ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム
6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。
- 6軸を制御する統合型位置決めステージ
- 軽量かつコンパクト
- Z軸での高い剛性を実現
- モーション誤差を蓄積がありません。
- 可動用のケーブル無。
- 軌道制御 Right PathTMでの
- 2つの仮想回転中心をソフトウェアで設定可能
- 中心耐荷重は 5, 6, 20, 450 kg
- 各種タイプのヘキサポッドをラインアップ:高精密、高精度、高耐荷重、真空対応 (10-6 hPa) バージョン
Newport(ニューポート)社のヘキサポッドは、6つの自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)を提供するパラレルキネマティックモーション装置です。ヘキサポッドは最大6つの軸を駆動できるため、高い耐荷重と精度を必要とする複雑なモーションのアプリケーションに適した精巧で効果的なソリューションです。
Newport社のヘキサポッドは、高性能でありながら、手頃な価格で非常に使い易い製品です。55年以上にわたって実証されてきた高性能なアクチュエータ6台を使用して駆動されます。
アクチュエータの品質がヘキサポッドの全体的なモーション性能に大きな影響を与えることは明らかですが、ベースと可動式の上板にアクチュエータを接続する継手も同様に重要です。Newportのエンジニアは、通常のユニバーサルジョイントよりもはるかに高い剛性を実現する革新的なジョイントデザインを考案しました。その結果、Newport社のヘキサポッドは他社の同サイズのヘキサポッドと比較して、5倍以上の剛性と2倍以上の耐荷重を達成しました。
無料の Hexavizシミュレーションソフトウェア のシミュレーションモードで、すべてのヘキサポッドのテストが可能です。
高精密ヘキサポッド
高精度ヘキサポッド
高耐荷重ヘキサポッド
真空対応ヘキサポッド
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- 光学用途、および付随するアセンブリと試験
- AEDシミュレーション
- 天文学
- バイオテクノロジ、外科手術
- X線回析
- マイクロマシニング、顕微操作
モデル | サイズ (mm) | 直線移動量, X, Y, Z | 角度移動量, ΘX, ΘY, ΘZ | 最小 直線移動量, X, Y, Z | 最小 角度移動量, ΘX, ΘY, ΘZ | 中心 耐荷重 | 特記 |
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HXP100-MECA | Ø300 x 209 mm | ±27.5 mm ±25 mm ±14 mm | ±11.5° ±10.5° ±19° | 0.5 µm 0.5 µm 0.25 µm | 0.00025° 0.00025° 0.0005° | 20 kg | |
HXP1000-MECA | Ø550 x 395 mm | -62/+93 mm ±69 mm ±39.5 mm | ±11° ±10 ° ±19.5° | 0.3 µm 0.3 µm 0.16 µm | 0.00006° 0.00006° 0.0001° | 450 kg | |
HXP100HA-MECA | Ø300 x 209 mm | ±27.5 mm ±25 mm ±14 mm | ±11.5° ±10.5° ±19° | 0.5 µm 0.5 µm 0.25 µm | 0.00025° 0.00025° 0.0005° | 20 kg | 絶対精度保証: X±10μm, Y±10μm, Z±5μm ピッチ&ヨー±75μrad |
HXP100P-MECA | Ø300 x 209 mm | ±27.5 mm ±25 mm ±14 mm | ±11.5° ±10.5° ±19° | 0.1 µm 0.1 µm 0.05 µm | 0.00005° 0.00005° 0.0001° | 6 kg | |
HXP100PHA-MECA | Ø300 x 209 mm | ±27.5 mm ±25 mm ±14 mm | ±11.5° ±10.5° ±19° | 0.1 µm 0.1 µm 0.05 µm | 0.00005° 0.00005° 0.0001° | 6 kg | 絶対精度保証: X±5.0μm, Y±5.0μm, Z±2.5μm ピッチ±37μrad,ヨー±37.5μrad |
HXP100V6-MECA | Ø300 x 209 mm | ±27.5 mm ±25 mm ±14 mm | ±11.5° ±10.5° ±19° | 0.5 µm 0.5 µm 0.25 µm | 0.00025° 0.00025° 0.0005° | 20 kg | 真空対応 |
HXP50-MECA | Ø200 x 151 mm | ±17 mm ±15 mm ±7 mm | ±9° ±8.5° ±18° | 0.1 µm 0.1 µm 0.05 µm | 0.00005° 0.00005° 0.0001° | 5 kg | |
HXP50HA-MECA | Ø200 x 151 mm | ±17 mm ±15 mm ±7 mm | ±9° ±8.5° ±18° | 0.1 µm 0.1 µm 0.05 µm | 0.00005° 0.00005° 0.0001° | 5 kg | 絶対精度保証: X±5μm, Y±5μm, Z±2.5μm ピッチ&ヨー XY±50μm. Z±25μm |
HXP50V6-MECA | Ø200 x 151 mm | ±17 mm ±15 mm ±7 mm | ±9° ±8.5° ±18° | 0.2 µm 0.2 µm 0.1 µm | 0.0001° 0.0001° 0.0002° | 5 kg | 真空対応 |
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