼性、品質に優れたレーザー加工ヘッドです。

高性能コンパクトな A シリーズ プラットフォームは、ナノ秒、ピコ秒、またはフェムト秒パルス レーザーを搭載できるレーザー マイクロマシニング設備です。

100Wと200Wモデルがございます。200Wモデルは錆取りや塗装膜除去に最適なレーザーを搭載しております。

世界初、マスクレス微細加工のための2光子グレースケール・リソグラフィシステム。屈折型、回折型マイクロ光学素子製造のための最先端装置。

ナノ秒パルスファイバーレーザー使用 高速＆高品質 表面クリーニングを実現。100W or 200W出力モデル。コーティング除去、サビ取り、塗装の剥離に活用いただけます。

レーザー加工システム制御用のオールインワン・ソリューション。パラメータを入力してクリックするだけの、特別なスキルがいらない簡易操作ソフトウェア。

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定（KFM、C-AFM)などに強みがあります。

AFM 超高感度電流増幅器

AFMの一つのモード、ソフトレジスコープを使用すると、脆弱で壊れやすい導電性サンプルの抵抗と電流を測定できます。 ソフトレジスコープモードでチップに適用される特定の垂直方向の動きは、接触時の電気的測定を最適化し、チップとサンプルを保持します。 市場で入手可能な他の振動技術とは異なり、ソフト抵抗器はサイクル中一定の力で電流/抵抗を測定します。 電気的測定は、AFM接触モードで行われた測定と同等ですが、より壊れやすいサンプルを測定が可能です。

最高の耐摩耗性と電気的性能を提供する高導電性ダイヤモンドプローブ（ダイヤモンドAFMカンチレバー）