加工装置
266nm 355nm 532nm 1064nm 単一周波数固体レーザー “EXCITE シリーズ”
Xiton Photonics
[新商品]
単一周波数固体レーザーシステムのEXCITEシリーズは、UV領域のアプリケーションに対応します。ウエハ検査、分光器の校正、干渉計のアプリケーションに使用いただけます。理論的なフーリエ限界に近い値である50MHz以下のスペクトル帯域幅を実現しています。
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厚膜ポジティブ/ネガティブ・トーン・フォトレジスト
micro resist technology
400nm近傍の波長に感度を有する厚膜フォトレジスト。マスクレス・リソグラフィのアプリケーションを拡げます
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LMS レーザー加工用ソフトウェア
Newport
レーザー加工システム制御用のオールインワン・ソリューション。パラメータを入力してクリックするだけの、特別なスキルがいらない簡易操作ソフトウェア。
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