製品情報

基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置

VisiVector PIVシステムには、PIV計測を行うための様々なアクセサリーがあります

粉体やペレット・サンプル中の異物を検出 (サイズ, 形状分析による)。粒子のサイズ、色、形状を高速に評価。多彩なサンプル搬送ユニット (乾式, 湿式, ステージ 等)。オフライン、オンラインの両方に対応可能。

高濃度対応 インラインSS（浮遊物質測定）・濁度　計測 後方光散乱方式採用 過酷な環境下でもメンテフリーで使用可能な堅牢デザイン

実際の粒子映像を使用して、粒子サイズや速度とその分布を正確に自動測定

長寿命LEDを搭載した光散乱原理の濁度計。センシティブな部品群を計測ラインから隔離したユニットに実装。過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザインの濁度計です。

インライン用の吸光光度計。プロセスの濃度・色測定に最適。 過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザイン。

キャリーケースで運搬のでき、取り扱いの簡単な小型軽量タイプ。粒径5μm～3,900μm。速度同時測定モデル

一般的な動的光散乱法とは異なり、光源とセンサを2つずつ用いる「クロスコリレーション法」を採用しています。そのため、高濃度な試料でも多重散乱の影響を排除した正確な測定が可能です。（測定範囲 0.5 nm～10 μm）

最新解析アルゴリズムと新特許光学系により、在来型や他方式を超える安定性と精度を実現。測定レンジ。サイズ：1μm ～15,600μm。速度：～1,000m/s@100μm

キャリーケースで運搬のできる、取り扱いの簡単な小型軽量タイプ。粒径5μm～3,900μm。速度同時測定モデル

粒度分布測定に関する受託測定やコンサルティングなど、様々なサービスをご提供いたします。

一般的な光学的手法では測定が困難な高濃度・高粘度の試料を、希釈することなく、インラインまたはオンラインで測定できます。ミリング、結晶化、重合、沈降、乳化などのプロセスを、リアルタイムに管理する用途に最適です。（測定粒子サイズ 1～3000 µm）

乾式測定における試料分散性能と測定再現性に優れており、凝集しやすい試料でも安定して測定できます。世界各国に多数の納入実績があり、製薬、化学、磁性体、食品などの様々な業界で採用されています。（測定範囲: 0.1～3500 µm）

パルスレーザーによる高速撮像によって多数の粒子を測定するため、個々の粒子を測定しながらも、統計的に信頼性の高い解析が可能です。全ての粒子画像が生データとして保存されるため、形状も定量的に解析できます。乾式・湿式を問わず多様な試料に対応します。（測定範囲 0.55～34000µm）

各社の多光子レーザー走査型顕微鏡に取り付けて、TCSPC（時間相関単一光子測定法）を用いた高感度・低ノイズのイメージングを可能にするTCSPCイメージング拡張キット。コンパクトFLIM・FCSアップグレードキット

スキャン不要の時間相関単一光子計数用のカメラ。手軽に個々の光子の到着時間とXY位置を計測。ラマン分光において、さらに蛍光寿命を利用することで、ラマン光と蛍光を分離・識別して測定することが可能。