表面形状・粗さ
AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ
MikroMasch
シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。
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FM Nanoview Op AFM 光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム
FSM Precision
光学顕微鏡を備えたAFMのプラットフォーム。高速走査かつ高分解能、原子力間顕微鏡によるイメージングを実現。空中や液体中での測定に対応。
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装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor
SENSOFAR Metrology
S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・白色干渉計・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。
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