MicroSense 5800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

高分解能・高速応答
動的変位測定のスタンダードモデル

高分解能・高速応答。動的変位測定のスタンダードモデル

  • 高い分解能
  • 高速応答
  • 非金属物質も測定可能
  • 高い安定性

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。高速応答を特長としながらナノメートルレベルの高い測定分解能を実現しています。振動体や高速スピンドルの精度評価など、被測定物が高速で変位する測定に適しています。

 

モデル5830

最大3チャンネルまでゲージモジュールを実装できます。多彩な機能により、プロダクションから研究開発までさまざまな用途でご活用いただけます。

  • 応答周波数設定:フロントパネル上で応答周波数の切換えができます。
  • レンジ切換え:変位出力の電圧感度を5倍、10倍に増幅できます。
  • オートゼロ:ワンプッシュで出力電圧を0Vへ自動オフセット調整ができます。
  • マニュアルオフセット調整:任意に出力電圧のオフセット調整ができます。
  • デジタル出力:付属のソフトウェアにより測定データをCSV形式で取得できます。
  • サンプリング周波数切換え:サンプリング周波数の切換えができます。
  • 外部トリガ対応:外部トリガによるデータ計測ができます。

モデル5810

必要最小限の機能をコンパクトに設計したシングルチャンネルモデルです。組込み用センサからプロダクション用ツールとして幅広い用途でご活用いただけます。

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • アナログメータ搭載:アナログメータで出力を直読でき、測定フルスケール内のプローブ位置が容易に確認できます。

モデル5800

マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。

  • 応答周波数設定:内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
  • オフセット調整:出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。
  • 金属の材質や成分の影響を受けない
  • さまざまな機能で幅広い用途に対応
  • 回転体や振動体など動特性評価
  • 精密ステージの真直度評価
  • 非金属物質を対象とした変位測定
モデル 5830 5810 5800
供給電源 AC100V±10% 50/60Hz AC100V±10% 50/60Hz DC±15V@0.120A max
出力コネクタ形式 アナログ:BNC
デジタル:USB
BNC BNC
寸法 (mm) 本体380(W)×350(D)×142(H),
ハンドル使用時 380(W)×370(D)×220(H)
本体110(W)×195(D)×45(H),
ACアダプタ 75(W)×120(D)×60(H)
本体35.4(W)×170(D)×129(H),
ユーロカード規格 3U 7HP
本体重量 6.5kg(3ch実装時) 0.5kg(ACアダプタ 0.8kg) 0.5kg
測定フルスケール ±15μm~250μm
出力電圧 測定フルスケール当たり±10VDC
出力分解能 ※1 最高0.001%FS以下 ※3
出力直線性 ※2 最高0.1%FS以下 ※3
出力温度特性 0.1%FS/℃ ※4
応答周波数(@-3dB) 標準:DC~20kHz(1Hz、5Hz、100kHz)
使用温度範囲 0~50℃
使用湿度範囲 85%RH以下(結露なきこと)

※1 変位計が検出可能な最小変位量を示す。
※2 基準直線から実測校正曲線までの最大値を示す。
※3 測定フルスケール、センササイズにより異なる。
※4 センサ面から測定対象面までの距離が一定である事。

 

MicroSense 静電容量変位センサ一覧 (MicroSense社製品カタログの一括ダウンロードもこちらから)

 

MicroSense 8800 シリーズ (優れた温度特性・高分解能。制御用途)

 

MicroSense 6800 シリーズ (シリーズ最高分解能・高速応答)

 

MicroSense 4800 シリーズ (優れた直線性・温度特性。静的変位測定用)

 

MicroSense Mini (コンパクトモジュール。装置内への組込み用)

 

高真空・超高真空対応センサ