レーザー超音波非破壊検査装置

Intelligent Optical Systems

レーザー超音波による非接触非破壊検査/非接触厚さ測定

レーザー超音波による非接触非破壊検査/非接触厚さ測定

  • ファイバー接続された小型レシーバーヘッド
  • アイセーフなレーザー波長 1550nm使用
  • 可視光ガイド搭載
  • 非接触 完全リモート
  • 高温ワーク・高速移動ワークにも適用可。インラインモニタとして対応
  • 曲面、奥まった箇所、そして放射線区域などの危険区域などでも適用可
  • ファイバー接続された小型レシーバーヘッドでフレキシブルな構成

レーザー超音波法(パルスレーザーを検査対象物の表面に照射することによって発生する超音波を利用する方法)を用いて、対象物の内部異常・欠陥などを検査する非破壊検査装置す。

表面に照射されたパルスレーザーによって発生したパルスは、物質内部の異常部位・欠陥部に到達した後、再び表面に戻ってきて、表面状態に微小な変位を生じさせます。この微小な変位をプローブ用のレーザーを利用してレシーバーに取込むことで欠陥検出を行うことができます。欠陥検査のほか、超音波の到達時間を測定することにより、完全非接触な厚さ測定をすることも可能です。

※非破壊検査、厚さ測定への応用だけでなく、RF- MEMS、BAW/SAWデバイスの挙動を解析する装置としてもお使いいただけます。

 

自動車・航空機・造船・石油・ガス・製鉄・電子部品・半導体などの業界で、

  • 石油・ガスパイプラインなどの傷検査
  • 高温対象物の厚み測定(高温パイプ(熱管)、ガラス容器、セラミックなどの厚さ測定)
  • 溶接部品、電子部品、半導体パッケージなどの欠陥検査
表面変位感度 4×10-7 nm rms (W/Hz)1/2
検出器帯域幅 125MHz or 1GHz
カットオフ周波数 ~1kHz
プローブレーザー 60mWのDFB半導体レーザーまたは最大2Wのファイバーレーザー
超音波発生用レーザー 50~400mJ@1064nmのパルスYAGレーザー