ヘキサポッド 6軸平行キネマティックポジショニングシステム

Newport

6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と高精度を提供する6軸自由度ステージ。

6軸(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)動作。複雑なモーションコントロールに高い耐荷重と精度を提供。

 

  • 6軸を個々にコントロールする統合型ポジショナ
  • 軽量&コンパクトでありながら高剛性(特にZ軸)を実現
  • モーション誤差の蓄積なし
  • 可動ケーブルなし
  • Right PathTM 軌道制御
  • ソフトウェア設定の2つの仮想回転中心
  • 中心耐荷重: 5, 6, 20, 450 kg
  • タイプ:高精密、高精度、高耐荷重、真空対応

 

Newport(ニューポート)社のヘキサポッドは、6つの自由度(X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー)を提供するパラレルキネマティックモーション装置です。ヘキサポッドは最大6つの軸を駆動できるため、高い耐荷重と精度を必要とする複雑なモーションのアプリケーションに適した精巧で効果的なソリューションです。

 

Newport社のヘキサポッドは、高性能でありながら、手頃な価格で非常に使い易い製品です。55年以上にわたって実証されてきた高性能なアクチュエータ6台を使用して駆動されます。

 

アクチュエータの品質がヘキサポッドの全体的なモーション性能に大きな影響を与えることは明らかですが、ベースと可動式の上板にアクチュエータを接続する継手も同様に重要です。同社のエンジニアは、通常のユニバーサルジョイントよりもはるかに高い剛性を提供する革新的なジョイントデザインを考案しました。その結果、Newport社のヘキサポッドは他社の同サイズのヘキサポッドと比較して、5倍以上の剛性と2倍以上の耐荷重を達成しました。

 

無料の Hexavizシミュレーションソフトウェア のシミュレーションモードで、すべてのヘキサポッドをテストできます。

 

高精密ヘキサポッド


最小移動量が小さく精密なモーションコントロールが可能

  • 1台のデバイスを6つの軸で駆動
  • 軽量、小型、堅牢
  • 可動ケーブル無し


高精度ヘキサポッド


高精密タイプに精度保証を追加。精密かつ正確な位置決めが可能

  • xyz 精度値を保証
  • 軸モーション中のピッチ偏差およびヨー偏差を保証
  • サイズと荷重量違いで3モデル


高耐荷重ヘキサポッド


桁違いの中心耐荷重容量。500, 850, 4500 N の3モデル

  • 中心荷重量 最大 450 kg
  • 高速、長い可動距離
  • 堅牢、高い安定性


真空対応ヘキサポッド


10-6 hPa までの真空対応モデル

  • 真空対応 10-6 hPa.
  • 直径 200 mm または 300 mm
  • 1台のデバイスを6つの軸で駆動


ヘキサポッド・コントローラ


  • ヘキサポッド用コントローラ&ドライバ
  • HXP+2 2つのステージを追加可能
  • RightPathTM:等速モーションにおける軌道を制御可能
  • 回転中心を設定可能


  • 光学用途、および付随するアセンブリと試験
  • AEDシミュレーション
  • 天文学
  • バイオテクノロジ、外科手術
  • X線回析
  • マイクロマシニング、顕微操作

モデル サイズ (mm) 直線移動量,
X, Y, Z
角度移動量,
ΘX, ΘY, ΘZ
最小
直線移動量,
X, Y, Z
最小
角度移動量,
ΘX, ΘY, ΘZ
中心
耐荷重
特記
HXP100-MECA Ø300 x 196 ±27.5 mm
±25 mm
±14 mm
±11.5°
±10.5°
±19°
0.5 µm
0.5 µm
0.25 µm
0.00025°
0.00025°
0.0005°
20 kg  
HXP1000-MECA Ø550 x 395 +93/-62 mm
±69 mm
±39.5 mm
±11°
±10
°
±19.5°
0.3 µm
0.3 µm
0.16 µm
0.00006°
0.00006°
0.0001°
450 kg  
HXP100HA-MECA Ø300 x 196 ±27.5 mm
±25 mm
±14 mm
±11.5°
±10.5°
±19°
0.5 µm
0.5 µm
0.25 µm
0.00025°
0.00025°
0.0005°
20 kg 絶対精度保証:
X20μm, Y20μm, Z10μm
ピッチ&ヨー150μrad
HXP100P-MECA Ø300 x 209 ±27.5 mm
±25 mm
±14 mm
±11.5°
±10.5°
±19°
0.1 µm
0.1 µm
0.05 µm
0.00005°
0.00005°
0.0001°
6 kg  
HXP100PHA-MECA Ø300 x 209 ±27.5 mm
±25 mm
±14 mm
±11.5°
±10.5°
±19°
0.1 µm
0.1 µm
0.05 µm
0.00005°
0.00005°
0.0001°
6 kg 絶対精度保証:
X10μm, Y10μm, Z5μm
ピッチ&ヨー75μrad
HXP100V6-MECA Ø300 x 196 ±29 mm
±26 mm
-1 to +27 mm
±12°
±10°
±20°
1 µm
1 µm
0.5 µm
0.0005°
0.0005°
0.005°
20 kg 真空対応
HXP50-MECA Ø200 x 151 ±17 mm
±15 mm
±7 mm
±9°
±8.5°
±18°
0.1 µm
0.1 µm
0.05 µm
0.00005°
0.00005°
0.0001°
5 kg  
HXP50HA-MECA Ø200 x 151 ±17 mm
±15 mm
±7 mm
±9°
±8.5°
±18°
0.1 µm
0.1 µm
0.05 µm
0.00005°
0.00005°
0.0001°
5 kg 絶対精度保証:
X10μm, Y10μm, Z5μm
ピッチ&ヨーXY100μm. Z50μm
HXP50V6-MECA Ø200 x 151 ±17 mm
±15 mm
±7 mm
±9°
±8.5°
±18°
0.2/0.8 µm
0.2/0.8 µm
0.1/0.4 µm
0.0001/0.0004°
0.0001/0.0004°
0.0002/0.0008°
5 kg 真空対応

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