266nm 355nm 532nm 1064nm 単一周波数固体レーザー “EXCITE シリーズ”

単一周波数固体レーザーシステムのEXCITEシリーズは、UV領域のアプリケーションに対応します。ウエハ検査、分光器の校正、干渉計のアプリケーションに使用いただけます。理論的なフーリエ限界に近い値である50MHz以下のスペクトル帯域幅を実現しています。

単一周波数固体レーザー　EXCITEシリーズの特長

※お客様のご要望に合わせてカスタム対応も可能です。お問い合わせください。

モデル	EXCITE 266	EXCITE 355	EXCITE 532	EXCITE 1064
波長	266 nm	355 nm	532 nm	1064 nm
平均出力	150 mW	400 mW	2.5 w	6 W
パルス幅	10-15 ns	14-18 ns	15-20 ns	20-30 ns
パルスエネルギー	7.5 μJ	20 μJ	125 μJ	300 μJ
繰り返し周波数	1-30 kHz	1-30 kHz	1-30 kHz	1-30 kHz
M²	< 1.7	< 1.3	< 1.2	< 1.2
スペクトル帯域幅	< 60 MHz	< 50 MHz	50 MHz	< 30 MHz
コヒレント長※	> 2.5 m	> 3.0 m	> 3.0 m	> 5 m
パルス間安定性	σ < 1.5%	σ < 1.0%	σ < 0.8 %	σ < 0.3 %

※ 50% コントラスト
データはパルス繰り返し周波数20kHzの時のものです。仕様は製品の改良のため予告なく変更することがあります。