FM Nanoview Op AFM 光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム

FSM Precision

光学顕微鏡を備えたAFMのプラットフォーム。高速走査かつ高分解能、原子力間顕微鏡によるイメージングを実現。空中や液体中での測定に対応。

光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム

  • 光学顕微鏡を備えたAFMプラットフォームです。光学顕微鏡観察をしたエリアを狙い、原子間力顕微鏡によるイメージングを実施できます。
  • 垂直光路設計を採用し、気液両用プローブホルダーは空気中でも液体中でも同時に使用できます。(要 液中測定オプション)
  • 簡便なレーザーアライメント作業
  • 空気ばね式除振機構(オプション)と組み合わせることによりノイズ対策が取れます。
仕様
標準動作モード接点、タッピング、フェーズ
オプションモードMFM、EFM、LFM
その他オプション液中測定、温度制御ステージ、雰囲気制御用モジュール
XY軸走査範囲50µm、70µm、100µmスキャナから選択可能
Z軸走査範囲5µm、7µm、10μm<
分解能XY:0.2nm、Y:0.05nm
最大サンプルサイズΦ≤90mm、H≤20mm
サンプルステージ移動範囲20mm
対物レンズ5x、10x、20x、50x Plan APOレンズ
接眼レンズ10x
光源LED
顕微鏡フォーカス手動
カメラ300メガピクセル、デジタルCCD
CCDモニタ11.6インチ
走査速度0.6 – 4.3Hz
走査角度0 – 360°
OSWindows
寸法測定ユニット 450x500x780 mm
コントローラー 430x380x150 mm
重量測定ユニット 47kg
コントローラー 4kg
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